【課題】電極への給電経路を確保しつつ、不要振動を抑制することができる圧電薄膜デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】下面電極１４１と上面電極１６１とは、対向領域１９１において圧電体薄膜１５を挟んで対向し、直列腕共振子１０１を形成している。下面電極１４２と上面電極１６２とは、対向領域１９３において圧電体薄膜１５を挟んで対向し、並列腕共振子１０２を形成している。下面電極１４１と上面電極１６２とは、自由振動領域１９２，１９４の外側の領域１９５において圧電体薄膜１５を挟んで対向し、１２個のバイアホール１５５によって電気的に接続されている。下面電極１４２と上面電極１６３とは、自由振動領域１９２，１９４の外側の領域１９７において圧電体薄膜１５を挟んで対向し、１２個のバイアホール１５６によって電気的に接続されている。バイアホール１５５，１５６には、樹脂１７が充填されている。 （もっと読む）

【課題】スプリアスの発生を抑制した表面実装デバイスの提供。
【解決手段】励振電極５を上下面に有する水晶片２を少なくとも容器本体１内に収容して、前記上面の励振電極５ａを切削して振動周波数を調整した後、カバー３を被せて密閉封入してなる表面実装用の水晶デバイスにおいて、前記容器本体１は内壁に段部を有する凹状とし、前記段部に前記水晶片の外周部を固着してなり、前記水晶片２の下方にレーザを反射して前記励振電極５に照射する光反射体８を設けた構成とする。 （もっと読む）

【課題】消費電力が小さく周波数温度変化量が小さい小型の水晶振動子を提供する。
【解決手段】水晶振動子１０は、基部２１と、基部２１から平行に延在される少なくとも
一対の振動腕３０，４０とを有し、振動腕３０，４０それぞれが、先端部に設けられる付
加質量部３６，４６と付加質量部３６，４６よりも厚さが薄いアーム部３５，４５と、電
極５１〜６０とを有している。また、水晶振動子１０は、水晶振動片２０と直列接続され
るとともにアーム部３５，４５それぞれの表面３１，４１に設けられる圧電体薄膜７１，
７２と、圧電体薄膜７１，７２の表面に形成される電極５５，６０とを含む圧電体薄膜素
子１００，１０１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】横音響モードの発生を抑制した高いＱ値を有する薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】圧電層２とそれを挟んで互いに対向するように形成された上部電極１０及び下部電極８とを有する圧電共振スタック１２と、その下に形成された空隙４と、圧電共振スタック１２を支持する基板６とを含んでなる薄膜圧電共振器。圧電共振スタック１２は、上部電極１０と下部電極８とが圧電層２を介して互いに対向し且つ空隙４に対応して位置する振動領域１８と、基板に接する支持領域２２と、振動領域１８及び支持領域２２の間に位置する緩衝領域２０とからなる。緩衝領域２０は、振動領域１８よりも、１次厚み縦振動の共振周波数が低くなるように構成されている。圧電層２は高域遮断型の分散曲線を示す材料からなる。緩衝領域２０は振動領域１８を内包している。 （もっと読む）

【課題】スプリアス振動を抑制しつつ十分な強度を有し、かつ、稠密な配置をすることができる薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】キャビティが設けられた基板と、前記キャビティを覆うように前記基板上に設けられた下部電極と、前記下部電極の上に設けられた圧電膜と、前記圧電膜の上に設けられた上部電極と、を備え、前記キャビティ上で前記下部電極と前記上部電極とが対向した共振器部は、多角形の各辺を外側に凸の曲線にした形状であり、前記曲線の接線が前記多角形の頂点において不連続であることを特徴とする薄膜圧電共振器が提供される。 （もっと読む）

【課題】振動漏れの防止、および振動子の小型化を図ることを可能とする輪郭振動子を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための輪郭振動子は、輪郭滑りモードの振動が励起される振動部１２と、前記振動部１２との間に間隙を設けて配置された支持部１４と、前記振動部１２における振動の節を基端として設けられた接続アーム１６と、前記接続アーム１６と前記支持部１４との間に、前記接続アーム１６と平行に設けられた補助アーム１８と、前記接続アーム１６の先端部１６ａと前記補助アーム１８の一方の端部１８ａ、前記補助アーム１８の他方の端部１８ｂと前記支持部１４とをそれぞれ連結する連結部２０とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来よりも小型でスプリアスが少ないバルク音響波共振子、およびそれを用いたフィルタ，通信装置を提供する。
【解決手段】 第１主面と、第２主面と、を有する基板と、圧電体膜と、前記圧電体膜の厚み方向の一表面上に積層される第１電極と、前記圧電体膜の厚み方向の他表面上に少なくとも一部が積層される第２電極と、で形成される共振部と、前記共振部の前記第１電極と前記基板の前記第１主面との間に設けられ、前記共振部を前記基板から音響的に絶縁する音響アイソレート層と、前記基板の前記第２主面に、前記共振部と対向するように設けられた音響波吸収部と、を含むバルク音響波共振子である。 （もっと読む）

【課題】基板の寸法を限定せずに、励振電極による振動が外部部材との接合部位へ伝播するのを抑制する。
【解決手段】水晶振動片２の基板２０は圧電材料からなり、基板２０に一対の励振電極２３，２４が対向して形成され、基板２０の一対の励振電極２３，２４を形成した励振領域以外の部位に、基板２０自体に対して粘性を加える高粘性領域２７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】スプリアスを抑制することが可能な圧電薄膜共振器およびフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、基板（４１）の空隙（４６）上または基板との間に空隙が形成されるように設けられた下部電極（４３）と、下部電極上に設けられた圧電膜（４４）と、圧電膜を挟み下部電極と対向する共振領域（５０）を有するように圧電膜上に設けられた上部電極（４５）と、共振領域の周辺に設けられ、横方向に伝搬する波動の波長の０．３５倍から０．６５倍の幅を有し波動の通過する支持領域（５２）と、支持領域の周辺に設けられ、横方向に伝搬する波動を遮断する周辺領域（５４）と、を具備する圧電薄膜共振器およびフィルタである。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子の副共振を抑制する。
【解決手段】圧電薄膜共振子１では、下面電極１４、圧電体薄膜１５及び上面電極１６を積層した振動積層体１８の固定領域９１２の下面にキャビティ形成膜１３が形成され、支持基板１１、接着層１２及びキャビティ形成膜１３を積層した支持体１７が自由振動領域９１１の外縁において振動積層体１８を支持している。圧電体薄膜１５の下面には、圧電体薄膜１５を薄肉化する掘り込み１５６が形成されている。掘り込み１５６は、自由振動領域９１１の外縁に自由振動領域９１１の外郭に沿って形成されている。掘り込み１５６は、圧電体薄膜１５を薄肉化することにより、支持体１７に支持されている固定領域９１２の共振周波数の極端な低下を緩和し、圧電薄膜共振子１の副共振を抑制する役割を果たしている。 （もっと読む）

【課題】フィルタ特性の優れた共振器フィルタを提供する。
【解決手段】互いに直列に接続された複数の共振器からなる直列接続部を備え、前記複数の共振器のそれぞれは、上部電極と、下部電極と、前記上部電極と前記下部電極との間に設けられた圧電膜と、を有し、前記複数の共振器の全てにおいて、前記上部電極は、それぞれの共振器から一方向のみに延出していることを特徴とする共振器フィルタが提供される。 （もっと読む）

【課題】音叉基部と、その音叉基部に接続された音叉腕を備えた音叉型屈曲水晶振動子の製造方法と、その音叉型屈曲水晶振動子を収納したケースとを少なくとも備えて構成される水晶ユニットの製造方法と、その水晶ユニットを少なくとも備えて構成される水晶発振器の製造方法と、その水晶発振器を備えて構成される携帯機器の製造方法を提供することにある。
【解決手段】音叉腕の上下面に溝を形成する前に、音叉腕を形成し、溝の側面と、その溝の側面に対抗して互に電気的極性が異なる電極を配置するので、電気機械変換効率が良くなり、等価直列抵抗Ｒ_１の小さい、Ｑ値の高い、しかも、容量比の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子と、その音叉型屈曲水晶振動子を備えた水晶ユニットと、その水晶ユニットを備えた水晶発振器と、その水晶発振器を備えた携帯機器が得られる。 （もっと読む）

【課題】振動子腕部の付け根部近傍における振動応力の集中を分散・緩和して、振動子腕部から振動子基部への振動漏れを効果的に減衰し得る信頼性の高い音叉型圧電振動子、当該音叉型振動子を用いた圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】
振動子基部（１３）と、振動子基部から音叉状に突設された振動子腕部（１１，１２）と、を含む音叉型圧電振動子において、振動子腕部の各々の付け根部に少なくとも一つの貫通孔（１４）を設ける。振動子腕部の付け根部には、該付け根部の幅が振動子基部の方向に向かい漸次増加するテーパーを付加するようにしても良い。また、振動子腕部の付け根部に設けられた貫通孔の形状を該テーパーに応じて変化させても良い。 （もっと読む）

【課題】破損が起こりにくく、反共振周波数におけるインピーダンス低下が抑制され、高いＱ値を有し、スプリアスモードの発生の抑制された薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】圧電層２と上部電極１２及び下部電極１０とを有する圧電共振スタック１４と、その下に形成された空隙４と、圧電共振スタックを支持する基板８とを含んでなる薄膜圧電共振器。圧電共振スタック１４は、上部電極１２と下部電極１０とが圧電層２を介して互いに対向し且つ空隙４に対応して位置する振動領域２０と、基板８に接する支持領域２４と、振動領域２０及び支持領域２４の間に位置する緩衝領域２２とからなる。緩衝領域２２における圧電層２の厚みｔと振動領域２０における圧電層２の厚みＴとがＴ／８≦ｔ≦Ｔ／２の関係を満たし、基板８に平行な方向に存在する定在波の波長λとこの定在波の方向に関する緩衝領域２０の寸法ｘとがλ／２００≦ｘ≦λ／２０の関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】スプリアスであるＺ同相モードの周波数が上昇して、主振動である屈曲振動の周波数に接近し、ＣＩ値が上昇することを防止することができる圧電振動片とこれを利用した圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された基部５１と、前記基部から延びる複数の振動腕３５，３６と、前記基部から両幅方向に延長された幅方向延長部を有し、該幅方向延長部を基端として、前記振動腕の両外側において、該振動腕と同じ方向に延びる一対の支持用アーム６１，６２とを有しており、各支持用アームは、導電性接着剤を介してパッケージに接合される構成とされており、かつ、前記各支持用アームの前記基部に近接した領域の表面に、錘用金属膜１１，１１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】脚部における振動が基部に伝わり基部からベースへ漏れるのを抑制する。
【解決手段】水晶振動子１では、ベース３と蓋４とから内部空間１２を有する本体筐体１１が形成され、内部空間１２内のベース３上に水晶振動片２が２つの導電性バンプ５２により接合されている。水晶振動片２には、基部２３と、この基部２３の一端面２３１から突出した脚部２２ａ，２２ｂとが設けられている。基部２３には、基部２３の側面２３２から脚部２２ａ，２２ｂの突出方向に対して垂直方向に延出する延出部７が設けられている。水晶振動片２における導電性バンプ５２によるベース３への接合領域Ａ１は、基部２３の幅方向中央領域Ａ２であって、脚部２２ａ，２２ｂを突出した基部２３の一端面２３１から離間した基部２３の他端面２３３の近傍領域である。 （もっと読む）

【課題】エネルギー損失が低減され、広帯域な特性を有するバンドパスフィルタを単体で構成し、かつ第１質量負荷材料部の高精度の形成が容易に可能な薄膜弾性波共振器を提供する。
【解決手段】圧電薄膜からなる圧電体１と、圧電体の各主面上に各々設けられた第１電極２、及び第２電極３とを備え、第１及び第２電極を介して圧電体に電界を印加することにより共振振動を発生させる薄膜弾性波共振器。圧電体主面上における第１電極の平面領域の外側に環状に設けられた、第１電極よりも質量負荷効果が大きい第１質量負荷材料部４を備え、第１電極の外縁と第１質量負荷材料部の内縁とが離間していることにより、両者は電気的に絶縁されている。第１質量負荷材料部は、第１電極と同一材料により同一厚みで圧電体上に形成された補助電極層２ａと、補助電極層の上に形成された負荷材料層４ａとを含む積層構造を有する。 （もっと読む）

【課題】幅すべりモードの影響を抑制しつつ、エネルギ閉じ込め効果を改善したＡＴカット水晶振動片を製造する。
【解決手段】ＡＴカット水晶振動片３０は、水晶の結晶のＸ軸方向に長辺を有する矩形をなしかつその長辺方向の側面３２が水晶の自然面のｍ面である第１の結晶面３３とｍ面以外の自然面である第３の結晶面３４との２面で形成されたＡＴカット水晶板からなる水晶素子片３１と、その表裏主面に設けられた１対の励振電極３５ａ，３５ｂとを備える。水晶素子片の外形加工は、その外形に対応するマスク２２ａ，２２ｂをＡＴカット水晶板２１の表裏各面に互いに水晶の結晶のＺ´軸方向に位置をずらして形成し、表裏両面からウエットエッチングすることにより行う。水晶素子片は、励振部である厚肉中央部６３と薄肉周辺部６４とからなるメサ形状にすることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜デバイスの特性を向上する。
【解決手段】圧電薄膜共振子１は、支持基板１１の上に、接着層１２、キャビティ形成膜１３、下面電極１４、圧電体薄膜１５及び上面電極１６（１６１，１６２）をこの順序で積層した構造を有している。対向領域１８１の外側において圧電体薄膜１５を支持基板１１に固定し、キャビティ１３５を駆動部１６１１より大きくした上で、駆動部１６１１の周縁部に加重部分１６１５を配置し、加重部分１６１５よりも中央部寄りに軽減部分１６１６を配置すると、主共振の共振周波数と反共振周波数との間に重畳する副共振や主共振の共振周波数よりも低周波数側に重畳する副共振を実用上問題とならない程度まで抑制することができるとともに、主共振のＱ値を大幅に上昇することができる。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子の副共振を抑制し、単数又は複数の圧電薄膜共振子を含む圧電薄膜デバイスの特性を向上する。
【解決手段】圧電薄膜共振子１は、支持基板１１の上に、接着層１２、キャビティ形成膜１３、下面電極１５、圧電体薄膜１６及び上面電極１７をこの順序で積層した構造を有している。上面電極１７１は、振動部となる対向領域Ｅ１において、圧電体薄膜１６を挟んで下面電極１５と対向している。圧電薄膜共振子１では、対向領域Ｅ１の周縁部の固定にあたって、対向領域Ｅ１の外郭のうち、下面電極１５の端面１５ｓによって構成されている部分においては、下面電極１５の平坦面１５ｐの周縁部から、下面電極１５の端面１５ｓを経て、圧電体薄膜１６の下面へ至る連続する範囲を覆うようにキャビティ形成膜１３を成膜し、当該範囲を接着層１２及びキャビティ形成膜１３を介して支持基板１１へ固定している。 （もっと読む）