【課題】Ｚ軸に平行な向きで振動する振動によるクリスタルインピーダンスの値が大きくなることを防ぎ生産性を向上させた音叉型屈曲水晶振動素子を提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有し厚み方向がＺ軸に平行となっている平板状の基部の側面から二つ一対の振動腕部がＹ軸に平行な方向で同一方向に延設されており、それぞれの振動腕部のそれぞれの主面に溝部が形成され、両主面に形成されている溝部の底面が対向しないようにＹ軸に平行な方向に交互にずらした位置のうち、
溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部に最も近い辺の長さが前記溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部から最も遠い溝部の開口部の辺の長さと異なっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低損失、低コストであり、かつスプリアスを抑制すること。
【解決手段】基板１０と、基板上に形成された下部電極１２と、前記下部電極上に形成された圧電膜１４と、前記圧電膜上に形成された上部電極１６と、を具備し、前記圧電膜を挟み下部電極と上部電極とが対向する共振領域２０の端において、前記下部電極および前記上部電極の少なくとも一方が前記共振領域の中央部に対し厚く形成された厚膜領域３２が形成され、前記厚膜領域の幅は、前記圧電膜の厚さ方向に交差する方向に伝搬する弾性波の波長より狭い圧電薄膜共振子。 （もっと読む）

【課題】 振動領域における励振電極及び引出電極が均一の厚さで形成され、不要な振動の発生及び振動特性の劣化が防止できる圧電振動片を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電振動片（１０）は、第１厚さ（ｄ１）の励振電極（１０２ａ、１０２ｂ）が中央領域に形成された振動部（１０１）と、振動部を囲み振動部と空隙（１０５）を介して形成された外枠部（１０８）と、振動部と外枠部とを連結する連結部（１０４ａ、１０４ｂ）と、振動部、連結部及び外枠部に形成され励振電極から引き出された引出電極（１０３ａ、１０３ｂ）と、を備える。引出電極は、振動部ですべてが第１厚さを有し外枠部では第１厚さよりも厚い第２厚さ（ｄ２）を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、支持部に接続された振動片の上面に下部電極、圧電体層、上部電極を設け、上部電極と下部電極との間に制御電圧を印加することで振動片を側方に振動させる振動子に関し、振動子の生産性を高めることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために本発明は、支持部１６と、支持部１６に接続された振動片１７と、振動片１７の上面に設けられた下部電極２１と、下部電極２１上に設けられるとともに外周端が下部電極２１の外周端より内側となる圧電体層２２と、圧電体層２２上に設けられるとともに外周端が圧電体層２２の外周端より内側となる上部電極２０を有する振動子１２において、圧電体層２２を振動片１７の振動方向に偏倚させることで振動片１７の振動方向を調節する構成とした。 （もっと読む）

【課題】共振器に基づくフィルタを提供する。
【解決手段】入力及び負荷アドミタンスＹｉｎ及びＹｏｕｔを有する入力及び出力電子回路、２種類の２個の圧電共振器（ＲＺｓ，ＲＺｓ’；ＲＺｐ，ＲＺｐ’）を備えた格子フィルタで、共振器は特性インピーダンスＺｃを有、第１の共振器は共振周波数Ｆｒ１およびＦｒ１とは異なる反共振周波数Ｆａ１を有し、第２の共振器は、Ｆｒ１とは異なる共振周波数Ｆｒ２と、Ｆｒ２およびＦａ１とは異なる反共振周波数Ｆａ２を有する。入力及び出力インピーダンスは共振器の特性インピーダンスとは一致しないが、アドミタンスＹｉｎの実部Ｒｅ{Ｙｉｎ}の逆数およびアドミタンスＹｏｕｔの実部Ｒｅ{Ｙｏｕｔ}の逆数は共振器の特性インピーダンスＺｃより少なくとも２〜５倍大きくされる。更に、周波数差Ｆａ１−Ｆｒ１およびＦａ２−Ｆｒ２は、差分Ｆｒ１−Ｆｒ２の絶対値より少なくとも２〜３倍大きくされる。 （もっと読む）

【課題】 安価で小型化にも対応させながらスプリアス振動の抑制も行えるより電気的特性の優れた高安定向けの水晶振動子を提供する。
【解決手段】 略円盤形状に形成された厚みすべり水晶振動板２があり、前記水晶振動板の片面には、曲率半径の異なる２つ以上の曲率部を有するプラノコンベックス研磨加工部を形成してなり、前記水晶振動板中央に曲率半径の最も大きなプラノコンベックス研磨加工部と、前記水晶振動板端部に曲率半径の最も小さなプラノコンベックス研磨加工部とを有し、前記水晶振動板中央から前記水晶振動板端部に向かって、各プラノコンベック研磨加工部の曲率半径が順次小さく形成され、かつ各プラノコンベック研磨加工部の表面粗さが順次粗く形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】 音叉型圧電振動片を水平に保持する圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（５０）は、基部（２３）と基部から所定方向に伸びた一対の振動腕（２１）と一対の振動腕の両外側で基部から所定方向に伸びて形成される一対の支持腕（２２）と一対の支持腕に配置された一対の接合領域（３５）とを有する圧電振動片（１００）を有する。そして圧電デバイスは、圧電振動片を収容する底面（ＢＴ）を有し接合領域に対応する一対の導電パッド（５８）が底面に形成されたパッケージ（ＰＫＧ）を有する。パッケージの底面（ＢＴ）には、底面から導電性接着剤の上面までの高さと同等の高さのサポート台（１１）が基部又は支持腕に対応する位置に形成されている。そして圧電デバイスは、一対の導電パッドと一対の接合領域とをそれぞれ電気的に接続し且つ固定する導電性接着剤（２５）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 不要モードの影響を極力排除した、良好な特性の水晶振動子を提供する。
【解決手段】 水晶振動板１はＡＴカット水晶振動板からなり、平面視矩形の薄肉部１０と、当該薄肉部１０より厚く平面視矩形の厚肉部１１を有している。厚肉部１１の両主面には励振電極１２，１３が対向して形成され、各々接続電極１２ｂ、１３ｂに接続されている。接続電極１２ｂ、１３ｂは水晶振動板１の角部Ｃ１に偏在し、厚肉部１１および励振電極１２，１３は角部Ｃ２に偏在し、対角方向に離間した配置となっている。 （もっと読む）

【課題】小型、低背であると共にＣＩ値の小さな圧電振動子であり、且つパッケージに搭載するときの歩留まりを改善する手段を得る。
【解決手段】圧電基板１０と、圧電基板１０の両主面の振動領域１４に対向配置した励振電極２０と、引出電極２２と、角隅部に配置したパッド２４と、を備えた圧電振動素子である。圧電基板１０は、中央に位置する励振部１４と、励振部１４より薄肉で励振部１４の周縁に形成された周辺部１２と、を有し、励振部１４の全ての側面は夫々厚み方向に段差部を有している。圧電振動素子が励振されたときに振動変位が十分に減衰する領域の両主面上に、圧電基板１０の主面方向と直交する突起部１１を少なくとも一個備えている。 （もっと読む）

【課題】小型圧電振動素子をパッケージに実装する際に、励振電極がパッケージの上下面に接触しない手段を得る。
【解決手段】圧電振動素子１００は、圧電基板１０と、圧電基板１０の両主面に対向配置された励振電極２０と、引出電極２２と、パッド２４と、を備えている。圧電基板１０は、中央に位置する励振部１４と、励振部１４より薄肉で励振部１４の周縁に形成された周辺部１２と、を有している。励振部１４の対向する２つの側面は夫々無段差状の平面であり、励振部１４の他の対向する２つの側面は夫々厚み方向に段差部を有している。圧電振動素子１００が励振されたときに振動変位が十分に減衰する領域の両主面上には、前記圧電基板の主面方向と直交する突起部１１を少なくとも一個備えている。 （もっと読む）

【課題】水晶デバイスの漏れ振動量測定工程での測定不良を即座に検知することで、測定不良の水晶振動子を後工程に物流させることを無くして不良発生を抑え、生産性を向上させる。
【解決手段】水晶ウェハ上に複数の水晶振動子を形成した後、各水晶振動子の漏れ振動の量を測定する工程を有する水晶デバイスの製造方法において、水晶ウェハに、第１の水晶振動子群と、第１の水晶振動子群より漏れ振動量が所定量多い第２の水晶振動子群とを形成し、第１の水晶振動子群の漏れ振動量の測定結果と第２の水晶振動子群の漏れ振動量の測定結果との差が、所定量以上であるとき、各水晶振動子の漏れ振動の量が正しく測定できたと判断する。第２の水晶振動子群の各水晶振動子は、上面のマスク層パターンの振動脚に応じた箇所と下面のマスク層パターンの振動脚に応じた箇所とが、所定量位置ずれさせることで形成される。 （もっと読む）

【課題】主振動とは発振周波数が異なる副振動の発生を抑える圧電振動子の提供。
【解決手段】厚みすべり振動を主振動とする水晶片１０の両面に夫々励振電極２１，２２が形成された水晶振動子１において、前記励振電極２１における副振動が発生する部位に、孔部２５を形成すると共に水晶片１０における孔部２５に対応する領域に凹部１１を形成する。あるいは水晶片１０における副振動が発生する部位に凸部を設ける。凹部１１または凸部は水晶振動子の中心に対して対称に設けることが好ましい。これにより、副振動が減衰し、かつ副振動の発振周波数が高周波側に移動する。 （もっと読む）

【課題】不要振動である輪郭振動と屈曲振動を抑圧したメサ型振動片およびメサ型振動デバイスを提供する。
【解決手段】メサ型振動片１０は、肉厚部１４と、肉厚部１４に隣接して設けた肉薄部１６とを備えた素板１２を有している。この素板１２には、主振動として厚みすべり振動が励振する。この厚みすべり振動方向に交差する肉厚部１４の端部１４ａのうち少なくともいずれか一方は、対向する端部１４ａに対して平行になった平行部１４ｂと、平行部１４ｂに対して曲がった屈曲部１４ｃとを備えている。そして肉厚部１４の端部１４ａの長さをＭｚ、平行部１４ｂの長さをＭｌとすると、Ｍｌ≧Ｍｚ／４の関係を満たすようになっている。 （もっと読む）

【課題】厚さ方向に振動する振動腕を備えた振動片のＱ値の維持、及びＱ値が維持された振動片を備えた振動子、発振器、電子機器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０からＹ軸方向に延びる３本の振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃと、を備え、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向に配列されると共に、Ｙ軸方向とＸ軸方向とで特定される平面に沿った主面１０ａに励振電極１２ａ，１２ｂ，１２ｃを有し、主面１０ａと直交するＺ軸方向に振動し、振動腕１１ａ，１１ｂ，１１ｃの内、配列の中央に位置する振動腕１１ｂのＸ軸方向の腕幅をＷ１、振動腕１１ａ，１１ｃのＸ軸方向の腕幅をＷとし、振動腕１１ｂの励振電極１２ｂのＸ軸方向の電極幅をＡ１、振動腕１１ａ，１１ｃの励振電極１２ａ，１２ｃのＸ軸方向の電極幅をＡとしたとき、１．３５＜Ｗ１／Ｗ＜１．９０、且つ、１．３５＜Ａ１／Ａ＜１．９０である。 （もっと読む）

【課題】ＣＩ値の低減、不要モードの結合抑制に対して特に有意な効果を奏するためのメサ掘り量を有する圧電振動片を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための圧電振動片は、厚み滑り振動を主振動とする圧電基板１２の板面に、周辺部１６よりも厚み寸法の大きい振動部１４を形成したメサ型の圧電振動片１０であって、段差部の堀量ｙは、圧電基板１２の長辺の寸法をｘ、振動部１４における圧電基板１２の厚み寸法をｔとした時に、板厚ｔを基準として、


の関係を満足するように定められることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動漏れを抑制し、良好なドライブレベル特性を確保しつつ、ＣＩ値を低く抑制できる圧電振動片と、この圧電振動片を用いた圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】並んで配置された一対の振動腕部３ａ，３ｂと、振動腕部３ａ，３ｂの両主面上に形成され、振動腕部３ａ，３ｂのＹ方向（長手方向）に沿って伸びる外側溝部５１および内側溝部５２と、一対の振動腕部３ａ，３ｂが接続された基部４と、を備えた圧電振動片１であって、溝部４は、振動腕部３ａ，３ｂのＸ方向（幅方向）に並んで複数本形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】不要なリップルを抑えることが可能な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電薄膜３と、圧電薄膜３の一方の主面に設けられた上部電極１３、２３と、圧電薄膜３の他方の主面に設けられた下部電極１１、２１とを有し、基板２から音響的に分離されるように、上部電極１３、２３及び下部電極１１、２１が圧電薄膜３を介して重なり合う部分で圧電振動部１５、２５が構成されている第１及び第２の圧電共振子１０、２０とを備え、第１の圧電共振子１０と第２の圧電共振子２０とは入力端子と出力端子に対して直列または並列に接続されており、入力端子からみた圧電薄膜３の分極方向は互いに逆であり、第１の圧電共振子１０と第２の圧電共振子２０とは、横振動モードの共振周波数が互いに異なるように形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】線形性能の高い分波器を提供すること。
【解決手段】受信端子Ｔｒｘとアンテナ端子Ｔａｎｔとの間に接続され、弾性波共振器である１または複数の直列共振器を含む、受信帯域を有する受信用フィルタ１０と、送信端子Ｔｔｘと前記アンテナ端子との間に接続され、弾性波共振器を含む、送信帯域を有する送信用フィルタ２０と、を具備し、前記受信用フィルタの前記１または複数の直列共振器のうち前記アンテナ端子に最も近い直列共振器Ｓ１１の共振周波数は、前記受信帯域の上端周波数より高い分波器。 （もっと読む）

【課題】 高発振周波数に対応して小型化する圧電振動板の主振動による振動エネルギーを効率よく得ることができると共に、前記圧電振動板を安定して支持することのできる支持構造を備えた幅縦・長さ縦結合モードの圧電振動子を提供することである。
【解決手段】 幅縦モードの主振動を伴う一対の主振動辺２２ａ，２２ｂ及び長さ縦モードの副振動を伴う一対の副振動辺からなる四角形状の圧電振動板２２と、一対の主振動辺から外方向に延びる支持アーム２５，２３と、圧電振動板２２の外周に設けられ、支持アーム２５，２３の一端が接続されるフレーム２４とを備えた圧電振動子２１であって、一方の支持アーム２５は主振動辺２２ａから２つの屈曲部２５ａ，２５ｂを有し、他方の支持アーム２３は主振動辺２２ｂから２つの屈曲部２３ａ，２３ｂを有し、これら支持アーム２５，２３とフレーム２４との間が一つの経路によって結ばれるように構成した。 （もっと読む）

【課題】厚さ方向に振動する振動腕から基部への振動漏れを抑制する振動片、及びこの振
動片を備えた振動子、発振器、電子機器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０からＹ軸方向に延びる振動腕１１ａ
，１１ｂ，１１ｃと、を備え、基部１０は、連結部１０ａと支持部１０ｂとを含み、Ｙ軸
方向と、平面視においてＹ軸方向に直交するＸ軸方向と、で規定される平面に沿った連結
部１０ａの主面１０ｃ，１０ｄに、溝部１２ａ，１２ｂを有し、振動腕１１ａ，１１ｂ，
１１ｃが、励振電極１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃによって、主面１
０ｃ，１０ｄに直交するＺ軸方向に屈曲振動することを特徴とする。 （もっと読む）