【課題】本発明は、支持腕のスプリアスと振動腕の共振周波数とを遠ざけた圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電振動片は、圧電材料により形成された基部（１１）と、第１厚さを有し基部から所定方向に一直線に伸びる一対の振動腕（１２）と、一対の振動腕の両外側で基部から所定方向に一直線に伸び、第１厚さと異なる第２厚さの第２厚さ領域（ＡＲ１）を有する一対の支持腕（１３）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型でＱ値が高く、インハーモニックオーバートン、高次輪郭振動等のスプリア
スの低減された圧電振動素子を得る。
【解決手段】厚み振動するエネルギー閉じ込め型圧電振動素子であって、振動領域を備え
た矩形の圧電振動基板５と、圧電振動基板の主面上の振動領域内に夫々形成された第１の
励振電極１１ａ、１１ｂと、を備える。圧電振動基板５は、少なくとも一方の主面の振動
領域内には、少なくとも外径側に位置する第１の平面部５ａと、その内径側に位置し、且
つ厚さ方向外側へ突出した突部と、を有している。突部は、第１の平面部よりも厚さ方向
外側へ突出した略楕円形状の第２の平面部５ｂと、その内径側に位置し、且つ厚さ方向外
側へ突出した略楕円形状の第３の平面部５ｃと、を有している。第２及び第３の平面部の
外形は、夫々楕円形状の輪郭線の少なくとも一部であると共に、夫々の焦点間を結ぶ線分
の中点が、夫々前記振動領域の中心に位置する。 （もっと読む）

【課題】不要な振動モードを低減し、効率的に駆動することができる振動体および振動デ
バイスを提供すること。
【解決手段】振動体２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出するとともに、Ｙ軸
方向に直交するＸ軸方向に並んで設けられた２つの振動腕２８、２９と、各振動腕２８、
２９上に設けられ、通電により振動腕２８、２９を励振させる励振電極２２１、２２２、
２２３、２２４、２３１、２３２、２３３、２３４とを有し、励振電極２２１、２２２、
２３１、２３２には、部分的に、その厚さ方向に貫通する微細な複数の孔が形成され、こ
れにより、振動腕２８、２９の振動特性が調整されている。 （もっと読む）

【課題】振動特性の良好な圧電振動子、電子部品及び発振器を提供すること。
【解決手段】主面部２１と周縁部２２との高さが異なるメサ型又は逆メサ型の水晶片２において、主面部２１の両面に第１の励振電極及び第２の励振電極を夫々形成し、これら第１及び第２の励振電極から放射状に伸び出すように複数の第１及び第２の引き出し電極を設け、これら第１及び第２の引き出し電極同士を夫々接続するように、第１及び第２の円弧状電極を形成する。そして前記第２の引き出し電極を、第１の引き出し電極の投影領域と重ならない位置に配置し、前記第２の円弧状電極を、第１の円弧状電極の投影領域と重ならない位置に形成する。 （もっと読む）

【課題】振動腕部の振動が基部側に振動漏れすることを防ぎ、振動腕部の振動を安定させた圧電振動片を得る。
【解決手段】振動腕部３の腕幅Ｗより大きく、２本の振動腕部３の間隔Ｐより小さい腕幅Ｗ１を有した腕付根部４とを備えて、腕付根部４が振動腕部３の腕幅Ｗより広い部分を一定長さ有することで、振動腕部３に剛性を持たせるので、振動腕部３の振動が基部２側に漏れることを防ぎ、振動腕部３の振動、および水晶振動片１の振動周波数を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】
相互変調ひずみに関するノイズの発生を抑制することができる分波器を提供する。
【解決手段】
第１薄膜圧電共振器フィルタと、第１薄膜圧電共振器フィルタより高い周波数の通過帯域を有する第２薄膜圧電共振器フィルタと、アンテナ端子とを備える分波器であって、前記分波器は第１インダクタと第１キャパシタとが直列に接続された共振回路と、第２インダクタを備え、共振回路は直列共振を発生し、その直列共振周波数をＦｒ１とし、第１薄膜圧電共振器フィルタの通過帯域の中心周波数をＦｆ１とし、第２薄膜圧電共振器フィルタの通過帯域の中心周波数をＦｆ２としたとき、前記Ｆｒ１が（２×Ｆｆ１）乃至（３×Ｆｆ２）の範囲内となるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】振動エネルギーを閉じ込めながら厚み滑り振動させることができると共に、輪郭振動の発振を抑制すること。
【解決手段】水晶結晶のＸ軸方向に沿った側面１１の少なくとも一部が、表裏主面１０ａとのなす角度が水晶結晶のｍ面が作り出す角度を超え、且つ、１８０度未満の角度範囲内に収まる第１傾斜面１１ａとされ、この第１傾斜面が、フッ酸に、該フッ酸の粘度を高める添加剤、又は、アルコール類からなる添加剤を加えたエッチング液を利用したウェットエッチング加工により形成されている水晶振動板１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】圧電片の厚みすべり振動のオーバトーンを利用した圧電発振器において、基本波振動による電気エネルギーを抑え、位相雑音を低減できる技術を提供すること。
【解決手段】ＡＴカットの水晶片１の一面側の電極２における励振電極部分は、厚みすべり振動方向と直交する方向（Ｚ´軸方向）に互いに離間し、平行に短冊状に分割電極２１、２２として形成される。これらの端部同士は接続され、全体としてコ字型形状とする。他面側の電極３は、一面側の第１の分割電極２１及び第２の分割電極２２に夫々対向する位置に短冊状の励振電極部３１、３２が形成され、逆向きのコ字型上の電極とする。このため分割電極２１、２２だけが励振電極部として機能する。 （もっと読む）

【課題】小型な振動片であっても静電容量を大きくし、負荷容量の変化に対して発振周波数感度の低い圧電振動片、圧電振動子、および圧電発振器を提供する。
【解決手段】基部１０と、前記基部１０より延伸して形成され屈曲振動する振動腕２０、３０とを備え、圧電材料からなる振動片であって、前記振動腕の表裏面と側面とに形成された駆動電極と、前記振動腕の先端方向に前記駆動電極から離間して前記振動腕の表裏面に形成された非駆動電極と、を備える。 （もっと読む）

【課題】振動片の搭載状態の安定化、導通信頼性の向上を図ると共に、生産性の高い圧電デバイスを提供する。
【解決手段】ベース基板１２に対して振動片２６を片持ち支持する圧電デバイス１０であって、ベース基板１２に設けられた振動片実装パッド１８ａ，１８ｂと振動片２６における固定端との間に、予め定められた厚みを有する支持マウント３４を備え、支持マウント３４を樹脂により構成したことを特徴とする。また、支持マウント３４の段差面、およびベース基板１２との対向面に、振動片２６を構成する励振電極２８ａ，２８ｂと連続的に形成された金属パターンを形成し、前記金属パターンと振動片実装パッド１８ａ，１８ｂとを当接させるようにすると良い。 （もっと読む）

【課題】本発明は、溝部により反射された各振動腕部から漏れた振動による振動特性の悪化を低減でき、且つ素子としての剛性を高めた音叉型屈曲水晶振動素子を提供することを課題とする。
【解決手段】基部と、前記基部から延出する第一の振動腕部と第二の振動腕部を備え、前記基部の両主面には、平面視略円弧状の２本の小溝部で構成された第一の溝部が設けられており、前記小溝部は前記基部の幅方向の中心線に対して線対称となるように設けられており、前記第一の溝部は、それぞれの前記第一の溝部の底部が前記基部の内部で対向しない位置に設けられている音叉型屈曲水晶振動素子。 （もっと読む）

【課題】 超小型化した場合でも、不要モードの影響を極力排除した、良好な特性の厚み系水晶振動子を提供する。
【解決手段】 水晶振動板は厚肉部１１と段差部１２を有する構成であり、厚肉部１１はＸ軸方向の中央部分であって、Ｚ軸方向全体に渡って形成されている。また段差部１２は厚肉部１１の外側にＺ軸方向全体に渡って形成されている。このような構成により、平面で見て矩形状の厚肉部１１と当該厚肉部のＸ軸方向外側であって、厚さ方向の中央部分に平面で見て矩形状の段差部が形成された構成となっている。厚肉部１１の表裏には励振電極２，３が形成されている。励振電極２，３は前記厚肉部のＸ軸方向（短辺方向）全体であって、Ｚ軸方向（長辺方向）の中央部分に矩形形状に形成されている。水晶振動板はそのＺ軸方向（長辺方向）の両端部が支持され、電気的機械的に接続が行われる。 （もっと読む）

【課題】面外屈曲振動の振動体において、振動漏れを防止し、Ｑ値を高めることができる
振動体および振動デバイスを提供すること。
【解決手段】振動体２は、Ｘ軸方向に延在する基部２７と、基部２７からＸ軸方向に直交
するＹ軸方向に延出するとともに、Ｘ軸方向に並んで設けられ、Ｘ軸方向およびＹ軸方向
に直交するＺ軸方向に屈曲振動する３つの振動腕２８、２９、３０と、基部２７に対して
振動腕２８、２９、３０とは反対側に設けられた支持部２５と、基部２７と支持部２５と
を連結する連結部２６とを有し、連結部２６の基部２７側の端部は、基部２７のＸ軸方向
にて各振動腕２８、２９、３０が存在しない位置に対応する部位に接続されている。 （もっと読む）

【課題】電極の断線を防止するとともに、スプリアス振動を抑制する。
【解決手段】水晶振動片２の基板２１に、励振を行う励振電極８１，８２と、外部電極と電気的に接続する保持電極８３，８４と、励振電極８１，８２を保持電極８３，８４に引き出す袖電極８５，８６とが形成されている。励振電極８１，８２は、基板２１の両主面３２，３３に形成され、基板２１の両主面２２，２３に形成された励振電極８１，８２により電極領域が構成されている。電極領域は、励振電極８１，８２が対向する対向電極部８７と、励振電極８１，８２が対向しない無対向電極部８８と、から構成されている。対向電極部８７の周囲に、対向電極部８７に連なって無対向電極部８８が配される。 （もっと読む）

【課題】スプリアス振動に基づくノイズの発生を抑制し、大きなｋｔ^２を維持しながら高いＱ値を有する薄膜圧電共振器およびそれを用いた薄膜圧電フィルタを提供する。
【解決手段】基板６と、基板上に形成される下部電極８と、基板６と下部電極８との間に形成される空隙または音響反射層と、下部電極上に形成される圧電層２と、圧電層上に形成される上部電極１０と、上部電極上に形成される質量負荷層１６とを含む薄膜圧電共振器であって、下部電極８と空隙または音響反射層と圧電層２と上部電極１０とが重なる振動領域が、質量負荷層１６の投影面が形成する領域に内包されており、質量負荷層１６の少なくとも一方の端部は、前記端部と同じ方向の前記上部電極１０の端部よりも水平方向に張り出し、前記張り出した部分の水平距離（Ｗ）は、０を超え１５μｍ未満である薄膜圧電共振器である。 （もっと読む）

【課題】振動腕から支持腕への振動漏れを防止しかつ耐衝撃性を向上させる屈曲振動片の支持構造を提供する。
【解決手段】音叉型振動片１は、基部２にそれぞれ基端を結合して延長する１対の振動腕３，４と、基部に結合してその幅方向両側に配置した支持腕７，８とを備える。基部は、両側部に沿って振動腕との結合部と支持腕との結合部との間に切欠き１３，１４による断面減少部１５を有する。断面減少部は、長さＬを振動腕の腕幅Ｗ１に対して２×Ｗ１≦Ｌ≦６×Ｗ１に、幅Ｗ３を振動腕の外側の側辺間の幅Ｗ２に対してＷ３＜Ｗ２に設定する。支持腕は、振動腕の両側を平行に延長する支持腕部９，１０と、これらを基部に結合する連結部１１，１２とが、丸み付けした隅部１６，１７を挟んで接続されている。 （もっと読む）

【課題】 音叉型屈曲水晶振動素子の幅方向に支持腕等を備えることなく、小型化することができ、振動腕部からの振動を減衰させる音叉型屈曲水晶振動素子を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の音叉型屈曲水晶振動素子は、振動腕部が延出する方向に溝状の第一の凹部を有する基部と、前記基部から延出する２本一対の振動腕部とを備え、前記基部が前記第一の凹部を表裏主面に有しつつ、所定の間隔をあけて設けられていることを特徴とする。よって、基部の振動腕部の延出する方向であって表裏主面に第一の凹部を所定の間隔をあけて設けたので、音叉型屈曲水晶振動素子の幅方向に支持腕等を備えることなく、小型化することができ、振動腕部からの振動を減衰させることができる。 （もっと読む）

【課題】 容易に水晶振動子を支持部から折り取ることができると同時に不要な振動モードの励起を防ぐ水晶振動子および水晶振動子の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 平面視略矩形である上面及び下面を有する平板状の水晶片と、前記水晶片の上面及び下面に配置された導電性材料からなる駆動電極と、前記上面及び前記下面に設けられ、前記駆動電極に電気的に接続された実装電極と、を備えた水晶振動子において、前記上面又は下面の第１の短辺側の側面は、第１の傾斜面と第２の傾斜面とからなる切妻状に形成され、前記１つの短辺と反対に位置する第２の短辺側の側面は、前記第１の短辺側の側面の少なくとも１つの傾斜面と略平行な傾斜面を有することを特徴とする水晶振動子を提供する。 （もっと読む）

【課題】単純な工程で圧電デバイスの電極間の絶縁不良を除去することを可能とする圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の圧電デバイスの製造方法は、水晶ウエハ上に所定の形状の水晶振動子を複数形成する工程（ＳＴ１）と、水晶振動片上に複数の電極を形成する電極形成工程（ＳＴ２）と、各電極が形成された水晶振動片の漏れ量を測定する漏れ量測定工程（ＳＴ３）と、漏れ量測定工程の測定結果に基づいて、電極を所定形状に加工する電極加工工程（ＳＴ４）と、電極加工工程において加工された前記電極をマスクとして水晶振動片をエッチング加工するエッチング工程（ＳＴ５）と、各電極の間に所定の電圧を印加し、電流による発熱により絶縁不良箇所を焼き切る電圧印加工程（ＳＴ６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】小型の圧電基板の面取り加工寸法精度の低下による圧電振動子の共振特性や周波
数温度特性のバラツキ、等価回路定数値のバラツキ等の問題を防止することを可能とする
エネルギー閉じ込めに必要な圧電基板の構造的な加工を高精度に再現性良く実現し、且つ
、量産においても好適な圧電振動子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】厚み滑り振動を主振動として励振する圧電基板を有する圧電振動子において
、圧電基板両主面上中央部に励振用電極を形成すると共に、圧電基板長手方向端部と前記
励振用電極との間に、フォトリソグラフィ技法とエッチング技法とを用いて複数の溝また
は孔を形成する、或はイオン打込みによりドーピング層を形成することによって励振用電
極直下の振動領域にエネルギー閉じ込めを可能せしめた。 （もっと読む）