【課題】 自由落下耐性の優れた圧電セラミックス共振子を備えたレゾネータを提供する。
【解決手段】 振動電極が形成された圧電セラミックス共振子２と、圧電セラミックス共振子２を支持する基板３と、を備え、圧電セラミックス共振子２が、Ｕ≧０．８８×Ｈ＋２０．２８（ただし、Ｕ＝単位体積あたりの最大弾性エネルギー（ｋＪ／ｍ³）、Ｈ：落下高さ（ｍ）、Ｈ＞１）の条件を具備する。基板３は端子電極３１、３２を備え、圧電セラミックス共振子２は、導電固定子４を介して、振動電極と導通するとともに、基板３に両端支持される構造のレゾネータ１に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】 Ｑ値が大きく、優れた共振特性を有する薄膜バルク波素子および高周波デバイスを提供する。
【解決手段】 この薄膜バルク波素子では、基板１の表面上には矩形の平面形状を有する凹部２が形成されており、凹部２上にはこの凹部２の中央を跨ぐように、薄膜共振器６が形成されている。この薄膜共振器６は、圧電体薄膜３と圧電体薄膜３の上面上および下面上に形成された電極４および５とからなる。薄膜共振器６の周縁部のうち、１組の対向する辺６ｂおよび６ｄと基板１との間には、それぞれ、長さＬを有する開口部７および７が形成されており、辺６ｂおよび６ｄは、それぞれ、その中央部において長さＬに渡って基板１と離れている、そして、電極４および５は、それぞれ、基板１上に形成されているパッド電極８および９と接続されているとともに、パッド電極８および９を介して図示していない外部の回路と接続されている。 （もっと読む）

【課題】単一の素子で２素子と同等のフィルタ特性を実現できる圧電フィルタを提供する。
【解決手段】圧電基板１の厚み方向中央層にアース電極２を形成し、両主面にアース電極２と部分的に対向しかつ相互には対向しない入力電極３と出力電極４とを形成する。圧電基板１の両主面に、中央層のアース電極２と対向し、かつ主面方向における入力電極３と出力電極４との中間領域にアース電極５，６を形成する。そのため、厚み縦振動の２倍波であってかつ３重モードを励振させることができ、従来のような２重モードのフィルタ素子を２個用いなければ得られなかった減衰量や選択度などのフィルタ特性を、１素子で実現できる。 （もっと読む）

【課題】厚み縦３次高調波モードで使用する負荷容量外付け２端子表面実装型圧電共振部品において、１次あるいは５次等のスプリアス発振を防止した圧電共振部品を提供する。
【解決手段】圧電共振子１は、圧電基板１０と、振動電極１１、１２と、引き出し電極１４、１５とを含む。振動電極１１、１２は、圧電基板１０の両主面上に互いに対向して形成され、引き出し電極１４、１５を介して外部端子５１、５２に導通し、振動電極１１、１２を含むその周囲に振動空間１１０、１２０を形成する。天板３及びベース基板４は、誘電体材料で構成され、振動空間１１０、１２０を取り囲むとともに、圧電共振子１をその両面から挟み込んで一体化し、外部端子５１、５２間に０．５ｐＦ〜１０ｐＦの端子間合成容量を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 基板と、この基板によって支持される、圧電薄膜ならびに圧電薄膜を厚み方向に挟んで互いに対向するように形成される上電極および下電極とを備え、厚み縦振動を利用する、圧電装置において、圧電薄膜内でのバルク弾性波の散乱を抑制し、圧電特性を改善する。
【解決手段】 上電極６および下電極７は、Ｔｉを主成分とする下地層８上に、双晶構造を有するエピタキシャル膜からなる双晶エピタキシャル電極９を形成した構造とされる。また、圧電薄膜５についても、双晶構造を有するエピタキシャル膜から構成される。 （もっと読む）

【課題】共振部のダメージを減らしながらエッチング工程を通じてエアギャップを形成することのできるエアギャップ型ＦＢＡＲ及びその製作方法を提供すること。
【解決手段】所定の大きさのエアギャップがエッチングされ貫通形成された基板と、エアギャップの上部に位置し、第１電極、圧電膜、及び第２電極が順に積層された共振部と、エアギャップと共振部との間に設けられ、エアギャップの形成時エッチング深さを制限して共振部の損傷を防止するエッチング阻止層とを含む。 （もっと読む）

【課題】 不要なスプリアス振動のない優れた特性を示し、また製造における歩留まりが良く、長期信頼性の高い薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】 本発明の薄膜圧電共振器は、下面側に空洞１９を有する基板１１と、基板上であって且つ空洞の真上に配置された共振素子とを備え、この共振素子は、空洞側に位置する下部電極層１３と、当該下部電極層に対向する上部電極層１８と、下部電極層と上部電極層との間に位置する圧電体薄膜１７とを有し、基板上において、共振素子の下部電極層１３の周囲を等厚の絶縁体の埋め込み層１５により埋め込んだものである。 （もっと読む）

【課題】 広帯域化を図ることができるとともに、通過帯域外では大きな減衰量を確保でき、さらに安価で製造し易い、広帯域の圧電フィルタを提供する。
【解決手段】 圧電基板の主表面に分割ストリップ状の入出力電極と対向する共通アース電極を形成したエネルギ閉じ込め型の２ポールフィルタを２組形成したものである。それぞれ圧電基板の一表面に近接して配置された入出力電極が形成されるとともに、対向する裏面にアース電極が形成された第1および第2の２ポールフィルタを具え、第1の２ポールフィルタの出力電極が第2の２ポールフィルタの入力電極と接続されるとともに、それらの接続点に一端が接続され、他端が接地されたコンデンサを具えた圧電フィルタにおいて、それぞれの2ポールフィルタは、入出力電極が3本のほぼ平行なストリップ電極で構成され、両側の2本のストリップ電極が接続されて入力電極または出力電極とされ、中央の1本のストリップ電極が出力電極または入力電極とされる。 （もっと読む）

【課題】 厚み縦振動の高調波を利用したエネルギー閉じ込め型の圧電共振子であって、利用する高調波をさほど抑圧することなく、スプリアスとなる厚み縦振動の基本波を効果的に抑圧することが可能とされている圧電共振子を提供する。
【解決手段】 厚み方向に分極処理された圧電基板２の上面に第１の励振電極３が、下面に第２の励振電極４が形成されており、圧電基板２の上面及び／または下面の少なくとも一方に、励振電極３，４が対向しているエネルギー閉じ込め型の振動部が励振した際に伝搬する基本波により生じる電荷に基づく電位分布のノードから第１の励振電極３に近い側及び第１の励振電極３から遠ざかる方向に延びる浮き電極７が形成されている、エネルギー閉じ込め型圧電共振子。 （もっと読む）

【課題】斜め方向の電界により励振されていた振動のレスポンスを小さくし、基本波スプリアスを効果的に抑制できる圧電共振子を提供する。
【解決手段】厚み縦振動モードの３倍波を利用したエネルギー閉じ込め型圧電共振子の圧電基板の幅Ｗと厚みＴとの比Ｗ／Ｔを２．２±５％とする。圧電基板２の表裏面に、長さ方向中央部において表裏対向する振動電極３，４を圧電基板２の全幅に亘って形成し、圧電基板２の表裏面に振動電極３，４から圧電基板の異なる長さ方向端部に引き出された引出電極５，６を形成する。引出電極５，６の幅を圧電基板の幅Ｗの１／５以下とし、圧電基板の長辺に平行な幅方向中心線にそって配置することで、基本波スプリアスを抑制する。 （もっと読む）

【課題】 横方向漏れを抑制し、低損失化することを課題とする。
【解決手段】 基板１０と、基板１０上に形成された下部電極２０と、下部電極２０及び基板１０上に形成された圧電膜３０と、圧電膜３０を挟んで下部電極２０に対向する部分を有するように圧電膜３０上に形成された上部電極４０とを有し、前記対向する部分における圧電膜３０の外周部の少なくとも一部が、上部電極４０と下部電極２０とが対向して形成された領域６０の外周部と略一致する圧電薄膜共振子。 （もっと読む）

【課題】温度が変化しても厚み縦振動の３倍波を良好に利用できる、エネルギー閉じ込め型圧電振動部品を得る。
【解決手段】圧電基板３と、該基板３を介して厚み方向に対向する様に、圧電基板３の上面３ａ及び下面３ｂに形成された第１，第２の振動電極４，５とを有し、第１，第２の振動電極４，５が厚み方向に対向してエネルギー閉じ込め型振動部６を形成するエネルギー閉じ込め型の圧電振動子２と、圧電振動子２が上面２ａに搭載される基板１１と、圧電振動子２と基板１１とを接合し、音響インピーダンスが圧電基板３と基板１１の音響インピーダンスより小さい接着剤層２１，２２とを備え、接着剤層２１，２２が、下記式（１）で表わされる厚みを有し、かつ厚み縦振動の３倍波を利用している、圧電振動部品１。 厚み＝（ｎ／４）・λ…式（１）（式中、ｎは１以上の奇数、λは基本波の波長を表わす。） （もっと読む）

【課題】 圧電体のばらつきが少なく、性能ばらつきが少なく、分極処理工程を必要とすることなく製造することができる、高周波帯に適した圧電共振子を提供する。
【解決手段】 （０，１，−１，２）結晶面を有し、該結晶面が基板表面に平行なＲ面サファイア基板の上記表面に対し、（１，１，−２，０）結晶面が平行となるようにエピタキシャル成長されたウルツ鉱構造の化合物結晶からなる圧電体３が形成されており、板状の圧電体３の（１，１，−２，０）結晶面に垂直な（０，０，０，１）結晶面であるＣ面を挟むように圧電体３の厚み方向において対向し合う一対の主面３ａ，３ｂに一対の励振電極４，５が形成されている、圧電共振子１。 （もっと読む）

【課題】 放熱性に優れ、耐電力性が向上した圧電共振子、圧電フィルタ、デュプレクサ、および通信装置を提供する。
【解決手段】 開口部若しくは凹部を有する支持基板１０を設ける。前記開口部若しくは凹部上に形成されている、１層以上の圧電薄膜１５を設ける。圧電薄膜１５の上下面を少なくとも一対の上部電極１６および下部電極１４を対向させて挟む構造の振動部１１ｂを設ける。振動部１１ｂの厚み方向視の形状が長さの異なる辺を有する多角形状であり、その最も長い辺が開口部１１ａ若しくは凹部の端部に沿って形成されている。 （もっと読む）

【課題】 良好な特性を有する圧電薄膜共振子の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電薄膜共振子の製造方法は，第１基板の上方に、順次、圧電薄膜３および第１電極４を積層して積層体を形成する工程と、第２基板６と積層体とを接合する工程と、第１基板を、積層体から分離する工程と、圧電薄膜３の上方に第２電極８を形成する工程と、第２電極８、圧電薄膜３、および第１電極４をパターニングする工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 圧電体膜の厚み方向の配向特性が良好で、且つスプリアス振動がなく、高い電気機械結合係数ｋ_ｔ^２及び機械的品質係数Ｑmを持つ薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】 貫通したキャビティ２１を有する基板１１；基板１１上においてキャビティ２１を囲む位置に配置された中間絶縁膜１２；中間絶縁膜１２上に選択的に配置された非晶質下地膜１３ａ，１３ｂ；非晶質下地膜１３ａ，１３ｂに底面の一部のみを接した下部電極１４；下部電極１４の上面に配置された圧電体膜１５；圧電体膜１５上の上部電極１６；下部電極１４の一部に接続される下部電極配線１７；上部電極１６の一部に接続される上部電極配線１８；上部電極配線１８、上部電極１６，上部電極１６から露出した圧電体膜１５、下部電極１４の上面を被覆するパッシベーション膜１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】スプリアスが抑圧された電気特性の優れた圧電共振素子を提供する。
【解決手段】矩形状の圧電基板の両主面に一対の振動電極を被着させてなる圧電共振素子であって、両振動電極の非対向領域に、前記対向領域の図心より外方に向かって相反する方向に延出された延出部を設ける。 （もっと読む）

音響ミラー上に設けられた体積音波によって作動する、基板上に構成された共振器のために、共振器内に形成可能な体積音波の基本モードを抑制することが提案されている。音響ミラーを適合することによって、音響ミラーに対して並列に振動モードを励振し、共振器用に利用することができるようになる。
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【課題】水晶振動子の密閉構造での劣化要因を除去し、長期エージング特性が、１０^−６／年レベルの周波数安定度の製造限界を突破する。
【解決手段】高安定水晶振動子の製造プロセスとして、プロセスＳ１１で、容器本体内所定位置に、電極が形成された水晶素子を導電性接着剤で固定後乾燥、又は金バンプでダイボンディングし、プロセスＳ１２で、容器本体内に遠紫外線照射や低イオン照射により、汚染物を分解処理して、容器本体内を清浄化し、プロセスＳ１３で、電解研磨されたステンレス製保持器やキャップを使用し、ステンレス製キャップからのガス発生を極力抑え、プロセスＳ１４では、電解研磨されたステンレス製キャップで真空又は不活性ガスで保持器を封止し、プロセスＳ１５で各工程での歪の除去を熱エージングで、あわせてプロセスＳ１１からプロセスＳ１４で除けなかった不要ガスの排出を行ない、高安定水晶振動子製造を可能とする。 （もっと読む）

基本波を利用しており、高次モードによるスプリアスが抑圧された良好な特性を有する圧電共振部品を提供する。 ポアソン比が１／３を超える圧電材料からなる圧電板２に、複数の共振電極として、第１，第２の分割電極３，４と共振電極５とが設けられており、基本波を利用している圧電共振部品であって、基本波が励振された際に変位している振動領域と、該振動領域の外側の領域の少なくとも一部とで圧電板の分極方向が異なっている、圧電共振部品１。 （もっと読む）