音叉型屈曲水晶振動素子
【課題】Ｚ軸に平行な向きで振動する振動によるクリスタルインピーダンスの値が大きくなることを防ぎ生産性を向上させた音叉型屈曲水晶振動素子を提供する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有し厚み方向がＺ軸に平行となっている平板状の基部の側面から二つ一対の振動腕部がＹ軸に平行な方向で同一方向に延設されており、それぞれの振動腕部のそれぞれの主面に溝部が形成され、両主面に形成されている溝部の底面が対向しないようにＹ軸に平行な方向に交互にずらした位置のうち、
溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部に最も近い辺の長さが前記溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部から最も遠い溝部の開口部の辺の長さと異なっていることを特徴とする。
【解決手段】互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有し厚み方向がＺ軸に平行となっている平板状の基部の側面から二つ一対の振動腕部がＹ軸に平行な方向で同一方向に延設されており、それぞれの振動腕部のそれぞれの主面に溝部が形成され、両主面に形成されている溝部の底面が対向しないようにＹ軸に平行な方向に交互にずらした位置のうち、
溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部に最も近い辺の長さが前記溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部から最も遠い溝部の開口部の辺の長さと異なっていることを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、音叉型屈曲水晶振動素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
音叉型屈曲水晶振動素子５００は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、基部５１０及び振動腕部５２０からなる水晶片と、振動腕部５２０に設けられている溝部５２１（５２１ａ，５２１ｂ）と、励振用電極５３０（５３１，５３２，５３３，５３４）と、周波数調整用電極５４０と、接続用電極５５０と、配線部Ｈと、を少なくとも備えている。
【０００３】
水晶片は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、基部５１０と二つ一対の振動腕部５２０とから構成されている。
【０００４】
基部５１０は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、平面視略四角形状の平板である。
また、基部５１０は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している。
また、基部３１０は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸に平行となっている。
【０００５】
振動腕部５２０は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、二つ一対で設けられており、基部５１０の側面から同一方向に延設され基部５１０と一体となって形成されている。このとき、図６（ａ）と図６（ｂ）と図７（ａ）と図７（ｂ）に示すように、振動腕部５２０の基部５１０側から先端側に向かう方向がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部５２０は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、溝部５２１が設けられている。
【０００６】
溝部５２１は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、それぞれの振動腕部５２０のそれぞれの主面に形成されている。
また、溝部５２１は、開口部から底面に向かう向き、つまり、深さ方向がＺ軸に平行に形成されている。
また、溝部５２１は、開口部が矩形形状となっており、所定の二辺がＸ軸に平行となっている。また、溝部５２１は、開口部の所定の二辺Ｈ５１が開口部の所定の他の二辺Ｈ５２，Ｈ５３と比較して短くなっている。
【０００７】
また、溝部５２１ａは、振動腕部５２０の一方の主面を見た場合、図６（ａ）に示すように、Ｘ軸に平行な振動腕部５２０の辺Ｗ５の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線上に、溝部５２１ａの開口部の所定の二辺Ｈ５１の中点が位置している。
【０００８】
ここで、Ｘ軸に平行な振動腕部５２０の辺Ｗ５の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線を第一の仮想線Ｋ５１とする。
【０００９】
従って、溝部５２１ａは、第一の仮想線Ｋ５１を基準として、所定の他の二辺Ｈ５２，Ｈ５３のうち隣接する振動腕部５２０に最も近い辺Ｈ５２と、所定の他の二辺Ｈ５２，Ｈ５３のうち隣接する振動腕部５２０から最も遠い辺Ｈ５３とが線対称となっている。
【００１０】
また、溝部５２１ｂは、振動腕部５２０の他方の主面を見た場合、図６（ｂ）に示すように、第一の仮想線Ｋ５１上に溝部５２１ｂの開口部の所定の二辺Ｈ５１の中点が位置している。
従って、溝部５２１ｂは、第一の仮想線Ｋ５１を基準として、所定の他の二辺Ｈ５２，Ｈ５３のうち隣接する振動腕部５２０に最も近い辺Ｈ５２と、所定の他の二辺Ｈ５２，Ｈ５３のうち隣接する振動腕部５２０から最も遠い辺Ｈ５３とが線対称となっている。
【００１１】
このように基部５１０と二つ一対の振動腕部５２０からなる水晶片は、音叉形状となっており、例えば、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術により設けられている。
【００１２】
振動腕部５２０の表面には、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、励振用電極５３０及び周波数調整用電極５４０が設けられている。
【００１３】
一方の振動腕部５２０に着目すると、振動腕部５２０の表面には、例えば、四つ一対の励振用電極３３０及び二つ一対の周波数調整用電極５４０が設けられている。
【００１４】
励振用電極５３０は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、所定の二つの励振用電極５３１，５３２が振動腕部５２０の両主面に設けられ、所定の他の二つの励振用電極５３３，５３４が、振動腕部３２０のＹ軸及びＺ軸に平行な面に設けられている。
【００１５】
ここで、振動腕部５２０のＹ軸及びＺ軸に平行な面のうち隣接する振動腕部５２０側を向く面を振動腕部５２０の内側側面とし、この内側側面に対向する面を振動腕部５２０の外側側面とする。
【００１６】
従って、所定の他の二つの励振用電極５３３，５３４は、振動腕部５２０の内側側面及び外側側面に設けられている。
【００１７】
周波数調整用電極５４０は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、振動腕部５２０の両主面であって振動腕部５２０の先端側に設けられている。
【００１８】
接続用電極５５０は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、二つ一対で基部５１０に設けられている。
一方の接続用電極５５０は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、基部５１０の一方の主面から他方の主面にわたって設けられつつ、振動腕部５２０の主面を見た場合に振動腕部５２０に接している基部５１０の辺に対向する基部５１０の辺の一方の角端部に位置するように設けられている。
他方の接続用電極５５０は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、基部５１０の一方の主面から他方の主面にわたって設けられつつ、振動腕部５２０の主面を見た場合に振動腕部５２０に接している基部５１０の辺に対向する基部５１０の辺の他方の角端部に位置するように設けられている。
【００１９】
配線部Ｈは、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、所定の励振用電極５３０間、又は、所定の励振用電極５３０と所定の周波数調整用電極５４０との間、又は、所定の励振用電極５３０と所定の接続用電極５５０との間、を電気的に接続させるように水晶片の表面に設けられている。
【００２０】
このような音叉型屈曲水晶振動素子５００は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、一方の接続用電極５５０が、配線部Ｈ及び周波数調整用電極１４０を介して、一方の振動腕部５２０の両主面に設けられている所定の二つの励振用電極５３１，５３２と他方の振動腕部５２０の内側側面及び外側側面に設けられている所定の他の二つの励振用５３３，５３４とに電気的に接続されている。
また、このような音叉側屈曲水晶振動素子５００は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、他方の接続用電極５５０が配線部Ｈ及び周波数調整用電極５４０を介して、一方の振動腕部５２０の内側側面及び外側側面に設けられている所定の他の二つの励振用電極５３３，５３４と他方の振動腕部５２０の両主面に設けられている所定の二つの励振用電極５３１，５３２とに電気的に接続されている。
【００２１】
また、このような音叉型屈曲水晶振動素子５００は、例えば、励振用電極５３０と周波数調整用電極５４０と接続用電極５５０とがクロム層の上に金層が設けられた金属の積層構造となっており、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術により形成されている。
【００２２】
また、このような音叉型屈曲水晶振動素子５００は、二つ一対の接続用電極５５０に交番電圧を印加させることで、二つ一対の振動腕部５２０を屈曲振動させる構造となっている。
【００２３】
また、このような音叉型屈曲水晶振動素子５００で振動腕部５２０が振動しているときの電気的状態を瞬間的にとらえると、一方の振動腕部５２０では、一方の振動腕部５２０の所定の二つの励振用電極５３１，５３２がプラス電位となり、一方の振動腕部５２０の所定の他の二つの励振用電極５３３，５３４がマイナス電位となり、所定の二つの励振用電極５３１，５３２から所定の他の二つの励振用電極５３３，５３４に向かう向きに電界が生じている。
このとき、他方の振動腕部５２０では、他方の振動腕部５２０の所定の他の二つの励振用電極５３３，４３４がプラス電位となり、他方の振動腕部５２０の所定の二つの励振用電極５３１，５３２がマイナス電位となり、所定の他の二つの励振用電極５３３，５３４から所定の二つの励振用電極５３１，５３２に向かう向きに電界が生じている。
【００２４】
このような音叉型屈曲水晶振動素子５００は、交番電圧が接続用電極５５０に接続されそれぞれの振動腕部５３０に電界が生じることによって、それぞれの振動腕部５３０に伸縮現象が生じる。
その結果、このような音叉型屈曲水晶振動素子５００は、所定の振動腕部５２０に設定した共振周波数で屈曲振動する。
なお、このような音叉型屈曲水晶振動素子５００は、それぞれの振動腕部５２０に設けられている周波数調整用電極５４０を構成する金属の量を増減させることで共振周波数を調整することができる構成となっている（例えば、特許文献１参照）。
【００２５】
このような音叉型屈曲水晶振動素子５００に用いる水晶片は、例えば、図７（ａ）と図７（ｂ）と図７（ｃ）に示すように、それぞれの振動腕部５２０の両主面に一つずつ同じ大きさの溝部５２１（５２１ａ，５２１ｂ）が設けられている。
このとき、図７（ａ）と図７（ｂ）と図７（ｃ）に示すように、振動腕部５２０の一方の主面に形成されている溝部５２１ａの底面が振動腕部５２０の他方の主面に形成されている溝部５２１ｂの底面と同一振動腕部５２０内で対向しないように、振動腕部５２０の一方の主面に形成されている溝部５２１ａ及び振動腕部５２０の他方の主面に形成されている溝部５２１ｂがＹ軸に平行な方向に交互にずらした位置にそれぞれ設けられている。
なお、このような水晶片を用いている音叉型屈曲水晶振動素子５００は、一方の主面に設けられている溝部５２１ａの底面の全面に励振用電極５３１の一部が設けられており、他方の主面に設けられている溝部５２１ｂの底面の全面に励振用電極５３２の一部が設けられている。
【００２６】
また、このような水晶片は、振動腕部５２０の一方の主面を見た場合、図７（ａ）に示すように、溝部５２１ａの開口部の辺のうちＸ軸に平行な辺Ｈ３１の中点が第一の仮想線Ｋ５１上に位置している。
従って、このような水晶片は、図７（ａ）に示すように、溝部５２１ａの開口部の辺のうちＹ軸に平行な辺Ｈ５２，Ｈ５３が第一の仮想線Ｋ５１を基準として線対称となっている。
【００２７】
また、このような水晶片は、振動腕部５２０の他方の主面を見た場合、図７（ｂ）に示すように、溝部５２１ｂの開口部の辺のうちＸ軸に平行な辺Ｈ３１の中点が第一の仮想線Ｋ５１上に位置している。
従って、このような水晶片は、図７（ｂ）に示すように、溝部５２１ｂの開口部の辺のうちＹ軸に平行な辺Ｈ５２，Ｈ５３が第一の仮想線Ｋ５１を基準として線対称となっている。
【００２８】
また、このような水晶片は、図７（ｃ）に示すように、溝部５２１の開口部の大きさが溝部５２１の底面の大きさと比較すると大きくなっている。
ここで、溝部５２１内側を向く面のうち、溝部５２１の開口部及び溝部５２１の底面に接している面を溝部５２１の側面とする。
【００２９】
また、このような水晶片は、図７（ｃ）に示すように、溝部５２１の底面から開口部に向かうに従って溝部５２１の底面から溝部５２１の側面までのＺ軸に平行な向きの長さが長くなるように溝部５２１の側面が設けられている。
【００３０】
また、このような水晶片は、例えば、図７（ｃ）に示すように、振動腕部５２０の断面を見た場合、振動腕部５２０の一方の主面に形成されている溝部５２１ａの側面のうち振動腕部５２０の先端側に近い側面が、振動腕部５２０の他方の主面に形成されている溝部５２１ｂの側面のうち基部５１０側に近い側面に対向している。
【００３１】
ここで、一方の主面に設けられている溝部５２１ａの側面のうち振動腕部５２０の先端側の側面と、他方の主面に設けられている溝部５２１ｂの側面のうち基部５１０側の側面とで挟まれた振動腕部５２０の一部をオーバーラップ部分とする。
言い換えると、オーバーラップ部分は、一方の主面に設けられている溝部５２１ａの所定の一つの側面と他方の主面に設けられている溝部５２１ｂの側面のうち一方の主面に設けられている溝部５２１ａの所定の一つの側面に対向する面とで挟まれている振動腕部５２０の一部である。
【００３２】
このような水晶片は、水晶片の一方の主面側から見た場合、両主面に設けられた溝部５２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ５２，Ｈ５３が第一の仮想線Ｋ５１を基準として線対称となっているので、オーバーラップ部分が所定の二辺がＸ軸に平行でかつ所定の他の二辺がＹ軸に平行となる矩形形状になっている。
【００３３】
両主面に一つずつ同じ大きさの溝部５２１が設けられている水晶片を用いている音叉型屈曲水晶振動素子５００について説明したが、別の一例として、図８（ａ）と図８（ｂ）と図８（ｃ）に示すように、両主面に二つずつ同じ大きさの溝部６２１が設けられている水晶片を用いる場合がある。
【００３４】
このような水晶片は、振動腕部６２０の一方の主面に形成されている溝部６２１ａの底面が振動腕部６２０の他方の主面に形成されている溝部６２１ｂの底面と同一振動腕部６２０内で対向しないように、振動腕部６２０の一方の主面に形成されている溝部６２１ａ及び振動腕部６２０の他方の主面に形成されている溝部６２１ｂがＹ軸に平行な方向に交互にずらした位置にそれぞれ形成されている。
なお、このような水晶片を用いている水晶振動素子は、一方の主面に形成されている溝部６２１ａの底面の全面に励振用電極の一部が形成されており、他方の主面に形成されている溝部６２１ｂの底面の全面に励振用電極の一部が形成されている。
【００３５】
また、この水晶片は、振動腕部６２０の一方の主面を見た場合、図８（ａ）に示すように、一方の主面に形成されている二つ一対の溝部４２１ａがＸ軸に平行な振動腕部６２０の辺Ｗ６の中点を通過しつつＹ軸に平行となっている仮想線、つまり、第一の仮想線Ｋ６１を基準として線対称となるように設けられている。
また、この水晶片は、図８（ａ）に示すように、隣接する振動腕部６２０に最も近い溝部６２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部６２０に最も近い辺Ｈ６２と、隣接する振動腕部６２０から最も離れた溝部６２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部６２０から最も離れた辺Ｈ６３とが第一の仮想線Ｋ６１を基準として線対称となっている。
【００３６】
また、この水晶片は、振動腕部５２０の他方の主面を見た場合、図８（ｂ）に示すように、他方の主面に形成されている二つの溝部６２１ｂがＸ軸に平行な振動腕部６２０の辺Ｗ６の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線、つまり、第一の仮想線Ｋ６１を基準として線対称となるように設けられている。
また、この水晶片は、振動腕部６２０の他方の主面を見た場合、図８（ｂ）に示すように、隣接する振動腕部６２０に最も近い溝部６２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部６２０に最も近い辺Ｈ６２と、隣接する振動腕部６２０から最も離れた溝部６２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部６２０から最も離れた辺Ｈ６３とが第一の仮想線Ｋ６１を基準として線対称となっている。
【００３７】
また、この水晶片は、図８（ｃ）に示すように、溝部６２１の開口部の大きさが溝部５２１の底面の大きさと比較すると大きくなっている。
また、このような水晶片は、溝部６２１の底面から溝部６２１の開口部に向かうに従って、溝部６２１の底面から溝部６２１の側面までのＺ軸に平行な向きの長さが長くなるように溝部６２１の側面が設けられている。
【００３８】
また、この水晶片は、水晶片の一方の主面側から見た場合、水晶片の両主面に設けられている二つ一対の溝部６２１が第一の仮想線Ｋ６１を基準に線対称となるように設けられ、水晶片の両主面に設けられている二つ一対の溝部６２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部６２０に最も近い辺Ｈ６２と、隣接する振動腕部６２１から最も遠い辺Ｈ６３とが第一の仮想線Ｋ６１を基準に線対称となるように設けられているので、
オーバーラップ部分が所定の二辺がＸ軸に平行でかつ所定の他の二辺がＹ軸に平行となっている矩形形状となっている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３９】
【特許文献１】特開２００７−３２９８７９号公報
【特許文献２】特許第４５７８４９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００４０】
しかしながら、従来の音叉型屈曲水晶振動素子は、両主面に設けられている溝部の底面が対向しないようにそれぞれの振動腕部のそれぞれの主面にＹ軸に平行な向きで交互にずらした位置に溝部が設けられ、かつ、振動腕部に設けられている溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部に最も近い辺と振動腕部に設けられている溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部に最も遠い辺とが
第一の仮想線を基準として線対称となるようにそれぞれの振動腕部のそれぞれの主面に溝部が設けられているので、溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部に最も近い辺の長さと、溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部から最も遠い辺の長さとが同じとなっている。
このため、二つ一対の接続用電極に交番電圧が印加され振動する場合、従来の音叉型屈曲水晶振動素子は、振動腕部の内側側面側でのＺ軸に平行な振動と振動腕部の外側側面側でのＺ軸に平行な振動とが互いに相乗し、Ｘ軸およびＹ軸に平行な平面上で振動する屈曲振動にＺ軸に平行な向きに振動する振動がスプリアスとして混在してしまい、クリスタルインピーダンスの値が大きくなる。
従って、従来の音叉型屈曲水晶振動素子は、クリスタルインピーダンスの値が大きくなり、クリスタルインピーダンスの値が大きいことによる不良が発生し生産性が低下する。
【００４１】
そこで、本発明では、Ｚ軸に平行な向きで振動する振動がスプリアスとして混在することを抑え、生産性を向上させた音叉型屈曲水晶振動素子を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００４２】
前記課題を解決するため、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有し、両主面が前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸に平行となっている平板状の基部と、両主面が前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸に平行となっている矩形形状となっており、前記基部の側面から前記Ｙ軸に平行な向きであって同一方向に延設されて前記基部と一体化されている二つ一対の振動腕部と、開口部が四角形状となっており、
開口部の所定の二辺が前記Ｙ軸に平行となるようにそれぞれの前記振動腕部の両主面にそれぞれ形成されている溝部と、前記振動腕部の表面に所望のパターンで形成されている複数の励振用電極と、前記基部の表面に所望のパターンで形成されている接続用電極と、前記励振用電極間又は前記励振用電極と前記接続用電極との間を電気的に接続している配線部と、を備え、
前記振動腕部の一方の主面に形成されている溝部の底面と前記振動腕部の他方の主面に形成されている溝部の底面とが対向しないように、前記溝部が前記Ｙ軸に平行な方向に交互にずらした位置にそれぞれ形成されつつ、前記溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部に最も近い辺の長さが前記溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部から最も遠い溝部の開口部の辺の長さと異なっていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００４３】
このような音叉型屈曲水晶振動素子によれば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した平板状の基部の側面から二つ一対の振動腕部が延設され、それぞれの振動腕部のそれぞれの主面に一方の主面に設けられている溝部の底面と他方の主面に設けられている溝部の底面とが対向しないように溝部が設けれ、Ｙ軸に平行な溝部の開口部の辺のうち隣接する振動腕部に最も近い辺の長さが、
Ｙ軸に平行な溝部の開口部の辺のうち隣接する振動腕部から最も離れた辺の長さと異なっているので、二つ一対の接続用電極に交番電圧が印加され振動する場合、隣接する振動腕部側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な振動腕部の面側でのＺ軸に平行な振動と隣接する振動腕部側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な振動腕部の面に対向する同一振動腕部内の面側でのＺ軸に平行な振動とを互いに相殺させることができる。
従って、このような音叉型屈曲水晶振動素子によれば、Ｚ軸に平行な振動を互いに相殺させることができるので、従来の音叉型屈曲水晶振動素子と比較して、Ｘ軸およびＹ軸に平行な平面上で振動する屈曲振動に混在するスプリアスを抑えることができ、従来の音叉型屈曲水晶振動素子と比較してクリスタルインピーダンスの値が大きくなることを抑えることができる。
このため、このような音叉型屈曲水晶振動素子によれば、クリスタルインピーダンスの値が大きくなることによる不良を従来の音叉型屈曲水晶振動素子と比較して抑えることができ、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】（ａ）は、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の他方の主面の状態の一例を示す平面図である。
【図２】（ａ）は、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の他方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｃ）は、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の状態の一例を示す断面図である。
【図３】（ａ）は、本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の他方の主面の状態の一例を示す平面図である。
【図４】（ａ）は、本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の他方の主面の状態の一例を示す平面図である。
【図５】（ａ）は、本発明の第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、本発明の第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の他方の主面の状態の一例を示す平面図である。
【図６】（ａ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子の他方の主面の状態の一例を示す平面図である。
【図７】（ａ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の他方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｃ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の状態の一例を示す断面図である。
【図８】（ａ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子で用いる別の一例の水晶片の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子で用いる別の一例の水晶片の他方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｃ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子で用いる別の一例の水晶片の状態の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
次に、本発明を実施するための最良の形態について説明する。なお、各図面において各構成要素の状態を分かりやすくするために誇張して図示している。
【００４６】
（第一の実施形態）
本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、基部１１０及び振動腕部１２０からなる水晶片と、振動腕部１２０に設けられている溝部１２１（１２１ａ，１２１ｂ）と、励振用電極１３０（１３１，１３２，１３３，１３４）と、周波数調整用電極１４０と、接続用電極１５０と、配線部Ｈと、を少なくとも備えている。
【００４７】
水晶片は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、基部１１０と二つ一対の振動腕部１２０とから構成されており、振動腕部１２０の両主面に溝部１２１（１２１ａ，１２１ｂ）が設けられている。
また、水晶片は、例えば、フォトリソグラフィ技術とエッチング技術により、設けられている。
【００４８】
基部１１０は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、平面視略四角形状の平板である。
また、基部１１０は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有しており、両主面がＸ軸およびＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸に平行となっている。
【００４９】
振動腕部１２０は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、二つ一対で設けられており、基部１１０の側面から同一方向に延設され基部１１０と一体で形成されている。このとき、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、振動腕部１２０の基部１１０側から先端側に向かう方向がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部１２０は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、両主面が四角形状に形成され、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸に平行となっている。このとき、振動腕部１２０の両主面は、基部１１０の両主面と同一平面上に位置している。
また、振動腕部１２０は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、一方の主面又は他方の主面を見た場合、基部１１０に接する辺及びこの辺に対向する辺がＸ軸に平行となっており、隣接する振動腕部１２０側を向く辺及びこの辺に対向する辺がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部１２０は、例えば、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、両主面に一つずつ溝部１２１が形成されている。
【００５０】
溝部１２１は、例えば、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、それぞれの振動腕部１２０のそれぞれの主面に一つずつ設けられている。
また、溝部１２１は、底面及び開口部がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、開口部から底面に向かう向き、つまり、深さ方向がＺ軸に平行となっている。
【００５１】
また、溝部１２１は、例えば、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）と図２（ｃ）に示すように、開口部が四角形状となっており、例えば、開口部の所定の二辺Ｈ１２，Ｈ１３がＹ軸に平行となっている台形形状となっている。
また、溝部１２１は、溝部１２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ１２，Ｈ１３のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ１２の長さと、溝部３２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ１２，Ｈ１３のうち隣接する振動腕部１２０から最も遠い辺Ｈ１３の長さとが異なるように設けられている。
【００５２】
振動腕部２２０の一方の主面を見た場合、溝部１２１ａは、例えば、図１（ａ）及び図２（ａ）に示すように、Ｙ軸に平行な溝部１２１ａの開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ２１の長さが、Ｙ軸に平行な溝部１２１ａの開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０から最も遠い辺Ｈ３１の長さより長くなっている。
また、溝部１２１ａは、図１（ａ）と図２（ａ）と図２（ｃ）に示すように、振動腕部１２０の基部１１０側に設けられている。
【００５３】
振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、溝部１２１ｂは、例えば、図１（ｂ）及び図２（ｂ）に示すように、Ｙ軸に平行な溝部１２１ｂの開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ１２の長さが、Ｙ軸に平行な溝部１２１ｂの開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０から最も遠い辺Ｈ３１の長さより短くなっている。
また、溝部１２１ｂは、図１（ｂ）と図２（ｂ）と図２（ｃ）に示すように、振動腕部１２０の先端側に設けられている。
【００５４】
また、それぞれの振動腕部１２０のそれぞれの主面に設けられる溝部１２１は、同一振動腕部１２０内で一方の主面に設けられている溝部１２１ａの底面と他方の主面に設けられている溝部１２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置に設けられている。
【００５５】
このような水晶片は、基部１１０の側面から二つ一対の振動腕部１２０が同一方向に延設されて音叉形状となっている。
また、水晶片は、それぞれの主面に設けられている溝部１２１が同一振動腕部１２０内で一方の主面に設けられている溝部１２１ａの底面と他方の主面に設けられている溝部１２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置に設けられている。
【００５６】
また、水晶片は、それぞれの振動腕部１２０の一方の主面又は他方の主面を見た場合、溝部１２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ１２の長さが、溝部１２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部１２０から最も遠い辺Ｈ１３の長さとなっている。
【００５７】
つまり、水晶片は、振動腕部１２０の一方の主面又は振動腕部１２０の他方の主面を見た場合、溝部１２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ１１と、溝部１２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部１２０から最も遠い辺Ｈ１３とが、Ｘ軸に平行な振動腕部１２０の辺Ｗ１の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線を基準として線対称となっていない。
ここで、Ｘ軸に平行な振動腕部１２０の辺Ｗ１の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線を第一の仮想線Ｋ１１とする。
このため、このような水晶片は、後述する励振用電極１２０と接続用電極１５０と周波数調整用電極１４０と配線部Ｈを設け振動させた場合、
それぞれの振動腕部１２０の隣接する振動腕部１２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面での振動変位と隣接する振動腕部１２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面に対向する同一腕部１２０のＹ軸及びＺ軸に平行な面側での振動変位とが互いに相殺するようにＺ軸に平行な向きに振動させることができる構成となっている。
【００５８】
また、このような水晶片は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、励振用電極１３０と周波数調整用電極１４０と接続用電極１５０と配線部Ｈとが表面に設けられている。
このとき、励振用電極１３０と周波数調整用電極１４０と接続用電極１５０と配線部Ｈは、例えば、クロム層の上に金層が設けられた金属の積層構造となっており、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術により設けられている。
【００５９】
励振用電極１３０は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、振動腕部１２０の表面に四つ一対で設けられている。
また、励振用電極１３０は、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、所定の二つの励振用電極１３１，１３２が振動腕部１２０の両主面、つまり、Ｘ軸及びＹ軸に平行な面に設けられ、所定の他の二つの励振用電極１３３，１３４が振動腕部１２０のＹ軸及びＺ軸に平行な面に設けられている。
【００６０】
ここで、隣接する振動腕部１２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な振動腕部１２０の面を
振動腕部１２０の内側側面とし、この内側側面に対向する同一振動腕部１２０の面を外側側面とする。
【００６１】
また、励振用電極１３０は、一方の振動腕部１２０に着目すると、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、振動腕部１２０の一方の主面に励振用電極１３１が設けられ、振動腕部１２０の他方の主面に励振用電極１３２が設けられ、振動腕部１２０の内側側面に励振用電極１３３が設けられ、振動腕部１２０の外側側面に励振用電極１３４が設けられている。
このとき、所定の二つの励振用電極１３１，１３２は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、その一部が溝部１２１の底面の全面に設けられている。
【００６２】
また、励振用電極１３０は、他方の振動腕部１２０に着目すると、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、振動腕部１２０の一方の主面に励振用電極１３１が設けられ、振動腕部１２０の他方の主面に励振用電極１３２が設けられ、振動腕部１２０の内側側面に励振用電極１３３が設けられ、振動腕部１２０の外側側面に励振用電極１３４が設けられている。
このとき、所定の二つの励振用電極１３１，１３２は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、その一部が溝部１２１の底面の全面に設けられている。
【００６３】
周波数調整用電極１４０は、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、一方の振動腕部１２０の振動腕部１２０の先端側の両主面に設けられている。
ここで、振動腕部１２０の先端側とは、振動腕部１２０の一方の主面又は振動腕部１２０の他方の主面を見た場合、基部１２０と振動腕部１２０とが接している辺に対向する振動腕部１２０の辺に沿った縁部をいう。
【００６４】
また、周波数調整用電極１４０は、構成する金属の量を増減させることで本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００の共振周波数を調整することができる構成となっている。
【００６５】
接続用電極１５０は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、二つ一対で基部１１０の表面に設けられている。
一方の接続用電極１５０は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、基部１１０の一方の主面から他方の主面にわたって設けられつつ、基部１１０の一方の主面を見た場合に振動腕部１２０に接している辺に対向する辺の一方の角端部に位置するように設けられている。
他方の接続用電極１５０は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、基部１１０の一方の主面から他方の主面にわたって設けられつつ、基部１１０の一方の主面を見た場合に振動腕部１２０の接している辺に対向する辺の他方の角端部に位置するように設けられている。
【００６６】
配線部Ｈは、励振用電極１３０間、又は、励振用電極１３０と接続用電極１５０との間、又は、励振用電極１３０と周波数調整用電極１４０との間を電気的に接続するように、水晶片の表面に設けられている。
【００６７】
配線部Ｈは、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、一方の接続用電極１５０を一方の振動腕部１２０の一方の主面に設けられている励振用電極１３１及び一方の振動腕部１２０の他方の主面に設けられている励振用電極１３２に電気的に接続させつつ、一方の接続用電極１５０を他方の振動腕部１２０の内側側面に設けられている励振用電極１３３に電気的に接続させる位置に設けられている。
このとき、図１（ｂ）に示すように、他方の振動腕部１２０の内側側面に設けられている励振用電極１３３と他方の振動腕部１２０の外側側面に設けられている励振用電極１３４とが他方の振動腕部１２０に設けられている周波数調整用電極１４０を介して電気的に接続されている。
【００６８】
また、配線部Ｈは、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、他方の接続用電極１５０を他方の振動腕部１２０の一方の主面に設けけられている励振用電極１３１及び他方の振動腕部１２０の他方の主面に設けられている励振用電極１３２に電気的に接続させつつ、他方の接続用電極１５０を一方の振動腕部１２０の内側側面に設けられている励振用電極１３３に電気的に接続させる位置に設けられている。
このとき、図１（ｂ）に示すように、一方の振動腕部１２０の内側側面に設けられている励振用電極１３３と他方の振動腕部１２０の外側側面に設けられている励振用電極１３４とが一方の振動腕部１２０に設けられている周波数調整用電極１４０を介して電気的に接続されている。
【００６９】
従って、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、基部１１０と二つ一対の振動腕部１２０とが一体となって設けられ音叉形状となっている水晶片の表面に、振動用電極１３０と周波数調整用電極１４０と接続用電極１５０と配線部Ｈとが設けられている。
また、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、Ｙ軸に平行な溝部１２１の開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ１２の長さと、Ｙ軸に平行な溝部１２１の開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０から最も遠い辺Ｈ１３の長さとが異なる溝部がそれぞれの振動腕部１２０のそれぞれの主面に設けられつつ、両主面に設けられた溝部１２１の底面が対向しないようにＹ軸に平行な方向に交互に溝部１２１が設けられている。
【００７０】
このような本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、二つ一対の接続用電極１５０に交番電圧を印加させることで、二つ一対の振動腕部１２０を屈曲振動させることができる構成となっている。
【００７１】
本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、二つ一対の振動腕部１２０が振動しているときの一方の振動腕部１２０の電気的状態を瞬間的にとらえると、
一方の振動腕部１２０の両主面に設けられている所定の二つの励振用電極１３１，１３２がプラス電位となり、一方の振動腕部１２０の内側側面及び外側側面に設けられている所定の他の二つの励振用電極１３３，１３４がマイナス電位となり、プラス電位の発生している所定の二つの励振用電極１３１，１３２からマイナス電位の発生している所定の他の二つの励振用電極１３３，１３４に向かう向きに電界が生じている。
また、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、二つ一対の振動腕部１２０が振動しているときの他方の振動腕部１２０の電気的状態を瞬間的にとらえると、他方の振動腕部１２０の両主面に設けられている所定の二つの励振用電極１３１，１３２がマイナス電位となり、他方の振動腕部１２０の内側側面及び外側側面に設けられている所定の他の二つの励振用電極１３３，１３４がプラス電位となり、
プラス電位が発生している所定の他の二つの励振用電極１３３，１３４からマイナス電位が発生している所定の二つの励振用電極１３１，１３２に向かう向きに電界が生じている。
【００７２】
従って、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、二つ一対の接続用電極１５０に交番電圧を印加しそれぞれの振動腕部１２０に電界を生じさせることで、それぞれの振動腕部１２０が振動する。
このとき、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、それぞれの振動腕部１２０の一方の主面又は振動腕部１２０の他方の主面を見た場合に、Ｙ軸に平行な溝部１２０の開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ１２の長さが、Ｙ軸に平行な溝部１２０の開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０から最も遠い辺Ｈ１３の長さと異なっているので、振動する際に、振動腕部１２０の内側側面側と振動腕部１２０の外側側面側とで互いに相殺しあうＺ軸に平行な振動が生じる。
このため、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、二つ一対の接続用電極１５０に交番電圧を印加しそれぞれの振動腕部１２０に電界を生じさせることでそれぞれの振動腕部１２０を振動させた場合、２種類のＺ軸に平行な向きの振動が相殺しあうため、見かけ上、Ｘ軸およびＺ軸に平行な平面上で振動する屈曲振動のみを振動する。
【００７３】
このような本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００によれば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した平板状の基部１１０の側面から二つ一対の振動腕部１２０が延設され、それぞれの振動腕部１２０のそれぞれの主面に一方の主面に設けられている溝部１２１ａの底面と他方の主面に設けられている溝部１２１ｂの底面とが対向しないように溝部１２１が設けられ、Ｙ軸に平行な溝部１２１の開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ１２の長さが、
Ｙ軸に平行な溝部１２１の開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０から最も離れた辺Ｈ１３の長さと異なっているので、二つ一対の接続用電極１５０に交番電圧が印加され振動する場合、隣接する振動腕部１２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な振動腕部１２０の面側でのＺ軸に平行な振動と隣接する振動腕部１２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な振動腕部１２０の面に対向する同一振動腕部１２０内の面側でのＺ軸に平行な振動とを互いに相殺させることができる。
従って、このような本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００によれば、Ｚ軸に平行な振動を互いに相殺させることができるので、従来の音叉型屈曲水晶振動素子５００と比較して、Ｘ軸およびＹ軸に平行な平面上で振動する屈曲振動に混在するスプリアスを抑えることができ、従来の音叉型屈曲水晶振動素子５００と比較してクリスタルインピーダンスの値が大きくなることを抑えることができる。
このため、このような本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００によれば、クリスタルインピーダンスの値が大きくなることによる不良を従来の音叉型屈曲水晶振動素子５００と比較して抑えることができ、生産性を向上させることができる。
【００７４】
（第二の実施形態）
本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、それぞれの振動腕部２２０のそれぞれの主面に二つの溝部２２１（２２１ａ，２２１ｂ）が設けられている水晶片を用いている点で第一の実施形態と異なる。
【００７５】
このような水晶片は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、基部２１０と二つ一対の振動腕部２２０とからなる、それぞれの振動腕部２２０のそれぞれの主面に二つ一対の溝部２２１が設けられている。
また、このような水晶片は、例えば、フォトリソグラフィ技術とエッチング技術により設けられている。
【００７６】
基部２１０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、平面視略四角形状の平板である。
また、基部２１０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有しており、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸に平行となっている。
【００７７】
振動腕部２２０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、二つ一対で設けられており、基部２１０の側面から同一方向に延設され基部２１０と一体で形成されている。このとき、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、振動腕部２２０の基部２１０側から先端側に向かう方向がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部２１０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、両主面が四角形状に形成され、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸方向となっている。このとき、振動腕部２２０の両主面は、基部２１０の両主面と同一平面上に位置している。
また、振動腕部２２０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、振動腕部２２０の一方の主面又は振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、基部２１０に接する辺及びこの辺に対向する辺がＸ軸に平行となっており、隣接する振動腕部２２０側を向く辺及びこの辺に対向する辺がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部２２０は、例えば、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、両主面に二つ一対の溝部２２１が設けられている。
【００７８】
溝部２２１は、例えば、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、それぞれの振動腕部２２０のそれぞれの主面に二つ一対で設けられている。
また、二つ一対の溝部２２１は、例えば、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、振動腕部２２０の一方の主面又は振動腕部２２０の他方の主面を見た場合に、Ｘ軸に平行な振動腕部２２０の辺の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線、つまり、第一の仮想線Ｋ２１を基準として二つ一対の溝部２２１の開口部が線対称となっていない。
また、溝部２２１は、底面及び開口部がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、開口部から底面に向かう向き、つまり、深さ方向がＺ軸に平行となっている。
【００７９】
また、溝部２２１は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、開口部が台形形状となっており、所定の二辺がＹ軸に平行となっている。
また、溝部２２１は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、振動腕部２２０の一方の主面又は振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、隣接する振動腕部２２０に最も近い溝部２２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０に最も近い辺Ｈ２２の長さが、隣接する振動腕部２２０から最も遠い溝部２２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０から最も離れた辺Ｈ２３の長さと異なっている。
【００８０】
また、一方の主面に設けられている溝部２２１ａは、例えば、振動腕部２２０の一方の主面を見た場合、図３（ａ）に示すように、溝部２２１ａの開口部が台形形状となっており、溝部２２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０に近い辺の長さが、溝部２２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０から遠い辺の長さと比較して長くなっている。
また、一方の主面に設けられている溝部２２１ａは、例えば、振動腕部２２０の一方の主面を見た場合、図３（ａ）に示すように、隣接する振動腕部２２０に最も近い溝部２２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０から遠い辺の長さが、隣接する振動腕部２２０から最も遠い溝部２２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０に近い辺の長さと比較して長くなっている。
従って、一方の主面に設けられている溝部２２１ａは、例えば、振動腕部２２０の一方の主面を見た場合、図３（ａ）に示すように、隣接する振動腕部２２０に近くなるに従って、溝部２２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺の長さが長くなっている。
また、一方の主面に設けられている溝部２２１ａは、例えば、振動腕部２２０の一方の主面を見た場合、図３（ａ）に示すように、振動腕部２２０の基部２１０側に設けられている。
【００８１】
また、一方の主面に設けられている溝部２２１ｂは、例えば、振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、図３（ｂ）に示すように、溝部２２１ｂの開口部が台形形状となっており、溝部２２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０に近い辺の長さが、溝部２２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０から遠い辺の長さと比較すると短くなっている。
また、他方の主面に設けられている溝部２２１ｂは、例えば、振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、図３（ｂ）に示すように、隣接する振動腕部２２０に最も近い溝部２２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０から遠い辺の長さが、隣接する振動腕部２２０から最も遠い溝部２２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０に近い辺の長さと比較すると短くなっている。
従って、他方の主面に設けられている溝部２２１ｂは、例えば、振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、図３（ｂ）に示すように、隣接する振動腕部２２０に近くなるに従って溝部２２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺の長さが短くなっている。
また、他方の主面に設けられている溝部２２１ｂは、例えば、振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、図３（ｂ）に示すように、振動腕部２２０の先端側に設けられている。
【００８２】
つまり、それぞれの振動腕部２２０のそれぞれの主面に設けられている二つ一対の溝部２２１は、隣接する振動腕部２２０に最も近い溝部２２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ２２の長さと、隣接する振動腕部２２０から最も遠い溝部２２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ２３の長さとが異なっている。
また、それぞれの振動腕部２２０のそれぞれの主面に設けられている二つ一対の溝部２２１は、同一振動腕部２２０内で一方の主面に設けられている溝部２２１ａの底面と他方の主面に設けられている溝部２２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置設けられている。
【００８３】
従って、基部２１０と溝部２２１が設けられている二つ一対の振動腕部２２０とからなる水晶片は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、基部２１０の側面から二つ一対の振動腕部２２０が同一方向に延設され音叉形状となっている。
また、水晶片は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、同一振動腕部２２０内で一方の主面に設けられている二つ一対の溝部２２１ａの底面と他方の主面に設けられている二つ一対の溝部２２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置にそれぞれの振動腕部２２０のそれぞれの主面に二つ一対の溝部２２１が設けられている。
また、水晶片は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、振動腕部２２０の一方の主面又は振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、隣接する振動腕部２２０に最も近い溝部２２１の開口部の辺Ｈ２２の長さが、隣接する振動腕部２２０から最も遠い溝部２２１の開口部の辺Ｈ２３の長さと異なるように二つ一対の溝部２２１が設けられている。
【００８４】
このため、このような水晶片は、励振用電極と接続用電極と周波数調整用電極と配線部を設け振動させた場合、それぞれの振動腕部２２０の隣接する振動腕部２２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面での振動変位と、隣接する振動腕部２２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面に対向する同一腕部２２０のＹ軸及びＺ軸に平行な面側での振動変位とが互いに相殺するようにＺ軸に平行な向きに振動させることができる。
【００８５】
このような水晶片を用いた第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、振動腕部２２０の内側側面側で生じるＺ軸に平行な向きの振動と振動腕部２２０の外側側面側で生じるＺ軸に平行な向きの振動とを互いに相殺させることができ、見かけ上Ｚ軸に平行な向きの振動を従来の音叉型屈曲水晶振動素子と比較して抑えることができるので、第一の実施形態と同様の効果を奏する。
【００８６】
（第三の実施形態）
本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、溝部の開口部３２１が四角形状となっている水晶片を用いている点で第二の実施形態と異なる。
【００８７】
本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子に用いる水晶片は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、基部３１０と二つ一対の振動腕部３２０とからなり、それぞれの振動腕部３２０のそれぞれの主面に二つ一対の溝部３２１が設けられている。
また、このような水晶片は、例えば、フォトリソグラフィ技術とエッチング技術により設けられている。
【００８８】
基部３１０は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、平面視略四角形状の平板である。
また、基部３１０は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有しており、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸に平行となっている。
【００８９】
振動腕部３２０は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、二つ一対で設けられており、基部３１０の側面から同一方向に延設され基部３１０と一体で形成されている。
このとき、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、振動腕部３２０の基部３１０側から先端側に向かう方向がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部３１０は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、両主面が四角形状に形成され、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸方向となっている。このとき、振動腕部３２０の両主面は、基部３１０の両主面と同一平面上に位置している。
また、振動腕部３２０は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、振動腕部３２０の一方の主面又は振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、基部３１０に接する辺及びこの辺に対向する辺がＸ軸に平行となっており、隣接する振動腕部３２０側を向く辺及びこの辺に対向する辺がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部３２０は、例えば、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、両主面に二つ一対の溝部３２１が設けられている。
【００９０】
溝部３２１は、例えば、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、それぞれの振動腕部３２０のそれぞれの主面に二つ一対で設けられている。
また、二つ一対の溝部３２１は、例えば、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、それぞれの開口部の大きさが異なっており、振動腕部３２０の一方の主面又は振動腕部３２０の他方の主面を見た場合に、Ｘ軸に平行な振動腕部３２０の辺の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線、つまり、第一の仮想線Ｋ３１を基準として二つ一対の溝部３２１の開口部が線対称となっていない。
また、溝部３２１は、底面及び開口部がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、開口部から底面に向かう向き、つまり、深さ方向がＺ軸に平行となっている。
【００９１】
また、溝部３２１は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、開口部が四角形状となっており、所定の二辺がＹ軸に平行となっている。
また、溝部３２１は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、振動腕部３２０の一方の主面又は振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０に最も近い辺Ｈ３２の長さが、隣接する振動腕部３２０から最も遠い溝部３２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部３２０から最も離れた辺Ｈ３３の長さと異なっている。
【００９２】
また、一方の主面に設けられている二つ一対の溝部３２１ａは、例えば、振動腕部３２０の一方の主面を見た場合、図４（ａ）に示すように、二つ一対の溝部３２１ａの開口部が矩形形状となっている。
また、一方の主面に設けられている溝部３２１ａは、例えば、振動腕部３２０の一方の主面を見た場合、図４（ａ）に示すように、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２１ａの開口部の大きさが隣接する振動腕部３２０から最も離れている溝部３２１ａの開口部の大きさと比較すると大きくなっている。
また、一方の主面に設けられている溝部３２１ａは、例えば、振動腕部３２０の一方の主面を見た場合、図４（ａ）に示すように、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺の長さが、隣接する振動腕部３２０から最も遠い溝部３２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺の長さと比較して長くなっている。
従って、一方の主面に設けられている溝部３２１ａは、例えば、振動腕部２２０の一方の主面を見た場合、図４（ａ）に示すように、隣接する振動腕部２２０に最も近い溝部３２１ａの辺Ｈ３２の長さが、隣接する振動腕部３２０から最も遠い溝部３２１ａの辺Ｈ３３の長さと比較して長くなっている。
また、一方の主面に設けられている溝部３２１ａは、例えば、振動腕部３２０の一方の主面を見た場合、図４（ａ）に示すように、振動腕部３２０の基部３１０側に設けられている。
【００９３】
また、他方の主面に設けられている二つ一対の溝部３２１ｂは、例えば、振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、図４（ｂ）に示すように、二つ一対の溝部３２１ｂの開口部が矩形形状となっている。
また、他方の主面に設けられている溝部３２１ｂは、例えば、振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、図４（ｂ）に示すように、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２０ｂの開口部の大きさが隣接する振動腕部３２０から最も離れた３２０ｂの開口部の大きさと比較すると小さくなっている。
また、他方の主面に設けられている溝部３２１ｂは、例えば、振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、図４（ｂ）に示すように、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺の長さが、隣接する振動腕部３２０から最も遠い溝部３２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺の長さと比べて短くなっている。
従って、他方の主面に設けられている溝部３２１ｂは、例えば、振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、図４（ｂ）に示すように、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２１ｂの辺Ｈ３２の長さが、隣接する振動腕部３２０から最も遠い溝部３２１ｂの辺Ｈ３３の長さと比較して短くなっている。
また、他方の主面に設けられている溝部３２１ｂは、例えば、振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、図４（ｂ）に示すように、振動腕部３２０の先端側に設けられている。
【００９４】
つまり、それぞれの振動腕部３２０のそれぞれの主面に設けられている二つ一対の溝部３２１は、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ３２の長さが、隣接する振動腕部３２０から最も遠い溝部３２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ３３の長さと異なっている。
また、それぞれの振動腕部３２０のそれぞれの主面に設けられている二つ一対の溝部３２１は、同一振動腕部３２０内で一方の主面に設けられている溝部３２１ａの底面と、他方の主面に設けられている溝部３２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置に設けられている。
【００９５】
従って、基部３１０と溝部３２１が設けられている二つ一対の振動腕部３２０とからなる水晶片は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、基部３１０の側面から二つ一対の振動腕部３２０の同一方向に延設され音叉形状となっている。
また、水晶片は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、同一振動腕部３２０内で一方の主面に設けられている二つ一対の溝部３２１ａの底面と他方の主面に設けられている二つ一対の溝部３２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置にそれぞれの振動腕部３２０のそれぞれの主面に二つ一対の溝部３２１が設けられている。
また、水晶片は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、振動腕部３２０の一方の主面又は振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２１の開口部のＹ軸に平行な辺の長さと隣接する振動腕部３２０から最も遠い溝部３２１の開口部のＹ軸に平行な辺の長さとが異なるように、開口部の大きさの異なる二つ一対の溝部３２１が設けられている。
【００９６】
このため、このような水晶片は、励振用電極と接続用電極と周波数調整用電極と配線部を設け振動させた場合、それぞれの振動腕部３２０の隣接する振動腕部３２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面での振動変位と隣接する振動腕部３２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面に対向する同一腕部３２０のＹ軸及びＺ軸に平行な面側での振動変位とが互いに相殺するようにＺ軸に平行な向きに振動させることができる。
【００９７】
このような水晶片を用いた第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、振動腕部３２０の内側側面側で生じるＺ軸に平行な向きの振動と振動腕部３２０の外側側面側で生じるＺ軸に平行な向きの振動とを互いに相殺させることができ、見かけ上Ｚ軸に平行な向きの振動を従来の音叉型屈曲水晶振動素子と比較して抑えることができるので、第二の実施形態と同様の効果を奏する。
【００９８】
（第四の実施形態）
本発明の第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、溝部の開口部３２１の大きさが同じとなっている水晶片を用いている点で第二の実施形態と異なる。
【００９９】
本発明の第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子に用いる水晶片は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、基部４１０と二つ一対の振動腕部４２０とからなり、それぞれの振動腕部４２０のそれぞれの主面に二つ一対の溝部４２１が設けられている。
また、このような水晶片は、例えば、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術により設けられている。
【０１００】
基部４１０は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、平面視略四角形状の平板である。
また、基部４１０は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有しており、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸に平行となっている。
【０１０１】
振動腕部４２０は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、二つ一対で設けられており、基部４１０の側面から同一方向に延設され基部４１０と一体で形成されている。
このとき、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、振動腕部４２０の基部４１０側から先端側に向かう方向がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部４１０は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、両主面が四角形状となっており、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸方向となっている。このとき、振動腕部４２０の両主面は、基部４１０の両主面と同一平面上に位置している。
また、振動腕部４２０は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、両主面が四角形状となっており、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっとり、厚み方向がＺ軸方向となっている。このとき、振動腕部４２０の両主面は、基部４１０の両主面と同一平面上に位置している。
また、振動腕部４２０は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、振動腕部４２０の一方の主面又は振動腕部４２０の他方の主面を見た場合、基部４１０に接する辺及びこの辺に対向する辺がＸ軸に平行となっており、隣接する振動腕部４２０側を向く辺及びこの辺に対向する辺がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部４２０は、例えば、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、両主面に二つ一対の溝部４２１が設けられている。
【０１０２】
溝部４２１は、例えば、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、それぞれの振動腕部４２０のそれぞれの主面に二つ一対で設けられている。
また、二つ一対の溝部３２１は、例えば、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、第一の仮想線Ｋ４１を基準として二つ一対の溝部４２１の開口部が線対称となっていない。
また、溝部４２１は、底面及び開口部がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、開口部から底面に向かう向き、つまり、深さ方向がＺ軸に平行となっている。
【０１０３】
また、溝部４２１は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、開口部が台形形状となっており、所定の二辺がＹ軸に平行となっている。
また、溝部４２１は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、振動腕部４２０の一方の主面又は振動腕部４２０の他方の主面を見た場合、溝部４２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０に最も近い辺の長さが、溝部４２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０から最も遠い辺の長さと異なっている。
【０１０４】
一方の主面に設けられている二つ一対の溝部４２１ａは、例えば、振動腕部４２０の一方の主面を見た場合、図５（ａ）に示すように、二つ一対の溝部４２１ａの開口部が台形形状となっている。
また、一方の主面に設けられている二つ一対の溝部４２１ａは、例えば、開口部の大きさが同じ大きさとなっており、溝部４２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０に近い辺の長さが、溝部４２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０から遠い辺の長さと比較して長くなっている。
従って、一方の主面に設けられている溝部４２１ａは、例えば、振動腕部４２０の一方の主面を見た場合、図５（ａ）に示すように、隣接する振動腕部４２０に最も近い溝部４２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０に最も近い辺Ｈ４２の長さが、隣接する振動腕部４２０から最も遠い溝部４２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０から最も遠い辺Ｈ４３の長さと比較して長くなっている。
また、一方の主面に設けられている溝部４２１ａは、例えば、振動腕部４２０の一方の主面を見た場合、図５（ａ）に示すように、振動腕部４２０の基部４１０側に設けられている。
【０１０５】
他方の主面に設けられている二つ一対の溝部４２１ｂは、例えば、振動腕部４２０の他方の主面を見た場合、図５（ｂ）に示すように、二つ一対の溝部４２１ｂの開口部が台形形状となっている。
また、他方の主面に設けられている二つ一対の溝部４２１ｂは、例えば、開口部の大きさが同じ大きさとなっており、溝部４２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０に近い辺の長さが、溝部４２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０から遠い辺の長さと比較して短くなっている。
従って、他方の主面に設けられている溝部４２１ｂは、例えば、振動腕部４２０の他方の主面を見た場合、図５（ｂ）に示すように、隣接する振動腕部５２０に最も近い溝部５２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０に最も近い辺Ｈ４２の長さが、隣接する振動腕部４２０から最も遠い溝部４２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０から最も遠い辺Ｈ４３の長さと比較して短くなっている。
また、他方の主面に設けられている溝部４２１ｂは、例えば、振動腕部４２０の他方の主面を見た場合、図５（ｂ）に示すように、振動腕部４２０の先端側に設けられている。
【０１０６】
つまり、それぞれの振動腕部４２０のそれぞれの主面に設けられている二つ一対の溝部４２１は、隣接する振動腕部４２０に最も近い溝部４２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ４２の長さと隣接する振動腕部４２０から最も遠い溝部４２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ４３の長さとが異なっている。
また、それぞれの振動腕部４２０のそれぞれの主面に設けられている二つ一対の溝部４２１は、同一振動腕部４２０内で一方の主面に設けられている溝部４２１ａの底面と他方の主面に設けられている溝部４２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置に設けられている。
【０１０７】
従って、基部４１０と溝部４２１が設けられている二つ一対の振動腕部４２０とからなる水晶片は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、基部４１０の側面から二つ一対の振動腕部４２０の同一方向に延設され音叉形状となっている。
また、水晶片は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、同一振動腕部４２０内で一方の主面に設けられている二つ一対の溝部４２１ａの底面と他方の主面に設けられている二つ一対の溝部４２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置にそれぞれの振動腕部４２０のそれぞれの主面に二つ一対の溝部４２１が設けられている。
また、水晶片は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、振動腕部４２０の一方の主面又は振動腕部４２０の他方の主面を見た場合、隣接する振動腕部４２０に最も近い溝部４２１の開口部のＹ軸に平行な辺の長さと隣接する振動腕部４２０から最も遠い溝部４２１の開口部のＹ軸に平行な辺の長さとが異なるように、開口部の大きさの異なる二つ一対の溝部４２１が設けられている。
【０１０８】
このため、このような水晶片は、励振用電極と接続用電極と周波数調整用電極と配線部を設け振動させた場合、それぞれの振動腕部４２０の隣接する振動腕部４２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面での振動変位と隣接する振動腕部４２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面に対向する同一腕部４２０のＹ軸及びＺ軸に平行な面側での振動変位とが互いに相殺するようにＺ軸に平行な向きに振動させることができる。
【０１０９】
このような水晶片を用いた第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、振動腕部４２０の内側側面側で生じるＺ軸に平行な向きの振動と振動腕部４２０の外側側面側で生じるＺ軸に平行な向きの振動とを互いに相殺させることができ、見かけ上Ｚ軸に平行な向きの振動を従来の音叉型屈曲水晶振動素子と比較して抑えることができるので、第二の実施形態と同様の効果を奏する。
【符号の説明】
【０１１０】
１００，５０ 音叉型屈曲水晶振動素子
１１０，２１０，３１０，４１０，５１０，６１０ 基部
１２０，２２０，３２０，４２０，５２０，６２０ 振動腕部
１２１，２２１，３２１，４２１，５２１，６２１ 溝部
１３０，５３０ 励振用電極
１４０，５４０ 周波数調整用電極
１５０，５５０ 接続用電極
Ｈ 配線部
Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５，Ｗ６ Ｘ軸に平行な向きの振動腕部の辺
Ｈ１２，Ｈ２２，Ｈ３２，Ｈ４２，Ｈ５２，Ｈ６２ 隣接する振動腕部に最も近い辺
Ｈ１３，Ｈ２３，Ｈ３３，Ｈ４３，Ｈ５３，Ｈ６３ 隣接する振動腕部から最も遠い辺
Ｋ１１，Ｋ２１，Ｋ３１，Ｋ４１，Ｋ５１，Ｋ６１ 第一の仮想線
【技術分野】
【０００１】
本発明は、音叉型屈曲水晶振動素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
音叉型屈曲水晶振動素子５００は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、基部５１０及び振動腕部５２０からなる水晶片と、振動腕部５２０に設けられている溝部５２１（５２１ａ，５２１ｂ）と、励振用電極５３０（５３１，５３２，５３３，５３４）と、周波数調整用電極５４０と、接続用電極５５０と、配線部Ｈと、を少なくとも備えている。
【０００３】
水晶片は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、基部５１０と二つ一対の振動腕部５２０とから構成されている。
【０００４】
基部５１０は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、平面視略四角形状の平板である。
また、基部５１０は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有している。
また、基部３１０は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸に平行となっている。
【０００５】
振動腕部５２０は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、二つ一対で設けられており、基部５１０の側面から同一方向に延設され基部５１０と一体となって形成されている。このとき、図６（ａ）と図６（ｂ）と図７（ａ）と図７（ｂ）に示すように、振動腕部５２０の基部５１０側から先端側に向かう方向がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部５２０は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、溝部５２１が設けられている。
【０００６】
溝部５２１は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、それぞれの振動腕部５２０のそれぞれの主面に形成されている。
また、溝部５２１は、開口部から底面に向かう向き、つまり、深さ方向がＺ軸に平行に形成されている。
また、溝部５２１は、開口部が矩形形状となっており、所定の二辺がＸ軸に平行となっている。また、溝部５２１は、開口部の所定の二辺Ｈ５１が開口部の所定の他の二辺Ｈ５２，Ｈ５３と比較して短くなっている。
【０００７】
また、溝部５２１ａは、振動腕部５２０の一方の主面を見た場合、図６（ａ）に示すように、Ｘ軸に平行な振動腕部５２０の辺Ｗ５の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線上に、溝部５２１ａの開口部の所定の二辺Ｈ５１の中点が位置している。
【０００８】
ここで、Ｘ軸に平行な振動腕部５２０の辺Ｗ５の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線を第一の仮想線Ｋ５１とする。
【０００９】
従って、溝部５２１ａは、第一の仮想線Ｋ５１を基準として、所定の他の二辺Ｈ５２，Ｈ５３のうち隣接する振動腕部５２０に最も近い辺Ｈ５２と、所定の他の二辺Ｈ５２，Ｈ５３のうち隣接する振動腕部５２０から最も遠い辺Ｈ５３とが線対称となっている。
【００１０】
また、溝部５２１ｂは、振動腕部５２０の他方の主面を見た場合、図６（ｂ）に示すように、第一の仮想線Ｋ５１上に溝部５２１ｂの開口部の所定の二辺Ｈ５１の中点が位置している。
従って、溝部５２１ｂは、第一の仮想線Ｋ５１を基準として、所定の他の二辺Ｈ５２，Ｈ５３のうち隣接する振動腕部５２０に最も近い辺Ｈ５２と、所定の他の二辺Ｈ５２，Ｈ５３のうち隣接する振動腕部５２０から最も遠い辺Ｈ５３とが線対称となっている。
【００１１】
このように基部５１０と二つ一対の振動腕部５２０からなる水晶片は、音叉形状となっており、例えば、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術により設けられている。
【００１２】
振動腕部５２０の表面には、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、励振用電極５３０及び周波数調整用電極５４０が設けられている。
【００１３】
一方の振動腕部５２０に着目すると、振動腕部５２０の表面には、例えば、四つ一対の励振用電極３３０及び二つ一対の周波数調整用電極５４０が設けられている。
【００１４】
励振用電極５３０は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、所定の二つの励振用電極５３１，５３２が振動腕部５２０の両主面に設けられ、所定の他の二つの励振用電極５３３，５３４が、振動腕部３２０のＹ軸及びＺ軸に平行な面に設けられている。
【００１５】
ここで、振動腕部５２０のＹ軸及びＺ軸に平行な面のうち隣接する振動腕部５２０側を向く面を振動腕部５２０の内側側面とし、この内側側面に対向する面を振動腕部５２０の外側側面とする。
【００１６】
従って、所定の他の二つの励振用電極５３３，５３４は、振動腕部５２０の内側側面及び外側側面に設けられている。
【００１７】
周波数調整用電極５４０は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、振動腕部５２０の両主面であって振動腕部５２０の先端側に設けられている。
【００１８】
接続用電極５５０は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、二つ一対で基部５１０に設けられている。
一方の接続用電極５５０は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、基部５１０の一方の主面から他方の主面にわたって設けられつつ、振動腕部５２０の主面を見た場合に振動腕部５２０に接している基部５１０の辺に対向する基部５１０の辺の一方の角端部に位置するように設けられている。
他方の接続用電極５５０は、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、基部５１０の一方の主面から他方の主面にわたって設けられつつ、振動腕部５２０の主面を見た場合に振動腕部５２０に接している基部５１０の辺に対向する基部５１０の辺の他方の角端部に位置するように設けられている。
【００１９】
配線部Ｈは、例えば、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、所定の励振用電極５３０間、又は、所定の励振用電極５３０と所定の周波数調整用電極５４０との間、又は、所定の励振用電極５３０と所定の接続用電極５５０との間、を電気的に接続させるように水晶片の表面に設けられている。
【００２０】
このような音叉型屈曲水晶振動素子５００は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、一方の接続用電極５５０が、配線部Ｈ及び周波数調整用電極１４０を介して、一方の振動腕部５２０の両主面に設けられている所定の二つの励振用電極５３１，５３２と他方の振動腕部５２０の内側側面及び外側側面に設けられている所定の他の二つの励振用５３３，５３４とに電気的に接続されている。
また、このような音叉側屈曲水晶振動素子５００は、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、他方の接続用電極５５０が配線部Ｈ及び周波数調整用電極５４０を介して、一方の振動腕部５２０の内側側面及び外側側面に設けられている所定の他の二つの励振用電極５３３，５３４と他方の振動腕部５２０の両主面に設けられている所定の二つの励振用電極５３１，５３２とに電気的に接続されている。
【００２１】
また、このような音叉型屈曲水晶振動素子５００は、例えば、励振用電極５３０と周波数調整用電極５４０と接続用電極５５０とがクロム層の上に金層が設けられた金属の積層構造となっており、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術により形成されている。
【００２２】
また、このような音叉型屈曲水晶振動素子５００は、二つ一対の接続用電極５５０に交番電圧を印加させることで、二つ一対の振動腕部５２０を屈曲振動させる構造となっている。
【００２３】
また、このような音叉型屈曲水晶振動素子５００で振動腕部５２０が振動しているときの電気的状態を瞬間的にとらえると、一方の振動腕部５２０では、一方の振動腕部５２０の所定の二つの励振用電極５３１，５３２がプラス電位となり、一方の振動腕部５２０の所定の他の二つの励振用電極５３３，５３４がマイナス電位となり、所定の二つの励振用電極５３１，５３２から所定の他の二つの励振用電極５３３，５３４に向かう向きに電界が生じている。
このとき、他方の振動腕部５２０では、他方の振動腕部５２０の所定の他の二つの励振用電極５３３，４３４がプラス電位となり、他方の振動腕部５２０の所定の二つの励振用電極５３１，５３２がマイナス電位となり、所定の他の二つの励振用電極５３３，５３４から所定の二つの励振用電極５３１，５３２に向かう向きに電界が生じている。
【００２４】
このような音叉型屈曲水晶振動素子５００は、交番電圧が接続用電極５５０に接続されそれぞれの振動腕部５３０に電界が生じることによって、それぞれの振動腕部５３０に伸縮現象が生じる。
その結果、このような音叉型屈曲水晶振動素子５００は、所定の振動腕部５２０に設定した共振周波数で屈曲振動する。
なお、このような音叉型屈曲水晶振動素子５００は、それぞれの振動腕部５２０に設けられている周波数調整用電極５４０を構成する金属の量を増減させることで共振周波数を調整することができる構成となっている（例えば、特許文献１参照）。
【００２５】
このような音叉型屈曲水晶振動素子５００に用いる水晶片は、例えば、図７（ａ）と図７（ｂ）と図７（ｃ）に示すように、それぞれの振動腕部５２０の両主面に一つずつ同じ大きさの溝部５２１（５２１ａ，５２１ｂ）が設けられている。
このとき、図７（ａ）と図７（ｂ）と図７（ｃ）に示すように、振動腕部５２０の一方の主面に形成されている溝部５２１ａの底面が振動腕部５２０の他方の主面に形成されている溝部５２１ｂの底面と同一振動腕部５２０内で対向しないように、振動腕部５２０の一方の主面に形成されている溝部５２１ａ及び振動腕部５２０の他方の主面に形成されている溝部５２１ｂがＹ軸に平行な方向に交互にずらした位置にそれぞれ設けられている。
なお、このような水晶片を用いている音叉型屈曲水晶振動素子５００は、一方の主面に設けられている溝部５２１ａの底面の全面に励振用電極５３１の一部が設けられており、他方の主面に設けられている溝部５２１ｂの底面の全面に励振用電極５３２の一部が設けられている。
【００２６】
また、このような水晶片は、振動腕部５２０の一方の主面を見た場合、図７（ａ）に示すように、溝部５２１ａの開口部の辺のうちＸ軸に平行な辺Ｈ３１の中点が第一の仮想線Ｋ５１上に位置している。
従って、このような水晶片は、図７（ａ）に示すように、溝部５２１ａの開口部の辺のうちＹ軸に平行な辺Ｈ５２，Ｈ５３が第一の仮想線Ｋ５１を基準として線対称となっている。
【００２７】
また、このような水晶片は、振動腕部５２０の他方の主面を見た場合、図７（ｂ）に示すように、溝部５２１ｂの開口部の辺のうちＸ軸に平行な辺Ｈ３１の中点が第一の仮想線Ｋ５１上に位置している。
従って、このような水晶片は、図７（ｂ）に示すように、溝部５２１ｂの開口部の辺のうちＹ軸に平行な辺Ｈ５２，Ｈ５３が第一の仮想線Ｋ５１を基準として線対称となっている。
【００２８】
また、このような水晶片は、図７（ｃ）に示すように、溝部５２１の開口部の大きさが溝部５２１の底面の大きさと比較すると大きくなっている。
ここで、溝部５２１内側を向く面のうち、溝部５２１の開口部及び溝部５２１の底面に接している面を溝部５２１の側面とする。
【００２９】
また、このような水晶片は、図７（ｃ）に示すように、溝部５２１の底面から開口部に向かうに従って溝部５２１の底面から溝部５２１の側面までのＺ軸に平行な向きの長さが長くなるように溝部５２１の側面が設けられている。
【００３０】
また、このような水晶片は、例えば、図７（ｃ）に示すように、振動腕部５２０の断面を見た場合、振動腕部５２０の一方の主面に形成されている溝部５２１ａの側面のうち振動腕部５２０の先端側に近い側面が、振動腕部５２０の他方の主面に形成されている溝部５２１ｂの側面のうち基部５１０側に近い側面に対向している。
【００３１】
ここで、一方の主面に設けられている溝部５２１ａの側面のうち振動腕部５２０の先端側の側面と、他方の主面に設けられている溝部５２１ｂの側面のうち基部５１０側の側面とで挟まれた振動腕部５２０の一部をオーバーラップ部分とする。
言い換えると、オーバーラップ部分は、一方の主面に設けられている溝部５２１ａの所定の一つの側面と他方の主面に設けられている溝部５２１ｂの側面のうち一方の主面に設けられている溝部５２１ａの所定の一つの側面に対向する面とで挟まれている振動腕部５２０の一部である。
【００３２】
このような水晶片は、水晶片の一方の主面側から見た場合、両主面に設けられた溝部５２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ５２，Ｈ５３が第一の仮想線Ｋ５１を基準として線対称となっているので、オーバーラップ部分が所定の二辺がＸ軸に平行でかつ所定の他の二辺がＹ軸に平行となる矩形形状になっている。
【００３３】
両主面に一つずつ同じ大きさの溝部５２１が設けられている水晶片を用いている音叉型屈曲水晶振動素子５００について説明したが、別の一例として、図８（ａ）と図８（ｂ）と図８（ｃ）に示すように、両主面に二つずつ同じ大きさの溝部６２１が設けられている水晶片を用いる場合がある。
【００３４】
このような水晶片は、振動腕部６２０の一方の主面に形成されている溝部６２１ａの底面が振動腕部６２０の他方の主面に形成されている溝部６２１ｂの底面と同一振動腕部６２０内で対向しないように、振動腕部６２０の一方の主面に形成されている溝部６２１ａ及び振動腕部６２０の他方の主面に形成されている溝部６２１ｂがＹ軸に平行な方向に交互にずらした位置にそれぞれ形成されている。
なお、このような水晶片を用いている水晶振動素子は、一方の主面に形成されている溝部６２１ａの底面の全面に励振用電極の一部が形成されており、他方の主面に形成されている溝部６２１ｂの底面の全面に励振用電極の一部が形成されている。
【００３５】
また、この水晶片は、振動腕部６２０の一方の主面を見た場合、図８（ａ）に示すように、一方の主面に形成されている二つ一対の溝部４２１ａがＸ軸に平行な振動腕部６２０の辺Ｗ６の中点を通過しつつＹ軸に平行となっている仮想線、つまり、第一の仮想線Ｋ６１を基準として線対称となるように設けられている。
また、この水晶片は、図８（ａ）に示すように、隣接する振動腕部６２０に最も近い溝部６２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部６２０に最も近い辺Ｈ６２と、隣接する振動腕部６２０から最も離れた溝部６２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部６２０から最も離れた辺Ｈ６３とが第一の仮想線Ｋ６１を基準として線対称となっている。
【００３６】
また、この水晶片は、振動腕部５２０の他方の主面を見た場合、図８（ｂ）に示すように、他方の主面に形成されている二つの溝部６２１ｂがＸ軸に平行な振動腕部６２０の辺Ｗ６の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線、つまり、第一の仮想線Ｋ６１を基準として線対称となるように設けられている。
また、この水晶片は、振動腕部６２０の他方の主面を見た場合、図８（ｂ）に示すように、隣接する振動腕部６２０に最も近い溝部６２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部６２０に最も近い辺Ｈ６２と、隣接する振動腕部６２０から最も離れた溝部６２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部６２０から最も離れた辺Ｈ６３とが第一の仮想線Ｋ６１を基準として線対称となっている。
【００３７】
また、この水晶片は、図８（ｃ）に示すように、溝部６２１の開口部の大きさが溝部５２１の底面の大きさと比較すると大きくなっている。
また、このような水晶片は、溝部６２１の底面から溝部６２１の開口部に向かうに従って、溝部６２１の底面から溝部６２１の側面までのＺ軸に平行な向きの長さが長くなるように溝部６２１の側面が設けられている。
【００３８】
また、この水晶片は、水晶片の一方の主面側から見た場合、水晶片の両主面に設けられている二つ一対の溝部６２１が第一の仮想線Ｋ６１を基準に線対称となるように設けられ、水晶片の両主面に設けられている二つ一対の溝部６２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部６２０に最も近い辺Ｈ６２と、隣接する振動腕部６２１から最も遠い辺Ｈ６３とが第一の仮想線Ｋ６１を基準に線対称となるように設けられているので、
オーバーラップ部分が所定の二辺がＸ軸に平行でかつ所定の他の二辺がＹ軸に平行となっている矩形形状となっている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３９】
【特許文献１】特開２００７−３２９８７９号公報
【特許文献２】特許第４５７８４９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００４０】
しかしながら、従来の音叉型屈曲水晶振動素子は、両主面に設けられている溝部の底面が対向しないようにそれぞれの振動腕部のそれぞれの主面にＹ軸に平行な向きで交互にずらした位置に溝部が設けられ、かつ、振動腕部に設けられている溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部に最も近い辺と振動腕部に設けられている溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部に最も遠い辺とが
第一の仮想線を基準として線対称となるようにそれぞれの振動腕部のそれぞれの主面に溝部が設けられているので、溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部に最も近い辺の長さと、溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部から最も遠い辺の長さとが同じとなっている。
このため、二つ一対の接続用電極に交番電圧が印加され振動する場合、従来の音叉型屈曲水晶振動素子は、振動腕部の内側側面側でのＺ軸に平行な振動と振動腕部の外側側面側でのＺ軸に平行な振動とが互いに相乗し、Ｘ軸およびＹ軸に平行な平面上で振動する屈曲振動にＺ軸に平行な向きに振動する振動がスプリアスとして混在してしまい、クリスタルインピーダンスの値が大きくなる。
従って、従来の音叉型屈曲水晶振動素子は、クリスタルインピーダンスの値が大きくなり、クリスタルインピーダンスの値が大きいことによる不良が発生し生産性が低下する。
【００４１】
そこで、本発明では、Ｚ軸に平行な向きで振動する振動がスプリアスとして混在することを抑え、生産性を向上させた音叉型屈曲水晶振動素子を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００４２】
前記課題を解決するため、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有し、両主面が前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸に平行となっている平板状の基部と、両主面が前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸に平行となっている矩形形状となっており、前記基部の側面から前記Ｙ軸に平行な向きであって同一方向に延設されて前記基部と一体化されている二つ一対の振動腕部と、開口部が四角形状となっており、
開口部の所定の二辺が前記Ｙ軸に平行となるようにそれぞれの前記振動腕部の両主面にそれぞれ形成されている溝部と、前記振動腕部の表面に所望のパターンで形成されている複数の励振用電極と、前記基部の表面に所望のパターンで形成されている接続用電極と、前記励振用電極間又は前記励振用電極と前記接続用電極との間を電気的に接続している配線部と、を備え、
前記振動腕部の一方の主面に形成されている溝部の底面と前記振動腕部の他方の主面に形成されている溝部の底面とが対向しないように、前記溝部が前記Ｙ軸に平行な方向に交互にずらした位置にそれぞれ形成されつつ、前記溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部に最も近い辺の長さが前記溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部から最も遠い溝部の開口部の辺の長さと異なっていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００４３】
このような音叉型屈曲水晶振動素子によれば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した平板状の基部の側面から二つ一対の振動腕部が延設され、それぞれの振動腕部のそれぞれの主面に一方の主面に設けられている溝部の底面と他方の主面に設けられている溝部の底面とが対向しないように溝部が設けれ、Ｙ軸に平行な溝部の開口部の辺のうち隣接する振動腕部に最も近い辺の長さが、
Ｙ軸に平行な溝部の開口部の辺のうち隣接する振動腕部から最も離れた辺の長さと異なっているので、二つ一対の接続用電極に交番電圧が印加され振動する場合、隣接する振動腕部側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な振動腕部の面側でのＺ軸に平行な振動と隣接する振動腕部側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な振動腕部の面に対向する同一振動腕部内の面側でのＺ軸に平行な振動とを互いに相殺させることができる。
従って、このような音叉型屈曲水晶振動素子によれば、Ｚ軸に平行な振動を互いに相殺させることができるので、従来の音叉型屈曲水晶振動素子と比較して、Ｘ軸およびＹ軸に平行な平面上で振動する屈曲振動に混在するスプリアスを抑えることができ、従来の音叉型屈曲水晶振動素子と比較してクリスタルインピーダンスの値が大きくなることを抑えることができる。
このため、このような音叉型屈曲水晶振動素子によれば、クリスタルインピーダンスの値が大きくなることによる不良を従来の音叉型屈曲水晶振動素子と比較して抑えることができ、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】（ａ）は、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の他方の主面の状態の一例を示す平面図である。
【図２】（ａ）は、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の他方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｃ）は、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の状態の一例を示す断面図である。
【図３】（ａ）は、本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の他方の主面の状態の一例を示す平面図である。
【図４】（ａ）は、本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の他方の主面の状態の一例を示す平面図である。
【図５】（ａ）は、本発明の第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、本発明の第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の他方の主面の状態の一例を示す平面図である。
【図６】（ａ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子の他方の主面の状態の一例を示す平面図である。
【図７】（ａ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の他方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｃ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子で用いる水晶片の状態の一例を示す断面図である。
【図８】（ａ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子で用いる別の一例の水晶片の一方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｂ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子で用いる別の一例の水晶片の他方の主面の状態の一例を示す平面図であり、（ｃ）は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子で用いる別の一例の水晶片の状態の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
次に、本発明を実施するための最良の形態について説明する。なお、各図面において各構成要素の状態を分かりやすくするために誇張して図示している。
【００４６】
（第一の実施形態）
本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、基部１１０及び振動腕部１２０からなる水晶片と、振動腕部１２０に設けられている溝部１２１（１２１ａ，１２１ｂ）と、励振用電極１３０（１３１，１３２，１３３，１３４）と、周波数調整用電極１４０と、接続用電極１５０と、配線部Ｈと、を少なくとも備えている。
【００４７】
水晶片は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、基部１１０と二つ一対の振動腕部１２０とから構成されており、振動腕部１２０の両主面に溝部１２１（１２１ａ，１２１ｂ）が設けられている。
また、水晶片は、例えば、フォトリソグラフィ技術とエッチング技術により、設けられている。
【００４８】
基部１１０は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、平面視略四角形状の平板である。
また、基部１１０は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有しており、両主面がＸ軸およびＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸に平行となっている。
【００４９】
振動腕部１２０は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、二つ一対で設けられており、基部１１０の側面から同一方向に延設され基部１１０と一体で形成されている。このとき、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、振動腕部１２０の基部１１０側から先端側に向かう方向がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部１２０は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、両主面が四角形状に形成され、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸に平行となっている。このとき、振動腕部１２０の両主面は、基部１１０の両主面と同一平面上に位置している。
また、振動腕部１２０は、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、一方の主面又は他方の主面を見た場合、基部１１０に接する辺及びこの辺に対向する辺がＸ軸に平行となっており、隣接する振動腕部１２０側を向く辺及びこの辺に対向する辺がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部１２０は、例えば、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、両主面に一つずつ溝部１２１が形成されている。
【００５０】
溝部１２１は、例えば、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）に示すように、それぞれの振動腕部１２０のそれぞれの主面に一つずつ設けられている。
また、溝部１２１は、底面及び開口部がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、開口部から底面に向かう向き、つまり、深さ方向がＺ軸に平行となっている。
【００５１】
また、溝部１２１は、例えば、図１（ａ）と図１（ｂ）と図２（ａ）と図２（ｂ）と図２（ｃ）に示すように、開口部が四角形状となっており、例えば、開口部の所定の二辺Ｈ１２，Ｈ１３がＹ軸に平行となっている台形形状となっている。
また、溝部１２１は、溝部１２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ１２，Ｈ１３のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ１２の長さと、溝部３２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ１２，Ｈ１３のうち隣接する振動腕部１２０から最も遠い辺Ｈ１３の長さとが異なるように設けられている。
【００５２】
振動腕部２２０の一方の主面を見た場合、溝部１２１ａは、例えば、図１（ａ）及び図２（ａ）に示すように、Ｙ軸に平行な溝部１２１ａの開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ２１の長さが、Ｙ軸に平行な溝部１２１ａの開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０から最も遠い辺Ｈ３１の長さより長くなっている。
また、溝部１２１ａは、図１（ａ）と図２（ａ）と図２（ｃ）に示すように、振動腕部１２０の基部１１０側に設けられている。
【００５３】
振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、溝部１２１ｂは、例えば、図１（ｂ）及び図２（ｂ）に示すように、Ｙ軸に平行な溝部１２１ｂの開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ１２の長さが、Ｙ軸に平行な溝部１２１ｂの開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０から最も遠い辺Ｈ３１の長さより短くなっている。
また、溝部１２１ｂは、図１（ｂ）と図２（ｂ）と図２（ｃ）に示すように、振動腕部１２０の先端側に設けられている。
【００５４】
また、それぞれの振動腕部１２０のそれぞれの主面に設けられる溝部１２１は、同一振動腕部１２０内で一方の主面に設けられている溝部１２１ａの底面と他方の主面に設けられている溝部１２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置に設けられている。
【００５５】
このような水晶片は、基部１１０の側面から二つ一対の振動腕部１２０が同一方向に延設されて音叉形状となっている。
また、水晶片は、それぞれの主面に設けられている溝部１２１が同一振動腕部１２０内で一方の主面に設けられている溝部１２１ａの底面と他方の主面に設けられている溝部１２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置に設けられている。
【００５６】
また、水晶片は、それぞれの振動腕部１２０の一方の主面又は他方の主面を見た場合、溝部１２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ１２の長さが、溝部１２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部１２０から最も遠い辺Ｈ１３の長さとなっている。
【００５７】
つまり、水晶片は、振動腕部１２０の一方の主面又は振動腕部１２０の他方の主面を見た場合、溝部１２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ１１と、溝部１２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部１２０から最も遠い辺Ｈ１３とが、Ｘ軸に平行な振動腕部１２０の辺Ｗ１の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線を基準として線対称となっていない。
ここで、Ｘ軸に平行な振動腕部１２０の辺Ｗ１の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線を第一の仮想線Ｋ１１とする。
このため、このような水晶片は、後述する励振用電極１２０と接続用電極１５０と周波数調整用電極１４０と配線部Ｈを設け振動させた場合、
それぞれの振動腕部１２０の隣接する振動腕部１２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面での振動変位と隣接する振動腕部１２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面に対向する同一腕部１２０のＹ軸及びＺ軸に平行な面側での振動変位とが互いに相殺するようにＺ軸に平行な向きに振動させることができる構成となっている。
【００５８】
また、このような水晶片は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、励振用電極１３０と周波数調整用電極１４０と接続用電極１５０と配線部Ｈとが表面に設けられている。
このとき、励振用電極１３０と周波数調整用電極１４０と接続用電極１５０と配線部Ｈは、例えば、クロム層の上に金層が設けられた金属の積層構造となっており、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術により設けられている。
【００５９】
励振用電極１３０は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、振動腕部１２０の表面に四つ一対で設けられている。
また、励振用電極１３０は、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、所定の二つの励振用電極１３１，１３２が振動腕部１２０の両主面、つまり、Ｘ軸及びＹ軸に平行な面に設けられ、所定の他の二つの励振用電極１３３，１３４が振動腕部１２０のＹ軸及びＺ軸に平行な面に設けられている。
【００６０】
ここで、隣接する振動腕部１２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な振動腕部１２０の面を
振動腕部１２０の内側側面とし、この内側側面に対向する同一振動腕部１２０の面を外側側面とする。
【００６１】
また、励振用電極１３０は、一方の振動腕部１２０に着目すると、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、振動腕部１２０の一方の主面に励振用電極１３１が設けられ、振動腕部１２０の他方の主面に励振用電極１３２が設けられ、振動腕部１２０の内側側面に励振用電極１３３が設けられ、振動腕部１２０の外側側面に励振用電極１３４が設けられている。
このとき、所定の二つの励振用電極１３１，１３２は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、その一部が溝部１２１の底面の全面に設けられている。
【００６２】
また、励振用電極１３０は、他方の振動腕部１２０に着目すると、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、振動腕部１２０の一方の主面に励振用電極１３１が設けられ、振動腕部１２０の他方の主面に励振用電極１３２が設けられ、振動腕部１２０の内側側面に励振用電極１３３が設けられ、振動腕部１２０の外側側面に励振用電極１３４が設けられている。
このとき、所定の二つの励振用電極１３１，１３２は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、その一部が溝部１２１の底面の全面に設けられている。
【００６３】
周波数調整用電極１４０は、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、一方の振動腕部１２０の振動腕部１２０の先端側の両主面に設けられている。
ここで、振動腕部１２０の先端側とは、振動腕部１２０の一方の主面又は振動腕部１２０の他方の主面を見た場合、基部１２０と振動腕部１２０とが接している辺に対向する振動腕部１２０の辺に沿った縁部をいう。
【００６４】
また、周波数調整用電極１４０は、構成する金属の量を増減させることで本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００の共振周波数を調整することができる構成となっている。
【００６５】
接続用電極１５０は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、二つ一対で基部１１０の表面に設けられている。
一方の接続用電極１５０は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、基部１１０の一方の主面から他方の主面にわたって設けられつつ、基部１１０の一方の主面を見た場合に振動腕部１２０に接している辺に対向する辺の一方の角端部に位置するように設けられている。
他方の接続用電極１５０は、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、基部１１０の一方の主面から他方の主面にわたって設けられつつ、基部１１０の一方の主面を見た場合に振動腕部１２０の接している辺に対向する辺の他方の角端部に位置するように設けられている。
【００６６】
配線部Ｈは、励振用電極１３０間、又は、励振用電極１３０と接続用電極１５０との間、又は、励振用電極１３０と周波数調整用電極１４０との間を電気的に接続するように、水晶片の表面に設けられている。
【００６７】
配線部Ｈは、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、一方の接続用電極１５０を一方の振動腕部１２０の一方の主面に設けられている励振用電極１３１及び一方の振動腕部１２０の他方の主面に設けられている励振用電極１３２に電気的に接続させつつ、一方の接続用電極１５０を他方の振動腕部１２０の内側側面に設けられている励振用電極１３３に電気的に接続させる位置に設けられている。
このとき、図１（ｂ）に示すように、他方の振動腕部１２０の内側側面に設けられている励振用電極１３３と他方の振動腕部１２０の外側側面に設けられている励振用電極１３４とが他方の振動腕部１２０に設けられている周波数調整用電極１４０を介して電気的に接続されている。
【００６８】
また、配線部Ｈは、例えば、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、他方の接続用電極１５０を他方の振動腕部１２０の一方の主面に設けけられている励振用電極１３１及び他方の振動腕部１２０の他方の主面に設けられている励振用電極１３２に電気的に接続させつつ、他方の接続用電極１５０を一方の振動腕部１２０の内側側面に設けられている励振用電極１３３に電気的に接続させる位置に設けられている。
このとき、図１（ｂ）に示すように、一方の振動腕部１２０の内側側面に設けられている励振用電極１３３と他方の振動腕部１２０の外側側面に設けられている励振用電極１３４とが一方の振動腕部１２０に設けられている周波数調整用電極１４０を介して電気的に接続されている。
【００６９】
従って、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、基部１１０と二つ一対の振動腕部１２０とが一体となって設けられ音叉形状となっている水晶片の表面に、振動用電極１３０と周波数調整用電極１４０と接続用電極１５０と配線部Ｈとが設けられている。
また、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、Ｙ軸に平行な溝部１２１の開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ１２の長さと、Ｙ軸に平行な溝部１２１の開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０から最も遠い辺Ｈ１３の長さとが異なる溝部がそれぞれの振動腕部１２０のそれぞれの主面に設けられつつ、両主面に設けられた溝部１２１の底面が対向しないようにＹ軸に平行な方向に交互に溝部１２１が設けられている。
【００７０】
このような本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、二つ一対の接続用電極１５０に交番電圧を印加させることで、二つ一対の振動腕部１２０を屈曲振動させることができる構成となっている。
【００７１】
本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、二つ一対の振動腕部１２０が振動しているときの一方の振動腕部１２０の電気的状態を瞬間的にとらえると、
一方の振動腕部１２０の両主面に設けられている所定の二つの励振用電極１３１，１３２がプラス電位となり、一方の振動腕部１２０の内側側面及び外側側面に設けられている所定の他の二つの励振用電極１３３，１３４がマイナス電位となり、プラス電位の発生している所定の二つの励振用電極１３１，１３２からマイナス電位の発生している所定の他の二つの励振用電極１３３，１３４に向かう向きに電界が生じている。
また、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、二つ一対の振動腕部１２０が振動しているときの他方の振動腕部１２０の電気的状態を瞬間的にとらえると、他方の振動腕部１２０の両主面に設けられている所定の二つの励振用電極１３１，１３２がマイナス電位となり、他方の振動腕部１２０の内側側面及び外側側面に設けられている所定の他の二つの励振用電極１３３，１３４がプラス電位となり、
プラス電位が発生している所定の他の二つの励振用電極１３３，１３４からマイナス電位が発生している所定の二つの励振用電極１３１，１３２に向かう向きに電界が生じている。
【００７２】
従って、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、二つ一対の接続用電極１５０に交番電圧を印加しそれぞれの振動腕部１２０に電界を生じさせることで、それぞれの振動腕部１２０が振動する。
このとき、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、それぞれの振動腕部１２０の一方の主面又は振動腕部１２０の他方の主面を見た場合に、Ｙ軸に平行な溝部１２０の開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ１２の長さが、Ｙ軸に平行な溝部１２０の開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０から最も遠い辺Ｈ１３の長さと異なっているので、振動する際に、振動腕部１２０の内側側面側と振動腕部１２０の外側側面側とで互いに相殺しあうＺ軸に平行な振動が生じる。
このため、本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００は、二つ一対の接続用電極１５０に交番電圧を印加しそれぞれの振動腕部１２０に電界を生じさせることでそれぞれの振動腕部１２０を振動させた場合、２種類のＺ軸に平行な向きの振動が相殺しあうため、見かけ上、Ｘ軸およびＺ軸に平行な平面上で振動する屈曲振動のみを振動する。
【００７３】
このような本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００によれば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有した平板状の基部１１０の側面から二つ一対の振動腕部１２０が延設され、それぞれの振動腕部１２０のそれぞれの主面に一方の主面に設けられている溝部１２１ａの底面と他方の主面に設けられている溝部１２１ｂの底面とが対向しないように溝部１２１が設けられ、Ｙ軸に平行な溝部１２１の開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０に最も近い辺Ｈ１２の長さが、
Ｙ軸に平行な溝部１２１の開口部の辺のうち隣接する振動腕部１２０から最も離れた辺Ｈ１３の長さと異なっているので、二つ一対の接続用電極１５０に交番電圧が印加され振動する場合、隣接する振動腕部１２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な振動腕部１２０の面側でのＺ軸に平行な振動と隣接する振動腕部１２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な振動腕部１２０の面に対向する同一振動腕部１２０内の面側でのＺ軸に平行な振動とを互いに相殺させることができる。
従って、このような本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００によれば、Ｚ軸に平行な振動を互いに相殺させることができるので、従来の音叉型屈曲水晶振動素子５００と比較して、Ｘ軸およびＹ軸に平行な平面上で振動する屈曲振動に混在するスプリアスを抑えることができ、従来の音叉型屈曲水晶振動素子５００と比較してクリスタルインピーダンスの値が大きくなることを抑えることができる。
このため、このような本発明の第一の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子１００によれば、クリスタルインピーダンスの値が大きくなることによる不良を従来の音叉型屈曲水晶振動素子５００と比較して抑えることができ、生産性を向上させることができる。
【００７４】
（第二の実施形態）
本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、それぞれの振動腕部２２０のそれぞれの主面に二つの溝部２２１（２２１ａ，２２１ｂ）が設けられている水晶片を用いている点で第一の実施形態と異なる。
【００７５】
このような水晶片は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、基部２１０と二つ一対の振動腕部２２０とからなる、それぞれの振動腕部２２０のそれぞれの主面に二つ一対の溝部２２１が設けられている。
また、このような水晶片は、例えば、フォトリソグラフィ技術とエッチング技術により設けられている。
【００７６】
基部２１０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、平面視略四角形状の平板である。
また、基部２１０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有しており、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸に平行となっている。
【００７７】
振動腕部２２０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、二つ一対で設けられており、基部２１０の側面から同一方向に延設され基部２１０と一体で形成されている。このとき、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、振動腕部２２０の基部２１０側から先端側に向かう方向がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部２１０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、両主面が四角形状に形成され、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸方向となっている。このとき、振動腕部２２０の両主面は、基部２１０の両主面と同一平面上に位置している。
また、振動腕部２２０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、振動腕部２２０の一方の主面又は振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、基部２１０に接する辺及びこの辺に対向する辺がＸ軸に平行となっており、隣接する振動腕部２２０側を向く辺及びこの辺に対向する辺がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部２２０は、例えば、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、両主面に二つ一対の溝部２２１が設けられている。
【００７８】
溝部２２１は、例えば、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、それぞれの振動腕部２２０のそれぞれの主面に二つ一対で設けられている。
また、二つ一対の溝部２２１は、例えば、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、振動腕部２２０の一方の主面又は振動腕部２２０の他方の主面を見た場合に、Ｘ軸に平行な振動腕部２２０の辺の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線、つまり、第一の仮想線Ｋ２１を基準として二つ一対の溝部２２１の開口部が線対称となっていない。
また、溝部２２１は、底面及び開口部がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、開口部から底面に向かう向き、つまり、深さ方向がＺ軸に平行となっている。
【００７９】
また、溝部２２１は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、開口部が台形形状となっており、所定の二辺がＹ軸に平行となっている。
また、溝部２２１は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、振動腕部２２０の一方の主面又は振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、隣接する振動腕部２２０に最も近い溝部２２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０に最も近い辺Ｈ２２の長さが、隣接する振動腕部２２０から最も遠い溝部２２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０から最も離れた辺Ｈ２３の長さと異なっている。
【００８０】
また、一方の主面に設けられている溝部２２１ａは、例えば、振動腕部２２０の一方の主面を見た場合、図３（ａ）に示すように、溝部２２１ａの開口部が台形形状となっており、溝部２２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０に近い辺の長さが、溝部２２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０から遠い辺の長さと比較して長くなっている。
また、一方の主面に設けられている溝部２２１ａは、例えば、振動腕部２２０の一方の主面を見た場合、図３（ａ）に示すように、隣接する振動腕部２２０に最も近い溝部２２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０から遠い辺の長さが、隣接する振動腕部２２０から最も遠い溝部２２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０に近い辺の長さと比較して長くなっている。
従って、一方の主面に設けられている溝部２２１ａは、例えば、振動腕部２２０の一方の主面を見た場合、図３（ａ）に示すように、隣接する振動腕部２２０に近くなるに従って、溝部２２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺の長さが長くなっている。
また、一方の主面に設けられている溝部２２１ａは、例えば、振動腕部２２０の一方の主面を見た場合、図３（ａ）に示すように、振動腕部２２０の基部２１０側に設けられている。
【００８１】
また、一方の主面に設けられている溝部２２１ｂは、例えば、振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、図３（ｂ）に示すように、溝部２２１ｂの開口部が台形形状となっており、溝部２２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０に近い辺の長さが、溝部２２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０から遠い辺の長さと比較すると短くなっている。
また、他方の主面に設けられている溝部２２１ｂは、例えば、振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、図３（ｂ）に示すように、隣接する振動腕部２２０に最も近い溝部２２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０から遠い辺の長さが、隣接する振動腕部２２０から最も遠い溝部２２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０に近い辺の長さと比較すると短くなっている。
従って、他方の主面に設けられている溝部２２１ｂは、例えば、振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、図３（ｂ）に示すように、隣接する振動腕部２２０に近くなるに従って溝部２２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺の長さが短くなっている。
また、他方の主面に設けられている溝部２２１ｂは、例えば、振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、図３（ｂ）に示すように、振動腕部２２０の先端側に設けられている。
【００８２】
つまり、それぞれの振動腕部２２０のそれぞれの主面に設けられている二つ一対の溝部２２１は、隣接する振動腕部２２０に最も近い溝部２２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ２２の長さと、隣接する振動腕部２２０から最も遠い溝部２２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ２３の長さとが異なっている。
また、それぞれの振動腕部２２０のそれぞれの主面に設けられている二つ一対の溝部２２１は、同一振動腕部２２０内で一方の主面に設けられている溝部２２１ａの底面と他方の主面に設けられている溝部２２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置設けられている。
【００８３】
従って、基部２１０と溝部２２１が設けられている二つ一対の振動腕部２２０とからなる水晶片は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、基部２１０の側面から二つ一対の振動腕部２２０が同一方向に延設され音叉形状となっている。
また、水晶片は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、同一振動腕部２２０内で一方の主面に設けられている二つ一対の溝部２２１ａの底面と他方の主面に設けられている二つ一対の溝部２２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置にそれぞれの振動腕部２２０のそれぞれの主面に二つ一対の溝部２２１が設けられている。
また、水晶片は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、振動腕部２２０の一方の主面又は振動腕部２２０の他方の主面を見た場合、隣接する振動腕部２２０に最も近い溝部２２１の開口部の辺Ｈ２２の長さが、隣接する振動腕部２２０から最も遠い溝部２２１の開口部の辺Ｈ２３の長さと異なるように二つ一対の溝部２２１が設けられている。
【００８４】
このため、このような水晶片は、励振用電極と接続用電極と周波数調整用電極と配線部を設け振動させた場合、それぞれの振動腕部２２０の隣接する振動腕部２２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面での振動変位と、隣接する振動腕部２２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面に対向する同一腕部２２０のＹ軸及びＺ軸に平行な面側での振動変位とが互いに相殺するようにＺ軸に平行な向きに振動させることができる。
【００８５】
このような水晶片を用いた第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、振動腕部２２０の内側側面側で生じるＺ軸に平行な向きの振動と振動腕部２２０の外側側面側で生じるＺ軸に平行な向きの振動とを互いに相殺させることができ、見かけ上Ｚ軸に平行な向きの振動を従来の音叉型屈曲水晶振動素子と比較して抑えることができるので、第一の実施形態と同様の効果を奏する。
【００８６】
（第三の実施形態）
本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、溝部の開口部３２１が四角形状となっている水晶片を用いている点で第二の実施形態と異なる。
【００８７】
本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子に用いる水晶片は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、基部３１０と二つ一対の振動腕部３２０とからなり、それぞれの振動腕部３２０のそれぞれの主面に二つ一対の溝部３２１が設けられている。
また、このような水晶片は、例えば、フォトリソグラフィ技術とエッチング技術により設けられている。
【００８８】
基部３１０は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、平面視略四角形状の平板である。
また、基部３１０は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有しており、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸に平行となっている。
【００８９】
振動腕部３２０は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、二つ一対で設けられており、基部３１０の側面から同一方向に延設され基部３１０と一体で形成されている。
このとき、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、振動腕部３２０の基部３１０側から先端側に向かう方向がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部３１０は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、両主面が四角形状に形成され、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸方向となっている。このとき、振動腕部３２０の両主面は、基部３１０の両主面と同一平面上に位置している。
また、振動腕部３２０は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、振動腕部３２０の一方の主面又は振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、基部３１０に接する辺及びこの辺に対向する辺がＸ軸に平行となっており、隣接する振動腕部３２０側を向く辺及びこの辺に対向する辺がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部３２０は、例えば、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、両主面に二つ一対の溝部３２１が設けられている。
【００９０】
溝部３２１は、例えば、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、それぞれの振動腕部３２０のそれぞれの主面に二つ一対で設けられている。
また、二つ一対の溝部３２１は、例えば、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、それぞれの開口部の大きさが異なっており、振動腕部３２０の一方の主面又は振動腕部３２０の他方の主面を見た場合に、Ｘ軸に平行な振動腕部３２０の辺の中点を通過しつつＹ軸に平行な仮想線、つまり、第一の仮想線Ｋ３１を基準として二つ一対の溝部３２１の開口部が線対称となっていない。
また、溝部３２１は、底面及び開口部がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、開口部から底面に向かう向き、つまり、深さ方向がＺ軸に平行となっている。
【００９１】
また、溝部３２１は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、開口部が四角形状となっており、所定の二辺がＹ軸に平行となっている。
また、溝部３２１は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、振動腕部３２０の一方の主面又は振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部２２０に最も近い辺Ｈ３２の長さが、隣接する振動腕部３２０から最も遠い溝部３２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部３２０から最も離れた辺Ｈ３３の長さと異なっている。
【００９２】
また、一方の主面に設けられている二つ一対の溝部３２１ａは、例えば、振動腕部３２０の一方の主面を見た場合、図４（ａ）に示すように、二つ一対の溝部３２１ａの開口部が矩形形状となっている。
また、一方の主面に設けられている溝部３２１ａは、例えば、振動腕部３２０の一方の主面を見た場合、図４（ａ）に示すように、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２１ａの開口部の大きさが隣接する振動腕部３２０から最も離れている溝部３２１ａの開口部の大きさと比較すると大きくなっている。
また、一方の主面に設けられている溝部３２１ａは、例えば、振動腕部３２０の一方の主面を見た場合、図４（ａ）に示すように、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺の長さが、隣接する振動腕部３２０から最も遠い溝部３２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺の長さと比較して長くなっている。
従って、一方の主面に設けられている溝部３２１ａは、例えば、振動腕部２２０の一方の主面を見た場合、図４（ａ）に示すように、隣接する振動腕部２２０に最も近い溝部３２１ａの辺Ｈ３２の長さが、隣接する振動腕部３２０から最も遠い溝部３２１ａの辺Ｈ３３の長さと比較して長くなっている。
また、一方の主面に設けられている溝部３２１ａは、例えば、振動腕部３２０の一方の主面を見た場合、図４（ａ）に示すように、振動腕部３２０の基部３１０側に設けられている。
【００９３】
また、他方の主面に設けられている二つ一対の溝部３２１ｂは、例えば、振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、図４（ｂ）に示すように、二つ一対の溝部３２１ｂの開口部が矩形形状となっている。
また、他方の主面に設けられている溝部３２１ｂは、例えば、振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、図４（ｂ）に示すように、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２０ｂの開口部の大きさが隣接する振動腕部３２０から最も離れた３２０ｂの開口部の大きさと比較すると小さくなっている。
また、他方の主面に設けられている溝部３２１ｂは、例えば、振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、図４（ｂ）に示すように、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺の長さが、隣接する振動腕部３２０から最も遠い溝部３２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺の長さと比べて短くなっている。
従って、他方の主面に設けられている溝部３２１ｂは、例えば、振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、図４（ｂ）に示すように、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２１ｂの辺Ｈ３２の長さが、隣接する振動腕部３２０から最も遠い溝部３２１ｂの辺Ｈ３３の長さと比較して短くなっている。
また、他方の主面に設けられている溝部３２１ｂは、例えば、振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、図４（ｂ）に示すように、振動腕部３２０の先端側に設けられている。
【００９４】
つまり、それぞれの振動腕部３２０のそれぞれの主面に設けられている二つ一対の溝部３２１は、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ３２の長さが、隣接する振動腕部３２０から最も遠い溝部３２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ３３の長さと異なっている。
また、それぞれの振動腕部３２０のそれぞれの主面に設けられている二つ一対の溝部３２１は、同一振動腕部３２０内で一方の主面に設けられている溝部３２１ａの底面と、他方の主面に設けられている溝部３２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置に設けられている。
【００９５】
従って、基部３１０と溝部３２１が設けられている二つ一対の振動腕部３２０とからなる水晶片は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、基部３１０の側面から二つ一対の振動腕部３２０の同一方向に延設され音叉形状となっている。
また、水晶片は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、同一振動腕部３２０内で一方の主面に設けられている二つ一対の溝部３２１ａの底面と他方の主面に設けられている二つ一対の溝部３２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置にそれぞれの振動腕部３２０のそれぞれの主面に二つ一対の溝部３２１が設けられている。
また、水晶片は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、振動腕部３２０の一方の主面又は振動腕部３２０の他方の主面を見た場合、隣接する振動腕部３２０に最も近い溝部３２１の開口部のＹ軸に平行な辺の長さと隣接する振動腕部３２０から最も遠い溝部３２１の開口部のＹ軸に平行な辺の長さとが異なるように、開口部の大きさの異なる二つ一対の溝部３２１が設けられている。
【００９６】
このため、このような水晶片は、励振用電極と接続用電極と周波数調整用電極と配線部を設け振動させた場合、それぞれの振動腕部３２０の隣接する振動腕部３２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面での振動変位と隣接する振動腕部３２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面に対向する同一腕部３２０のＹ軸及びＺ軸に平行な面側での振動変位とが互いに相殺するようにＺ軸に平行な向きに振動させることができる。
【００９７】
このような水晶片を用いた第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、振動腕部３２０の内側側面側で生じるＺ軸に平行な向きの振動と振動腕部３２０の外側側面側で生じるＺ軸に平行な向きの振動とを互いに相殺させることができ、見かけ上Ｚ軸に平行な向きの振動を従来の音叉型屈曲水晶振動素子と比較して抑えることができるので、第二の実施形態と同様の効果を奏する。
【００９８】
（第四の実施形態）
本発明の第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、溝部の開口部３２１の大きさが同じとなっている水晶片を用いている点で第二の実施形態と異なる。
【００９９】
本発明の第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子に用いる水晶片は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、基部４１０と二つ一対の振動腕部４２０とからなり、それぞれの振動腕部４２０のそれぞれの主面に二つ一対の溝部４２１が設けられている。
また、このような水晶片は、例えば、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術により設けられている。
【０１００】
基部４１０は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、平面視略四角形状の平板である。
また、基部４１０は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有しており、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸に平行となっている。
【０１０１】
振動腕部４２０は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、二つ一対で設けられており、基部４１０の側面から同一方向に延設され基部４１０と一体で形成されている。
このとき、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、振動腕部４２０の基部４１０側から先端側に向かう方向がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部４１０は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、両主面が四角形状となっており、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、厚み方向がＺ軸方向となっている。このとき、振動腕部４２０の両主面は、基部４１０の両主面と同一平面上に位置している。
また、振動腕部４２０は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、両主面が四角形状となっており、両主面がＸ軸及びＹ軸に平行となっとり、厚み方向がＺ軸方向となっている。このとき、振動腕部４２０の両主面は、基部４１０の両主面と同一平面上に位置している。
また、振動腕部４２０は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、振動腕部４２０の一方の主面又は振動腕部４２０の他方の主面を見た場合、基部４１０に接する辺及びこの辺に対向する辺がＸ軸に平行となっており、隣接する振動腕部４２０側を向く辺及びこの辺に対向する辺がＹ軸に平行となっている。
また、振動腕部４２０は、例えば、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、両主面に二つ一対の溝部４２１が設けられている。
【０１０２】
溝部４２１は、例えば、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、それぞれの振動腕部４２０のそれぞれの主面に二つ一対で設けられている。
また、二つ一対の溝部３２１は、例えば、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、第一の仮想線Ｋ４１を基準として二つ一対の溝部４２１の開口部が線対称となっていない。
また、溝部４２１は、底面及び開口部がＸ軸及びＹ軸に平行となっており、開口部から底面に向かう向き、つまり、深さ方向がＺ軸に平行となっている。
【０１０３】
また、溝部４２１は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、開口部が台形形状となっており、所定の二辺がＹ軸に平行となっている。
また、溝部４２１は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、振動腕部４２０の一方の主面又は振動腕部４２０の他方の主面を見た場合、溝部４２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０に最も近い辺の長さが、溝部４２１の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０から最も遠い辺の長さと異なっている。
【０１０４】
一方の主面に設けられている二つ一対の溝部４２１ａは、例えば、振動腕部４２０の一方の主面を見た場合、図５（ａ）に示すように、二つ一対の溝部４２１ａの開口部が台形形状となっている。
また、一方の主面に設けられている二つ一対の溝部４２１ａは、例えば、開口部の大きさが同じ大きさとなっており、溝部４２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０に近い辺の長さが、溝部４２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０から遠い辺の長さと比較して長くなっている。
従って、一方の主面に設けられている溝部４２１ａは、例えば、振動腕部４２０の一方の主面を見た場合、図５（ａ）に示すように、隣接する振動腕部４２０に最も近い溝部４２１ａの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０に最も近い辺Ｈ４２の長さが、隣接する振動腕部４２０から最も遠い溝部４２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０から最も遠い辺Ｈ４３の長さと比較して長くなっている。
また、一方の主面に設けられている溝部４２１ａは、例えば、振動腕部４２０の一方の主面を見た場合、図５（ａ）に示すように、振動腕部４２０の基部４１０側に設けられている。
【０１０５】
他方の主面に設けられている二つ一対の溝部４２１ｂは、例えば、振動腕部４２０の他方の主面を見た場合、図５（ｂ）に示すように、二つ一対の溝部４２１ｂの開口部が台形形状となっている。
また、他方の主面に設けられている二つ一対の溝部４２１ｂは、例えば、開口部の大きさが同じ大きさとなっており、溝部４２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０に近い辺の長さが、溝部４２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０から遠い辺の長さと比較して短くなっている。
従って、他方の主面に設けられている溝部４２１ｂは、例えば、振動腕部４２０の他方の主面を見た場合、図５（ｂ）に示すように、隣接する振動腕部５２０に最も近い溝部５２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０に最も近い辺Ｈ４２の長さが、隣接する振動腕部４２０から最も遠い溝部４２１ｂの開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する振動腕部４２０から最も遠い辺Ｈ４３の長さと比較して短くなっている。
また、他方の主面に設けられている溝部４２１ｂは、例えば、振動腕部４２０の他方の主面を見た場合、図５（ｂ）に示すように、振動腕部４２０の先端側に設けられている。
【０１０６】
つまり、それぞれの振動腕部４２０のそれぞれの主面に設けられている二つ一対の溝部４２１は、隣接する振動腕部４２０に最も近い溝部４２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ４２の長さと隣接する振動腕部４２０から最も遠い溝部４２１の開口部のＹ軸に平行な辺Ｈ４３の長さとが異なっている。
また、それぞれの振動腕部４２０のそれぞれの主面に設けられている二つ一対の溝部４２１は、同一振動腕部４２０内で一方の主面に設けられている溝部４２１ａの底面と他方の主面に設けられている溝部４２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置に設けられている。
【０１０７】
従って、基部４１０と溝部４２１が設けられている二つ一対の振動腕部４２０とからなる水晶片は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、基部４１０の側面から二つ一対の振動腕部４２０の同一方向に延設され音叉形状となっている。
また、水晶片は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、同一振動腕部４２０内で一方の主面に設けられている二つ一対の溝部４２１ａの底面と他方の主面に設けられている二つ一対の溝部４２１ｂの底面とが対向しないようにＹ軸に平行な方向で交互にずらした位置にそれぞれの振動腕部４２０のそれぞれの主面に二つ一対の溝部４２１が設けられている。
また、水晶片は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、振動腕部４２０の一方の主面又は振動腕部４２０の他方の主面を見た場合、隣接する振動腕部４２０に最も近い溝部４２１の開口部のＹ軸に平行な辺の長さと隣接する振動腕部４２０から最も遠い溝部４２１の開口部のＹ軸に平行な辺の長さとが異なるように、開口部の大きさの異なる二つ一対の溝部４２１が設けられている。
【０１０８】
このため、このような水晶片は、励振用電極と接続用電極と周波数調整用電極と配線部を設け振動させた場合、それぞれの振動腕部４２０の隣接する振動腕部４２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面での振動変位と隣接する振動腕部４２０側を向くＹ軸及びＺ軸に平行な面に対向する同一腕部４２０のＹ軸及びＺ軸に平行な面側での振動変位とが互いに相殺するようにＺ軸に平行な向きに振動させることができる。
【０１０９】
このような水晶片を用いた第四の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、振動腕部４２０の内側側面側で生じるＺ軸に平行な向きの振動と振動腕部４２０の外側側面側で生じるＺ軸に平行な向きの振動とを互いに相殺させることができ、見かけ上Ｚ軸に平行な向きの振動を従来の音叉型屈曲水晶振動素子と比較して抑えることができるので、第二の実施形態と同様の効果を奏する。
【符号の説明】
【０１１０】
１００，５０ 音叉型屈曲水晶振動素子
１１０，２１０，３１０，４１０，５１０，６１０ 基部
１２０，２２０，３２０，４２０，５２０，６２０ 振動腕部
１２１，２２１，３２１，４２１，５２１，６２１ 溝部
１３０，５３０ 励振用電極
１４０，５４０ 周波数調整用電極
１５０，５５０ 接続用電極
Ｈ 配線部
Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４，Ｗ５，Ｗ６ Ｘ軸に平行な向きの振動腕部の辺
Ｈ１２，Ｈ２２，Ｈ３２，Ｈ４２，Ｈ５２，Ｈ６２ 隣接する振動腕部に最も近い辺
Ｈ１３，Ｈ２３，Ｈ３３，Ｈ４３，Ｈ５３，Ｈ６３ 隣接する振動腕部から最も遠い辺
Ｋ１１，Ｋ２１，Ｋ３１，Ｋ４１，Ｋ５１，Ｋ６１ 第一の仮想線
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有し、両主面が前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸に平行となっている平板状の基部と、
両主面が前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸に平行となっている矩形形状となっており、前記基部の側面から前記Ｙ軸に平行な向きであって同一方向に延設されて前記基部と一体化されている二つ一対の振動腕部と、
開口部が四角形状となっており、開口部の所定の二辺が前記Ｙ軸に平行となるようにそれぞれの前記振動腕部の両主面にそれぞれ形成されている溝部と、
前記振動腕部の表面に所望のパターンで形成されている複数の励振用電極と、
前記基部の表面に所望のパターンで形成されている接続用電極と、
前記励振用電極間又は前記励振用電極と前記接続用電極との間を電気的に接続している配線部と、
を備え、
前記振動腕部の一方の主面に形成されている溝部の底面と前記振動腕部の他方の主面に形成されている溝部の底面とが対向しないように、前記溝部が前記Ｙ軸に平行な方向に交互にずらした位置にそれぞれ形成されつつ、
前記溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部に最も近い辺の長さが前記溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部から最も遠い溝部の開口部の辺の長さと異なっている
ことを特徴とする音叉型屈曲水晶振動素子。
【請求項１】
互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸とからなる結晶軸を有し、両主面が前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸に平行となっている平板状の基部と、
両主面が前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸に平行となっている矩形形状となっており、前記基部の側面から前記Ｙ軸に平行な向きであって同一方向に延設されて前記基部と一体化されている二つ一対の振動腕部と、
開口部が四角形状となっており、開口部の所定の二辺が前記Ｙ軸に平行となるようにそれぞれの前記振動腕部の両主面にそれぞれ形成されている溝部と、
前記振動腕部の表面に所望のパターンで形成されている複数の励振用電極と、
前記基部の表面に所望のパターンで形成されている接続用電極と、
前記励振用電極間又は前記励振用電極と前記接続用電極との間を電気的に接続している配線部と、
を備え、
前記振動腕部の一方の主面に形成されている溝部の底面と前記振動腕部の他方の主面に形成されている溝部の底面とが対向しないように、前記溝部が前記Ｙ軸に平行な方向に交互にずらした位置にそれぞれ形成されつつ、
前記溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部に最も近い辺の長さが前記溝部の開口部のＹ軸に平行な辺のうち隣接する前記振動腕部から最も遠い溝部の開口部の辺の長さと異なっている
ことを特徴とする音叉型屈曲水晶振動素子。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１２−２４９２４６（Ｐ２０１２−２４９２４６Ａ）
【公開日】平成２４年１２月１３日（２０１２．１２．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１２１７５４（Ｐ２０１１−１２１７５４）
【出願日】平成２３年５月３１日（２０１１．５．３１）
【出願人】（０００１０４７２２）京セラクリスタルデバイス株式会社 (870)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１２月１３日（２０１２．１２．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年５月３１日（２０１１．５．３１）
【出願人】（０００１０４７２２）京セラクリスタルデバイス株式会社 (870)
【Ｆターム（参考）】
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