【課題】 製造時におけるスループットの低下が無く、製造時における抵抗不良等の不具合が発生しない薄膜圧電共振器、フィルタ及びその製造方法を提供。
【解決手段】 本発明に係る薄膜圧電共振器１は、空洞（キャビティ）１Ｈを有する基板２と、空洞１Ｈを覆うように基板２上に設けられた第１の誘電体層３と、基板２上に設けられ、第１の誘電体層３の周辺領域に配設された第２の誘電体層４と、第１の誘電体層３を介して、空洞１Ｈ上に設けられた第１の電極（下部電極）５と、第１の電極５上に設けられ、第２の誘電体層４上まで延在して配設された圧電体層７と、圧電体層７を介して、第１の電極５上に設けられた第２の電極（上部電極）８とを備え、第２の誘電体層４は、第１の誘電体層３より厚い膜厚を有している。 （もっと読む）

【課題】犠牲層をエッチングする際、下部電極が基板に付着することを抑制することが可能な圧電薄膜共振器、フィルタおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、基板（４１）上に、空隙（４６）が形成されるように設けられた下部電極（４３）と、下部電極（４３）上に設けられた圧電膜（４４）と、圧電膜（４４）上に設けられた上部電極（４５）と、を有し、下部電極（４３）、圧電膜（４４）および上部電極（４５）は、空隙（４６）の中心を含み、空隙（４６）に接続する貫通孔（４７）を有することを特徴とする圧電薄膜共振器およびフィルタ並びにその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 小型で、回路に組み込んで用いるときに生じる信号の干渉および損失を抑制することができるとともに、設計の自由度の高く、低コストで所望の共振周波数特性を得ることができる薄膜バルク音響波共振子を提供する。
【解決手段】 導体パターン膜２７は、共振子本体２３のＺ方向に設けられており、共振子本体２３と導体パターン膜とが圧電体薄膜３５の厚み方向に積層されることによって、導体パターン膜２７を設けても薄膜バルク音響波共振子２０を小型に形成することができる。導体パターン膜２７は共振子４０に直列または並列に接続されるので、導体パターン膜２７によって薄膜バルク音響波共振子２０のインピーダンスを変化させて直列共振周波数と並列共振周波数の差を調整することができるので設計の自由度が向上し、また外部素子を接続しないで、低コストでインピーダンスを調整することができ、信号の干渉および損失が抑制される。 （もっと読む）

【課題】振動部の振動が支持部から漏れることを抑えて良好な周波数特性を有する圧電共振器を提供する。
【解決手段】圧電体層１０１の一方主面に上部電極１０３が、他方主面に下部電極１０２が形成される。振動部１０４は、下部電極１０２、圧電体層１０１、及び上部電極１０３が垂直投影方向に重なる領域となる。また、下部電極１０２及び上部電極１０３を入出力電極１０７に接続するための配線電極１０８が、圧電体層１０１の一方主面及び他方主面にそれぞれ設けられる。この振動部１０４は、支持部１０９を介して基板１０５に載置（接合）される。この支持部１０９は、振動部１０４を形成している領域と、入出力電極１０７及び配線電極１０８が形成されている領域とを除く、圧電体層１０１の位置に形成される。すなわち、支持部１０９は、いずれの電極とも垂直投影方向に重ならない位置に設けられる。 （もっと読む）

【課題】小型化を図るのに適する圧電薄膜共振子、優れた共振特性を有する圧電薄膜共振子、及びこれらにより構成されるフィルタを提供する。
【解決手段】例えば本発明のフィルタは、基板１１０上の積層共振体１２０と、積層共振体１２０および基板１１０により囲まれてなる空隙部１１０ａとを含む圧電薄膜共振子１００Ａが複数接続されたものである。積層共振体１２０は、基板１１０側の第１面およびこれとは反対の第２面を有する圧電膜１２３と、前記第１面に接する部位を有して空隙部１１０ａに部分的に露出する電極膜１２１と、前記第２面に接する部位を有する電極膜１２２とからなる。積層共振体１２０にて圧電膜１２３を介して両電極膜１２１，１２２が重複する領域は励振部を構成し、励振部は電極膜１２１側で空隙部１１０ａに露出する。空隙部１１０ａの励振部に接する面積は、空隙部１１０ａの積層共振体１２０に接する面積より小さい。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数が大きく、音響的品質係数（Ｑ値）及び周波数温度特性に優れた複数個の薄膜バルク波共振器を組み合せることにより、挿入損失が小さくて、性能の改良された薄膜圧電デバイスを作製できるようにする。
【解決手段】振動空間を有する基板１２と、その上に形成された圧電積層構造体１４とを用いて薄膜圧電共振器２１０，２２０を形成する。圧電積層構造体１４は、圧電体膜１６とその両面のそれぞれの少なくとも一部に形成された下部電極１５及び上部電極１７とを有する。圧電積層構造体１４に絶縁体層１３が付されている。振動空間は基板１２の圧電積層構造体１４の形成された側の面からその反対側の面まで貫通するビアホール２２により形成されている。ビアホール２２の側壁面は基板１２の圧電積層構造体１４の形成された側の面に対して８０〜１００°の範囲内の角度をなしている。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い圧電共振部品を提供する。
【解決手段】 誘電体基板31の下面にアース電極32および一対の入出力電極33ａ，33ｂが形成され、上面に側面電極21ａ，21ｂを介して入出力電極33ａ，33ｂに電気的に接続される一対の容量形成電極34ａ，34ｂが形成された容量素子30と、圧電基板41の上下面に一対の主面電極42ａ，42ｂが形成され、一対の主面電極42ａ，42ｂが一対の容量形成電極34ａ，34ｂに電気的に接続されて容量素子30の上に取り付けられた圧電共振素子40とを備えており、容量形成電極34ａ，34ｂの一部の側面から側面電極21ａ，21ｂにかけて金属膜22ａ，22ｂで被覆した圧電共振部品とする。これによって、容量形成電極34ａ，34ｂと側面電極21ａ，21ｂとの間で金属膜22ａ，22ｂを介した電気的な経路が確保され、信頼性の高い圧電共振部品を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 音叉型圧電振動片を実装した圧電デバイスにおいて、より一層の小型化を図りながら、温特ディップ現象による不都合を解消し、ＣＩ値を低く抑制しかつ安定した温度特性を確保する。
【解決手段】 基部８と、該基部から平行に延出する複数の振動腕９，１０と、基部から振動腕と平行に延出する固定用腕１３，１４とを有する音叉型水晶振動片を、固定用腕をマウント部においてベースに固着することにより固定支持する圧電振動子１において、該振動片の励振時に、振動腕の屈曲振動の固有振動数と振動片の厚み方向に発生する同相振動の固有振動数とが、所定の使用温度範囲において異なるように、マウント部の位置、長さまたはその硬さを設定した。 （もっと読む）

【課題】横モードの音波による定在波の発生を最小限に抑えることで共振特性の向上を図ることが可能な薄膜バルク音響共振器を提供することを目的とする。
【解決手段】第１電極２と第２電極４との間に圧電体膜３を狭持してなる共振部Ａを備えた薄膜バルク音響共振器において、共振部Ａが楕円の一部を直線Ｌで切り欠いた平面形状で構成されている。直線Ｌは、楕円の短軸および長軸の少なくとも一方、好ましくは両方と交差し、楕円の中心を通る。 （もっと読む）

【課題】 共振周波数の微調整が可能で、しかも、電極形成後であっても周波数調整を行うことが可能な圧電薄膜振動子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の圧電薄膜振動子は、一対の電極１１，１３間に圧電体層１２が配置されてなる積層構造１０を有し、前記一対の電極で与えられる電界により前記積層構造内に積層方向の音響振動が生成される圧電薄膜振動子において、一方の前記電極１３の形成された電極形成領域における前記圧電体の厚みと、前記一方の電極１３の形成されていない電極非形成領域１３ａにおける前記圧電体層の厚みとが異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電体の音響インピーダンス値に制約を受けずにさらなる高周波化を図ることのできる圧電薄膜振動子の構造を提供する。
【解決手段】 本発明の圧電薄膜振動子１０は、圧電体層１４と、該圧電体層１４の表裏両側に配置され、前記圧電体層に積層方向の電界を印加する一対の電極１１，１５とを含む積層構造を有し、前記圧電体層１４の前記積層方向一側にダイヤモンド層１２が配置され、前記積層構造は、前記圧電体層１４から前記ダイヤモンド層１２までの各層１４，１３，１２の音響インピーダンスが、前記圧電体層１４から前記ダイヤモンド層１２へ向けて順次に増加していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】縦方向の音響漏れを低減するための音響ミラー層における膜浮きや膜剥がれが抑制された薄膜バルク音響共振器を提供する。
【課題手段】支持基板１と、圧電膜５を下部電極４および上部電極６により挟んで形成された振動子２と、第１音響ミラー材料膜７及び第１音響ミラー材料膜よりも音響インピーダンスの高い第２音響ミラー材料膜８を有する音響ミラー層３とを備え、振動子が音響ミラー層を介在させて支持基板上に支持される。音響ミラー層は、第１音響ミラー材料膜、第２音響ミラー材料膜、およびそれらの膜の密着性を向上させる接着膜９を含む音響ミラー単位層３ａを、１層または複数層用いて形成される。 （もっと読む）

【課題】 プロセスの変動による回路の位置ずれが生じても、反共振周波数の変動が生じない構造を有する薄膜圧電共振器およびフィルタ回路の実現。
【解決手段】 基板と、基板を貫通するキャビティ１４と、キャビティを覆うように基板の主面上に設けられた下部電極１１と、その上に設けられた圧電体膜１２と、キャビティと部分的に重なるように圧電体膜上に設けられた本体部１３ａと、本体部に接続し一部分がキャビティに重ならずかつ下部電極に重なるように圧電体膜上に設けられた突起部１３ｂと、本体部の突起部と反対側の圧電体膜上に設けられた引き出し部１３ｄと、本体部と引き出し部とを接続し、一部分がキャビティに重ならずかつ下部電極に重なるように圧電体上に設けられた接続部１３ｃとを有する上部電極１３とを備え、突起部と接続部の寄生容量部１５のサイズが同じである構造により位置ずれによる寄生容量の実質的変化が無い。 （もっと読む）

【課題】 共振特性を向上しつつ小型化を実現することができる薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】 薄膜圧電共振器１において、空洞２Ｈを有する基板２と、空洞２Ｈ上の第１の電極５と、第１の電極５上の圧電体６と、圧電体６上の第２の電極７と、を備え、第２の電極７の周縁の一部７１が空洞２Ｈに重複配置され、この第２の電極７の周縁の一部７１の端面とその底面とがなす内角θを３０度以下に設定する。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子の共振周波数を高い精度で微調整することができ、良好かつ安定な共振特性を得ることができる圧電薄膜振動子及びその共振周波数調整方法を提供すること。
【解決手段】基板１１と、圧電体薄膜１６と、一対の電極１５、１７と、最上層部に共振周波数を調整するように形成された粒径数ｎｍから数十ｎｍの超微粒子からなる超微粒子層３１とを備えた圧電薄膜振動子であり、また最上層部に超微粒子を漸増しつつ堆積することにより、共振周波数を微小単位で精度よく調整するようにしたので、共振周波数を正確に合わせ込むことができ、良好かつ安定な共振特性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 Ｑ値を向上することができ、かつ不要なスプリアス振動を防止することができるとともに、共振器部の機械的強度を向上することができる薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】 薄膜圧電共振器１０において、キャビティ１１を有する基板１と、キャビティ１１上の第１の電極２、圧電体３及び第２の電極４と、キャビティ１１、第１の電極２、圧電体３及び第２の電極４の重複部分により構成された共振器部５とを備えている。第２の電極４には第２の引出電極４１が接続され、この第２の引出電極４１は、第２の電極端４２のキャビティ１１に重複する周縁長に対してキャビティ１１の開口周縁に沿う配線幅Ｗ２を長く設定している。そして、共振器部５の第１の電極端２２により規定される第１の周縁長Ｌ１は第２の電極端４２により規定される第２の周縁長Ｌ２に対して長く設定されている。 （もっと読む）

【課題】 空洞若しくは音響反射層上に配設される励振部の結晶性を向上することができ、励振部の容量値のばらつきを減少することができる薄膜圧電共振器及びフィルタを提供する。
【解決手段】 薄膜圧電共振器１において、第１の空洞２１及び第２の空洞２３を有する基板２と、第１の空洞２１上に配設され、第１の電極４、第１の圧電体５及び第２の電極６を順次積層し、これらの重複領域により周囲の輪郭が規定される第１の励振部７１と、第２の空洞２３上に配設され、第３の電極４、第２の圧電体５及び第４の電極６を順次積層し、これらの重複領域により周囲の輪郭が規定される第２の励振部７３とを備え、第１の励振部７１端から第１の空洞２１の開口端までの間の平均距離ｄ１に対して、第２の励振部７３端から第２の空洞２３の開口端までの間の平均距離ｄ２が異なる。 （もっと読む）

【課題】 低損失で信頼性が高く、生産性の高い薄膜バルク音響波共振子を提供する。
【解決手段】 基板11と、基板11上に配置され、低固有音響インピーダンス層12ｂおよび高固有音響インピーダンス層12ａを交互に積層してなる音響反射器12と、音響反射器12上に配置され、圧電体薄膜14および圧電体薄膜14に上下から電圧を印加するための上部電極15および下部電極13からなる共振部とを具備する薄膜バルク音響波共振子において、低固有音響インピーダンス層12ｂは耐熱性の樹脂材料から成り、高固有音響インピーダンス層12ａは、耐熱性の樹脂材料と高固有音響インピーダンスの材料からなるフィラーとの混合体である薄膜バルク音響波共振子である。少ない層数で良好なアイソレーション特性を有する音響反射器12を真空装置を必要とせずに精度良く形成することができるので、低損失で生産性の高いものとなる。 （もっと読む）

【課題】 音響インピーダンス差により伝搬してきた振動を保持部材との間の界面で反射させる反射層を有する複合材料振動装置であって、反射層の厚みを薄くすることができ、高周波化が容易であり、かつコストを低減し得る複合材料振動装置を提供する。
【解決手段】 振動部材としての圧電共振子２に、反射層３，４を介して保持部材５，６が連結されており、反射層３，４の音響インピーダンス値Ｚ₂が、圧電共振子２及び保持部材５，６の音響インピーダンス値Ｚ₁，Ｚ₃よりも小さくされており、反射層３，４が、熱硬化性樹脂と、硬化剤と、液状ゴムポリマーとを含む樹脂組成物の硬化物により構成されている、複合材料振動装置１。 （もっと読む）

【課題】大きな負荷容量を内蔵することが可能な小型の圧電発振子を提供する。
【解決手段】圧電基板の両主面に一対の振動電極を形成した圧電振動素子と、振動電極を囲繞するように圧電振動素子の両主面に取り付けた一対の枠体と、誘電体基板の両主面に容量電極を形成して成り、一方の枠体を覆うように取り付けた容量素子と、他方の枠体を覆うように取り付けた第１保護シートと、容量電極を覆うように取り付けた第２保護シートとを有しており、振動電極および容量電極と電気的に接続された端子電極が第１または第２保護シートに形成されている圧電発振子とする。これによって、容量電極を誘電体基板の両主面のほぼ全面に形成することが可能となり、大きな負荷容量を内蔵した圧電発振子とすることができる。 （もっと読む）