【課題】同一チップ内に各々異なる共振周波数を有する複数の圧電薄膜共振子からなる弾性波デバイスの形成を可能とし、高価な装置を使用することなく、スプリアスを低減した優れた特性を得る。
【解決手段】周波数制御膜５１は、複数の凸形状の島パターン１５１または複数のホールパターンを備えている。島パターン１５１は、各共振子間において、共通のスプリアス調整ピッチかつ異なる面積で配置されている。ホールパターンは、各共振子間において、共通のスプリアス調整ピッチかつ異なる開口面積としている。 （もっと読む）

【課題】短冊状振動子において厚み滑り振動と結合する厚み屈曲振動モードを抑圧する圧電振動子を提供する。
【解決手段】長さＬ１の長手方向をＸ軸、長さＷの幅方向をＺ’軸、厚みＨの厚さ方向をＹ’軸とした圧電基板１のほぼ中央部にＸ軸方向の頂辺の長さをＬ２、該頂辺Ｌ２を望む仰角をそれぞれθ１゜、θ２゜、Ｚ’軸方向の頂辺の長さをＷ、厚さをｔとしたＸＹ’断面が台形状の凸部を形成すると共に、該台形状の凸部上面と、該凸部と対向する圧電基板１の裏面に対向する電極２ａ、２ｂを付着し、電極２ａ、２ｂからそれぞれ圧電基板１の端部に向けてリード電極３ａ、３ｂを延在して圧電振動素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】不要な振動モードの励起を防ぐ水晶振動子を提供することを課題とする。
【解決手段】平板状に形成された平面視略長方形の水晶片と、前記水晶片の上面および下面の中央部に配置された導電性材料からなる駆動電極と、前記水晶片の上面および下面に設けられ、前期駆動電極に電気的に接続された実装電極と、前記駆動電極と前記水晶片の長手方向外周部との間に対向配置されるとともに、エッチングに対して安定な面で形成された断面略Ｖ字状の凹部と、を備えたことを特徴とする水晶振動子とする。 （もっと読む）

【課題】 振動部から漏れる振動を減衰させる。
【解決手段】 両主面に励振用電極が設けられる平板状の振動部とこの振動部を囲う枠部とこの枠部と前記振動部とをつなぐ支持部とを備え、支持部に溝状の凹部が幅方向に設けられ、支持部において枠部から振動部へ延出する方向に対して直角となる方向を幅方向とし、この溝状の凹部が、支持部の厚さの中心を越えた深さとなっており、ウェットエッチングなどで形成することができることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 第２高調波で発振させることができないように、この第２高調波の発生する周波数帯を基本波に対してより高い周波数帯にシフトさせることで、基本波のみによる正確な発振を得ることができる音叉型の圧電振動片を提供することである。
【解決手段】 基部２２と、この基部２２から所定の腕幅、腕長及び腕厚を有して平行に延び、表面に励振電極２９，３０が形成される一対の振動腕部２３，２４とを備え、基本波の振動を得るための音叉型の圧電振動片２１において、前記一対の振動腕部２３，２４は、それぞれが前記基部２２から延びる第１腕部２３ａ，２４ａと、この第１腕部２３ａ，２４ａの先方に延び、該第１腕部２３ａ，２４ａの腕幅よりも広い腕幅を有する第２腕部２３ｂ，２４ｂとによって形成され、前記第１腕部２３ａ，２４ａに対する第２腕部２３ｂ，２４ｂの腕幅を約２倍以上、腕長を振動腕部２３，２４の全長の３０％以上に設定した。 （もっと読む）

【課題】 支持する部分への振動の伝搬を軽減する。
【解決手段】 基部と、この基部から延出する２本一対の振動腕部と、振動腕部に沿って基部より延出する二本一対の支持腕部と備えた音叉型屈曲水晶振動子で、振動腕部が二本一対で設けられる支持腕部よりも内側で基部から延出して構成され、支持腕部が、幅方向に全幅にわたって溝状の第一の凹部を有して構成されていることを特徴とし、支持腕部が、第一の凹部を振動腕部の両主面に有しつつ互いに向き合わずに所定の間隔をあけて設けても良い。 （もっと読む）

【課題】 支持する部分への振動を減衰させる。
【解決手段】 基部と、この基部から延出する２本一対の振動腕部と、振動腕部に沿って基部より延出する二本一対の支持腕部と備えた音叉型屈曲水晶振動子で、振動腕部が二本一対で設けられる支持腕部よりも内側で基部から延出して構成され、支持腕部が、幅方向に溝状の第一の凹部を有して構成されていることを特徴とし、支持腕部が、第一の凹部を振動腕部の表裏主面に有しつつ互いに向き合わずに所定の間隔をあけて設けても良い。 （もっと読む）

【課題】 振動腕部から漏れる振動を減衰させる。
【解決手段】 幅方向に溝状の第一の凹部を有する基部と、この基部から延出する２本一対の振動腕部とを備え、基部から延出する振動腕部の延出方向と直角となる方向を幅方向とし、基部が第一の凹部を表裏主面に有しつつ互いに向き合わずに所定の間隔をあけて設けられ、この第一の凹部が、基部の厚さの中心を越えた深さとなっており、ウェットエッチングなどで形成できることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子の漏れ振動が確実に、且つ、高精度に微細調整された水晶振動子及びその水晶振動子の製造方法を提供することである。
【解決手段】基部から延設する振動脚を備える外形形状を有し、該振動脚の主平面と側面との少なくとも一方に電極を備える水晶振動子であって、電極は振動脚の漏れ振動成分を減少するように電極の厚みが薄く削られた電極薄層部分を有する構成とした。振動脚に設ける電極は、電極薄層部分を有しているだけでトリミング（除去）してはいないから、振動片への駆動力が低下することはない。したがって、ＣＩ値の増加は発生せず、振動の安定性の悪化や角速度の検出精度の低下も発生しない。 （もっと読む）

【課題】屈曲振動片の振動漏れを解消してＱ値を向上させ、ＣＩ値を改善し、小型化及び薄型化を促進する。
【解決手段】屈曲振動片１１は、基部１２から延長する振動腕１３が互いに対向する第１及び第２の主面１４，１５に振動腕の長手方向に沿って形成した第１及び第２溝部を有する。第１溝部は、振動腕の長手方向に沿って分割し、振動腕の長手方向の中心線ｉに関してその両側に交互にずらして配置した複数の第１溝部分１６ａ，１６ｂからなり、第２溝部は、振動腕の長手方向に沿って分割し、中心線ｉに関してその両側に交互にずらしてかつ各第１溝部分とは中心線ｉに関して互いに反対側に配置した複数の第２溝部分１７ａ，１７ｂからなる。第１及び第２溝部の第１励振電極と振動腕両側面の第２励振電極とに交流電圧を印加すると、振動腕は第１又は第２の主面の面内方向に屈曲振動する。 （もっと読む）

【課題】輪郭振動片における振動漏れを大幅に低減させてＱ値及びＣＩ値の向上を実現する。
【解決手段】輪郭圧電振動片１１は、接続部１３ａ〜１３ｄが正方形の振動部１２の４つの角部から左右各辺に沿って外向きに延長し、その先端が、接続部の幅より縦寸法が大きく高い面内剛性を有する矩形の中間剛性部１４ａの両端に結合している。中間剛性部の上辺中央にそれより十分に狭幅で縦方向に真直ぐに延長する連結部１５ａが結合され、その先端が、連結部の幅より幅寸法が大きく高い面内剛性を有する矩形の支持部１６ａに結合されている。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子の横方向漏れを抑制し、Ｑ値を高める。
【解決手段】上部電極２の端部２ａを圧電膜４の端部４ａから突出した庇状とし、端部２ａを逆テーパ形状とし、端部２ａの下端２ｂと圧電膜４の端部４ａとを一致または近傍配置したことにより、圧電膜４内を伝搬する弾性波を閉じこめることができ、損失を低下させることができるとともにＱ値を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】振動漏れおよび同相モード振動の発生を低減し、簡単な構造で振動片の小型化を可能にする。
【解決手段】基部１５と、３以上の奇数本の振動腕１１，１２，１３と、基部１５と振動腕１１，１２，１３との間に位置してそれぞれを連結する連結部１４と、を備え、各振動腕１１，１２，１３が厚み方向に振動し、かつ隣り合う振動腕が互いに反対方向に振動する振動片１であって、振動腕１１，１２，１３の厚みをｔ₁、連結部１４の厚みをｔ₂、基部１５の厚みをｔ₃、としたとき、ｔ₁≦ｔ₂＜ｔ₃、となるように構成する。 （もっと読む）

【課題】
逆メサ型ＡＴカット水晶振動子の支持による振動エネルギ漏洩を回避し、支持によるＱ値の劣化を防止する
【解決手段】
支持端部における高調波厚み滑り振動の周波数と励振部の厚み滑り振動の周波数を一致させない条件下で、励振部の厚み寸法ｈと支持端部の厚み寸法Ｈを選定すれば、逆メサ型ＡＴカット水晶振動子における支持端部と逆メサ励振部の共鳴現象が生じない。それゆえ支持固定による振動エネルギ漏洩が、抑制されるのでＱ値の劣化が防止できる。 （もっと読む）

【課題】励振電極の位置ズレによる振動特性の悪化を防止し、生産性を高めた水晶振動子の電極形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】水晶片１の一主面及び他主面に対向する励振電極４（ａｂ）を有して一端部両側に引出電極５（ａｂ）を延出した水晶振動子の電極形成方法において、前記水晶片１の一端部とは反対側となる他端部での他主面に対する一主面の励振電極４（ａｂ）の突出したズレ分をガスイオンの照射によって削除した電極形成方法とする。 （もっと読む）

【課題】電源投入時の周波数変動を防止する表面実装発振器を提供することを目的とする。
【解決手段】底壁１ａの両主面に枠壁１（ｂｃ）を積層して両主面に凹部を有する容器本体１と、前記容器本体１の一方の凹部内底面に設けられた一対の水晶保持端子５（ａｂ）に引出電極１０（ａｂ）の延出した一端部両側が固着された水晶片２と、前記一方の凹部の開口端面に接合して前記水晶片２を密閉封入する金属カバー４と、前記容器本体１の他方の凹部内底面に設けられた回路端子７にＩＣ端子が電気的・機械的に接続したＩＣチップ３とを備えた表面実装用の水晶発振器において、前記水晶保持端子５（ａｂ）は前記容器本体１の内底面に延出した放熱用電極１４を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】所定の周波数において、縦波の励振を抑制しつつ横波を励振する薄膜共振子を提供する。
【解決手段】薄膜共振子１０は、第１電極１２１と第２電極１２２の間にn層（nは3以上の自然数）の圧電体層（第１圧電体層１１１、第２圧電体層１１２、第３圧電体層...）が設けられたものである。各圧電体層における分極ベクトルPは前記薄膜共振子に平行な面αの法線１３に対して傾斜するように配向している。各圧電体層における分極ベクトルPの法線１３への射影は同方向であり、第１電極１２１側から数えて奇数番目の圧電体層における分極ベクトルPの面αへの射影は第１電極１２１側から数えて偶数番目の圧電体層における分極ベクトルPの面αへの射影と逆方向である。このような構成により、最大強度の横波の励振は、最大強度の縦波の励振とは異なる周波数で生じるため、横波の励振時に縦波の励振を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】電子装置の製造工程を効率的に実施し、製造コストを低減する。
【解決手段】本発明の電子装置１００は、基板１と、基板１上に形成された機能構造体（ＭＥＭＳ構造体）３Ｘと、機能構造体３Ｘが配置された空洞部Ｓを画成する被覆構造とが備えられる電子装置であって、前記被覆構造が、基板１上に設けられ、且つ空洞部Ｓを囲む層間絶縁層４，６と、下部包囲壁３Ｙ及び配線層５，７とからなる側壁１０Ｙと、空洞部Ｓの上方を覆うと共に、空洞部Ｓに貫通する開口７ａを有し耐食性層を含む積層構造からなる第１被覆層７Ｙと、開口７ａを閉鎖する第２被覆層９と、を備えている。耐食性層は、ＴｉＮ、Ｔｉ、Ｗ、Ａｕ、Ｐｔまたはそれぞれの合金より構成される。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子の漏れ振動調整において、水晶振動子に外力を加えることなく高精度な微細調整を実現し、且つ、複数の水晶振動子を一括して調整できる水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】振動脚を備える外形形状を有し、該振動脚の主平面と側面とに電極を備える水晶振動子の製造方法であって、水晶板に所定の形状のエッチングマスクを形成し、該マスクを用いて該水晶板を水晶振動子の漏れ振動の方向が予め見積もれるような形状にエッチングして外形形状を形成する外形形成工程と、振動脚を構成する主平面に見積もった漏れ振動の方向に基づいてバランス調整をするための切欠部を備える電極を形成する電極形成工程と、電極形成工程で形成された電極をマスクにして振動脚をエッチングするバランス調整工程と、を有する製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】 振動漏れが少なくまた外的要因の影響が少ない安定した圧電フレームを提供する。
【解決手段】 圧電フレーム（２０）は、基部（２３）の一端側からＹ方向に伸びる少なくとも一対の振動腕（２４）を有し、この一対の振動腕（２４）に励振電極（４３，４４）を有する音叉型圧電振動片（２１）と、振動腕の両外側においてＹ方向に伸びる一対の支持腕（２５）と、音叉型圧電振動子を囲む外枠部（２２）と、基部（２３）の他端側（２３ｂ）から音叉型圧電振動片（２１）の全長の半分以上離れた位置で一対の支持腕（２５）と外枠部（２２）とを所定方向と交差する方向に接続する接続部（２６）と、を備える。 （もっと読む）