【課題】圧電振動素板のベベル加工方法、前記ベベル加工が施された圧電振動片、及び前記圧電振動片を実装した圧電振動子を提供する。
【解決手段】水晶基板を個片化して圧電振動素板１０を形成し、前記圧電振動素板１０をベベル加工して圧電振動片１２を形成する圧電振動素板１０のベベル加工方法である。前記圧電振動素板１０の外形を台形状に形成して、個片化したのち、前記圧電振動素板１０をベベル加工してなる。 （もっと読む）

【課題】不要振動である輪郭振動と屈曲振動を抑圧したメサ型振動片およびメサ型振動デバイスを提供する。
【解決手段】メサ型振動片１０は、肉厚部１４と、肉厚部１４に隣接して設けた肉薄部１６とを備えた素板１２を有している。この素板１２には、主振動として厚みすべり振動が励振する。この厚みすべり振動方向に交差する肉厚部１４の端部１４ａのうち少なくともいずれか一方は、対向する端部１４ａに対して平行になった平行部１４ｂと、平行部１４ｂに対して曲がった屈曲部１４ｃとを備えている。そして肉厚部１４の端部１４ａの長さをＭｚ、平行部１４ｂの長さをＭｌとすると、Ｍｌ≧Ｍｚ／４の関係を満たすようになっている。 （もっと読む）

【課題】 振動漏れを抑制して小型化が容易な音叉型圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】 パッケージ７の内部の前記ベース３上に音叉型圧電振動片２が保持されるとともに、前記パッケージの内部が気密封止された音叉型圧電振動デバイスにおいて、前記音叉型圧電振動片は、当該音叉型圧電振動片の基部より長く全長以内に寸法設定された脆性材からなるサポート材６と導電接合材を介して前記ベース上に電気機械的に接合され、前記サポート材は連結部とこの連結部の一端部から突出した同一幅寸法の２本の脚部と当該２本の脚部間の切欠き部とが形成され、前記サポート材の切欠き部と音叉型圧電振動片の切欠き部、または前記サポート材の切欠き部と音叉型圧電振動片の切欠き部の基部側への延長線とが重畳状態で前記ベース上にサポート材と音叉型圧電振動片を配置した接合した。 （もっと読む）

【課題】温度変化により発生するＣＩディップや、ＣＩ値の上昇を抑制する圧電振動素子を提供する。
【解決手段】厚みすべり振動を主振動とした矩形状の圧電基板２と、圧電基板２の両主面にそれぞれ形成される励振電極３と、励振電極３と接続され圧電基板２の少なくとも一方の短辺の端縁に引き出したリード電極４と、リード電極４の端部に設けられた接続パッド５と、接続パッド５が配置された圧電基板２の短辺側の両側角部に配置され、接続パッド５より導電性接着剤の接着力が弱い金属酸化膜６とを備える。 （もっと読む）

【課題】横モードにおけるスプリアスを抑制し、且つ、小型化可能な圧電薄膜共振子およ
びその製造方法を提供する。
【解決手段】バルク音波共振器１０では、液滴吐出用導電材料により略直方形に形成され
た頂部電極５は、外周の二組の対向する二辺のうち、一方の対向する二辺のそれぞれの端
面が、直線的でない不規則な略鋸歯形状を有して形成されている。これにより、略鋸歯形
状の端面のある一点から出た横モードの音波は不規則な方向に伝搬され、対向する辺の端
面も略鋸歯形状であるために反射される音波の方向も不規則になり、同じ長さの共振経路
を有する伝搬経路はほとんど存在しない。従って、高レベルな縮退が生じることなく、横
モードのスプリアスを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】スプリアスの抑制された信頼性の高い共振器応答が得られ、且つ、比較的製作の容易な薄膜バルク波共振器及びこれを用いた電子部品を提供する。
【解決手段】薄膜バルク波共振器１１は、基板２０の上に形成された下部電極２１、圧電薄膜２２、上部電極２３の積層体２５と、基板２０の上面と下部電極２１との間に形成された空隙部２４と、を備え、上部電極２３の表面には、多数の調整孔２３ｃが設けられており、これらの調整孔２３ｃは、いずれの調整孔２３ｃについてもその調整孔２３ｃ（基準孔３１）と当該調整孔に最も近い調整孔２３ｃ（隣接孔３２）とを結ぶ直線及びその延長線（通過線３３）上において規則的な調整孔２３ｃの配列パターンが存在しないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】ＢＡＷ共振器を使用するフィルタ回路が高い電力レベルで駆動されるときに起こる、出力信号中の望ましくない高調波成分が発生を緩和するフィルタ構造を提供する。
【解決手段】ハーフラダー構造を有するフィルタにおいて、フィルタの少なくとも１つの直列分岐または少なくとも１つの並列分岐は、逆並列または逆直列に接続された第１のＢＡＷ共振器１０５２／１０６２および第２のＢＡＷ共振器１０５４／１０６４を備えるＢＡＷ装置として構成される。第１のＢＡＷ共振器１０５２／１０６２によって発生される二次高調波放射は、第２のＢＡＷ共振器１０５４／１０６４の二次高調波放射およびフィルタの少なくとも１つの他の直列分岐または少なくとも１つの他の並列分岐の二次高調波放射を実質的にキャンセルする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高調波による発振を防止して基本波のＣＩ値を下げることを目的とする。
【解決手段】振動腕１４は、表裏面１６の両側に接続される第１及び第２の側面２１，２２と、を有する。表裏面１６には、それぞれ、振動腕１４の長手方向に延びる溝３０が形成されている。溝３０は、第１及び第２の側面２１，２２とそれぞれ背中合わせに延びる第１及び第２の内面３１，３２を含む。一対の振動腕１４は、相互の第１及び第２の側面２１，２２が相互に接近及び離隔するように屈曲振動し、最も大きく屈曲する第１の屈曲部１８を基部１２との接続部２４に有し、接続部２４の次に大きく屈曲する第２の屈曲部２０を溝３０の長さ方向の中間部が形成されている部分に有する。第１の側面２１と第１の内面３１（又は第２の側面２２と第２の内面３２）の間隔は、第２の屈曲部２０において最も大きい。 （もっと読む）

【課題】周波数可変感度を高くするとともに、不要な振動を抑圧したメサ型振動片およびこれを用いたメサ型振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】メサ型振動片１０は、肉厚部１４および肉薄部１６を有している。励振電極２２は、肉厚部１４の主面と、メサ型振動片１０に励起される主振動の変位方向に肉厚部１４から延設した方向にある肉薄部１６の主面とに設けてある。そして主振動の変位方向における励振電極２２の一方の端部２２ａ、肉厚部１４の一方の端部１４ａ、肉厚部１４の他方の端部１４ｂ、および励振電極２２の他方の端部２２ｂは、不要振動の腹の位置に配設してある。そして隣り合う端部同士では、不要振動の腹の向きが互い違いになっている。 （もっと読む）

【課題】圧電体薄膜の膜厚の変動があっても圧電薄膜共振子が副共振の影響を受けないようにする。
【解決手段】圧電薄膜共振子１は、支持基板１１に支持された圧電体薄膜１５の両主面に下面電極１４及び上面電極１６を形成し、圧電体薄膜１５を挟んで下面電極１４及び上面電極１６を対向させた構造を有する。導電体薄膜１６０１に導電体薄膜１６０２を付加して部分的に膜厚を厚くした上面電極１６は、自由振動領域１９２において圧電体薄膜１５の膜厚の分布を相殺する膜厚の分布を有する。このような膜厚の分布を有する上面電極１６を採用すれば、圧電薄膜共振子が複数の共振周波数で共振することを防止できるようになり、圧電薄膜共振子１が副共振の影響を受けにくくなる。 （もっと読む）

【課題】晶系３２の回転Ｙ板である矩形の厚みすべり振動片を備えた圧電振動子について、輪郭すべり振動によるスプリアスを抑えることのできる圧電振動子を提供すること。
【解決手段】電極を、振動片の表面にＺ´軸方向の中心線に対して対称に形成すると共に振動片に発生する輪郭すべり振動の３次以上の奇数次数であるｎ次の振動に基づく誘起電荷を打ち消す形状に作成する。Ｚ´軸方向に沿った長さが前記振動片のＺ´軸方向の長さの２ｍ（ｍは自然数）／ｎ[ただし２ｍ／ｎ＜１]である矩形領域を備えている構成としてもよいが、Ｚ´軸に沿った電荷分布がcosで表されることから、Ｘ軸方向に沿った外縁形状をcos形状とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】常温のような基準温度から温度が変化した場合、及び常温のような基準温度のいずれにおいても、基本波を抑圧することができ、厚み縦振動の３倍波を良好に利用することが可能とされている圧電振動部品を提供する。
【解決手段】基板２上に、ダンピング層６，７によりエネルギー閉じ込め型の厚み縦振動の３倍波を利用した圧電振動子８が実装されており、ダンピング層６，７の音響インピーダンスが、基板２及び圧電基板９の音響インピーダンスよりも低くされており、ダンピング層６，７が、下記の式（１）で表わされる厚みを有する第１のダンピング層部分６ａ，７ａと、第１のダンピング層部分６ａ，７ａとは厚みが異なる第２のダンピング層部分６ｂ，７ｂとを有する、圧電振動部品１。
厚み＝（ｎ／４）・λ …式（１）
（式中、ｎは１以上の奇数、λは基本波の波長を表わす。） （もっと読む）

【課題】配向助長膜に起因する特性低下を防ぐことができる薄膜圧電共振器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】中空部を有する支持体と、中空部の上に設けられた下部電極と、支持体に支持されて下部電極の上に設けられた圧電体膜と、圧電体膜の上における下部電極に対向する部分に設けられた上部電極とを備え、下部電極における圧電体膜に接する面の反対側の面のすべてが露出され中空部に臨んでいる。 （もっと読む）

【課題】回転Ｙカット水晶板を用いたエッジモード水晶振動片において、支持側の端部への振動漏れを解消して振動エネルギの閉じ込め効果を高める。
【解決手段】エッジモード水晶振動片２１の水晶素子片２２は、長手方向の一方の端部２３側に所定厚さの振動部２４と他方の端部２５側に該振動部より厚い支持部２６とを有する。支持部は、２段階又はそれ以上の多段階に厚く形成することができる。支持部は、厚さ一定の水晶基板４３に補強板４４を一体に貼り合わせることにより、形成することもできる。水晶素子片に発生する伝搬モードの波数が振動部と支持部とで異なるので、それらの間に画定される段差２７，２７によって支持部側への振動が減衰され、従って振動漏れが抑制される。 （もっと読む）

【課題】ＣＩ値の低減、不要モードの結合抑制に対して特に有意な効果を奏するためのメサ掘り量を有する圧電振動片を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための圧電振動片は、厚み滑り振動を主振動とする圧電基板１２の板面に、周辺部１６よりも厚み寸法の大きい振動部１４を形成したメサ型の圧電振動片１０であって、段差部の堀量ｙは、圧電基板１２の長辺の寸法をｘ、振動部１４における圧電基板１２の厚み寸法をｔとした時に、板厚ｔを基準として、



の関係を満足するように定められることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スプリアス振動を惹起することなく、簡易な構成で反共振周波数を調整可能な加工制御性に優れた薄膜バルク波共振器を提供する。
【解決手段】薄膜バルク波共振器５０は、厚み方向に縦振動する積層共振体５１と、積層共振体５１のインピーダンスを変化させることにより積層共振体５１の反共振周波数を調整するためのインピーダンス調整部５２とを備える。積層共振体５１に並列接続する容量素子をインピーダンス調整部５２として形成することで、積層共振体５１の反共振周波数を調整することが可能となる。積層共振体５１の下部電極２０Ａとインピーダンス調整部５２の下部電極２０Ｂは物理的に分離しており、積層共振体５１中で発生した横波がインピーダンス調整部５２に伝播することによるスプリアス振動の発生を抑制している。 （もっと読む）

【課題】マイクロローディング効果によるエッチング速度のバラツキを均一にし、寸法制御性に優れた共振器を形成する。
【解決手段】両端が基体に固定されていて振動方向に振動する発振子と、発振子に平行に基体に振動不能に固定されていて、発振子の両側に１本以上ずつ配置された電極を備えたＭＥＭＳ振動子の製造に用いるエッチングマスクであって、発振子の両端を除いた主面の領域を被覆する犠牲膜の全面に形成された導電性膜３０上の発振子形成予定領域３４を被覆する発振子用マスクパターン３６と、導電性膜上の電極形成予定領域３８を被覆する電極用マスクパターン４０とを備え、発振子用マスクパターン及び電極用マスクパターンの振動方向に関する幅を同一とし、かつ発振子用マスクパターンと電極用マスクパターンとの間の間隔、及び、隣接する電極用マスクパターン間の間隔とを同一とする。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子の副共振を効果的に抑制し、圧電薄膜デバイスの特性を向上する。
【解決手段】圧電薄膜共振子１では、対向領域１９１において下面電極１４及び上面電極１６が形成された圧電体薄膜１５を支持基板１１から離隔させた自由振動領域１９２の平面形状は、五角形となっており、五角形の輪郭１３４を構成する５個１３５〜１３９の辺の各々は相互に非平行になっている。これは、圧電体薄膜１５の音響インピーダンスが自由振動領域１９２の内側と外側とで大きく異なり、輪郭１３４となっている部分が固定端に近い状態となっていることを考慮したものである。すなわち、自由振動領域１９２に内包される対向領域１９１から漏洩した弾性波は輪郭１３４となっている部分で反射するので、反射した弾性波が定在波を引き起こして副共振の原因となることがないようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】積層共振体から基板に漏れた振動が基板内部で反射することによるスプリアス振動の発生を抑制できるキャビティ構造を有する薄膜バルク波共振器を提案する。
【解決手段】薄膜バルク波共振器１１は、第一の主面３０Ａ、及びこれと反対側の第二の主面３０Ｂを有する基板３０と、第一の主面３０Ａに積層される積層共振体２０とを有する。積層共振体２０は、第一の主面３０Ａに積層される第一の電極２３、第一の電極２３に積層される圧電体膜２２、及び圧電体膜２２に積層される第二の電極２１を有する。基板３０には、積層共振体２０に対応する位置において第二の主面３０Ｂに対して垂直に開口するキャビティ３１が形成されている。キャビティ３１には、基板内側に陥没する凹部３２Ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】電極への給電経路を確保しつつ、不要振動を抑制することができる圧電薄膜デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】下面電極１４１と上面電極１６１とは、対向領域１９１において圧電体薄膜１５を挟んで対向し、直列腕共振子１０１を形成している。下面電極１４２と上面電極１６２とは、対向領域１９３において圧電体薄膜１５を挟んで対向し、並列腕共振子１０２を形成している。下面電極１４１と上面電極１６２とは、自由振動領域１９２，１９４の外側の領域１９５において圧電体薄膜１５を挟んで対向し、１２個のバイアホール１５５によって電気的に接続されている。下面電極１４２と上面電極１６３とは、自由振動領域１９２，１９４の外側の領域１９７において圧電体薄膜１５を挟んで対向し、１２個のバイアホール１５６によって電気的に接続されている。バイアホール１５５，１５６には、樹脂１７が充填されている。 （もっと読む）