【課題】本発明は、連結部において引出電極の面積が広く形成された圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電振動片（１３０）は、第１方向に伸びる第１辺（１３８ａ）を含む矩形形状の励振部（１３１）と、励振部の第１主面に形成される第１励振電極（１３４ａ）及び第２主面に形成される第２励振電極と、リッド板に接合される面である第１接合面及びベース板に接合される面である第２接合面を有し励振部を囲む枠部（１３２）と、励振部の第１辺と枠部とを連結し、両主面と平行な平面と該平面に交差する側面とを有する一本の連結部（１３３）と、第１及び第２励振電極から連結部を介して枠部の第２接合面まで引き出される第１引出電極（１３５ａ）及び第２引出電極（１３５ｂ）と、を備え、第１引出電極が連結部の側面の少なくとも一部に形成されて枠部に引き出されている。 （もっと読む）

【課題】屈曲振動片の振動腕の側面に厚さ方向に分離した電極を高精度にパターニングする。
【解決手段】屈曲振動片２１は、基部２２から延出する断面矩形の振動腕２４が下面２４ｂ及び上面２４ａと左側面２４ｃ及び右側面２４ｄとの間に、それぞれ左側面及び右側面に交わる段差面２７ａ，２８ａと上面及び下面に交わる段差側面２７ｂ，２８ｂとからなる第１、第２段差部２７，２８を有し、左右側面の第１、第４検出電極２９ａ，２９ｄと段差側面の第２、第３検出電極２９ｂ，２９ｃとが、電極膜を形成していない段差面２７ａ，２８ａの部分によりそれぞれ振動腕の厚さ方向に分離されている。第１〜第４検出電極は、従来のフォトエッチングにより、一般的な露光機を用いた上下面からの露光によって高精度にパターニングされる。 （もっと読む）

【課題】振動腕の断面に工夫をすることにより、振動特性を損なうことなく、また、一般の露光装置を用いることが可能とされる、対向側面に長さ方向に分割された電極を備えた音叉型圧電振動片を提供することを課題とする。
【解決手段】音叉型圧電振動片１は、基部２と、この基部２の両端からこれと直角方向に、且つ、同じ側に延出した一対の平行な振動腕３が一体的に形成され、各振動腕３の側面３２であって、表裏の主面３１を除いた側面３２のそれぞれは、振動腕３の長さ方向に沿って、互いに平行であるが互いにずれている２つの段差平面３３とこの２つの段差平面３３を結ぶ遷移面３４を有しており、段差平面３３のそれぞれには、遷移面３４上の非電極部５によって互いに隔てられている電極４がそれぞれ形成されている。 （もっと読む）

【課題】抵抗値Ｒ１を増加させることなく、ショート不良を改善することができる圧電振動片の製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電材料からなるウエハを利用して、圧電振動片を製造する方法であって、圧電板の外表面上に電極膜をパターニングして一対の電極を形成する電極形成工程（Ｓ４）が、圧電板の表面に電極膜を成膜する電極膜形成工程（Ｓ４ａ）と、電極膜上にフォトレジスト膜を成膜するフォトレジスト膜形成工程（Ｓ４ｂ）と、フォトレジストパターン用に第一開口部が配されたマスクによりフォトレジスト膜に対して露光を行う第一露光工程と（Ｓ４ｃ）、第一開口部の一部と重なる位置に第二開口部が配された補正マスクによりさらにフォトレジスト膜に対して露光を行う第二露光工程（Ｓ４ｄ）と、を備え、一対の電極の隙間に対応する第二開口部の開口幅は、その隙間に対応する第一開口部の開口幅以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電板の外形を正しく認識して、電極部を高精度に形成できる圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】金属積層膜２８上にフォトレジスト材を塗布し、金属積層膜２８上にフォトレジスト膜４４を形成する第１フォトレジスト膜材形成工程と、フォトレジスト膜４４をパターニングしてレジストパターン５４を形成する第１パターニング工程と、レジストパターン５４の形成領域以外の領域の金属積層膜２８を除去して、下地電極膜を形成する第１エッチング工程と、を有し、フォトレジスト膜形成工程は、ウエハＳにおける第１面Ｓａ側に配置された第１治具７２、及び第２面Ｓｂ側に配置された第２治具７３により、ウエハＳを厚さ方向の両側から挟持して行い、第１治具７２及び第２治具７３は、ウエハＳの厚さ方向から見て重なり合わない位置に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造が簡単で、周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、この振動片の製造方法を提供すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出しＺ軸方向に屈曲振動する振動腕２８と、振動腕２８に設けられ、振動腕２８を屈曲振動させる圧電体素子２２と、振動腕２８の圧電体素子２２よりも先端側に設けられた質量部５１とを有している。また、圧電体素子２２は、少なくとも、第１の電極層２２２と、第２の電極層２２６と、これらの間に位置する圧電体層２２３とを有している。また、質量部５１は、少なくとも１つの膜部を有し、この膜部は、圧電体素子２２を構成する層のうちのいずれか１つの層と同じ材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片の発振周波数における粗調整と微調整を効率良く行うことができる音叉型圧電振動片及び圧電ウェハを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の音叉型圧電振動片１０は、基部１２と、前記基部１２から延出された第１及び第２の振動腕１４、１６とを備えた音叉型圧電振動片１０であって、前記第１及び第２の振動腕１４、１６の先端部分は長手方向に沿って一方及び他方の主面２６、２８のみに複数の金属膜を備え、前記複数の金属膜にレーザー光を照射して発振周波数を調整可能なことを特徴としている。この場合において第１及び第２の振動腕１４、１６の長手方向に沿って、前記複数の金属膜の長さが互いに異なることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】振動片基板に形成された複数の音叉型振動片各々の特性測定を行うための測定パ
ッドを当該基板内に設ける場合に、振動片基板１枚当たりの取れ個数を増加させるように
測定パッドを配置した振動片基板、音叉型振動片及びパッケージを提供する。
【解決手段】支持腕部１７ａ，１７ｂは振動腕部１６ａ，１６ｂと同じ方向に延び、支持
腕部１７ａ，１７ｂの長さは振動腕部１６ａ，１６ｂよりも短く、隣接する音叉型振動片
１２が備える振動腕部１６ａ，１６ｂ同士が枠部１３の一部の領域を挟むように音叉型振
動片１２を配置し、振動腕部１６ａ，１６ｂ同士に挟まれた枠部１３の領域に測定パッド
４０ａ，４０ｂを形成し、連結部１４ａ，１４ｂに音叉型振動片１２と測定パッド４０ａ
，４０ｂとを電気的に導通する配線３４ａ，３４ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】音叉型屈曲水晶振動素子にバリが付随してしまうことを防ぐことができる音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ及び音叉型屈曲水晶振動素子ウエハの製造方法及び音叉型屈曲水晶振動素子の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の音叉型屈曲水晶振動素子ウエハは、基部と前記基部から同一方向に延設した２本の振動腕部とを備えた水晶片と、前記音叉型屈曲水晶振動素子ウエハのフレーム部と、前記水晶片の基部と前記フレーム部が連結されている連結部とを備え、前記連結部に曲線状の凹部が設けられていることを特徴とするものである。よって、水晶片の前記連結部周囲のエッチング残りが音叉型屈曲水晶振動素子側に付随してしないため、バリが形成されてしまうことを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】小型化に適した構成を有する屈曲振動片およびこの屈曲振動片を製造する方法を提供する。
【解決手段】水晶振動片１は、基部２と、基部２から延長して形成され、屈曲振動するそれぞれの方向へ向いて配置された第１面６および第２面７を有する３本の振動腕３と、振動腕３の第１面６および第２面７に形成され相互に導電接続されている下部電極１１，１２と、下部電極１１，１２を覆って形成された圧電膜１４と、圧電膜１４に重ねて形成された上部電極１０，１３と、を備え、第１面６（６ａ，６ｂ，６ｃ）に形成された圧電膜１４（１４ａ１，１４ｂ１，１４ｃ１）と第２面７（７ａ，７ｂ，７ｃ）に形成された圧電膜１４（１４ａ２，１４ｂ２，１４ｃ２）とは、形成されている振動腕３に対して互いに反対の分極方向を有している。 （もっと読む）

【課題】圧電ウエハに形成されるほとんどの音叉型圧電振動片を完成品として製造する方法を提供する。
【解決手段】 音叉型圧電振動片を製造する製造方法は、基部とその基部の一端から伸びる一対の振動腕とを有する音叉型圧電振動片を圧電ウエハから製造する。この製造方法は、圧電ウエハに耐食膜を形成する耐食膜形成工程と、耐食膜に感光材を形成する感光材形成工程と、耐食膜に音叉型圧電振動片の外形形成用に感光材を露光する第１露光工程と、耐食膜に一対の振動腕の間で且つ基部の一端から基部の他端側に伸びる分極溝用に感光材を露光する第２露光工程と、感光材及び耐食膜が除去された圧電ウエハをエッチングするエッチング工程と、分極溝で分けられた耐食膜に通電させて音叉型圧電振動片を励振させる第１励振工程と、第１励振工程によって得られた励振状態に基づいて振動腕の一部を除去して振動腕を軽量化する軽量化工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被塗布物に、簡単に塗膜を形成することができるとともに、塗膜の被塗布物の角部に対応する部分の膜厚を厚くすることができる塗膜形成方法、およびこの塗膜形成方法を用いることにより、信頼性の高い圧電素子を簡単に製造することのできる圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】第１面２７、側面２８および角部Ａを有する圧電素子片２にレジスト液Ｑを塗布してレジスト膜を形成する塗膜形成方法であって、圧電素子片２を浸漬用レジスト液Ｑに浸漬することにより、電極膜４の表面に第１のレジスト膜Ｌ１を形成する第１のレジスト膜形成工程と、吐出法によりレジスト液Ｒをノズルから吐出し、吐出されたレジスト液Ｒを、第１のレジスト膜Ｌ１の圧電素子片２の角部Ａに対応する角部対応部Ｌ１１に着弾させることにより、角部対応部Ｌ１１に第２のレジスト膜Ｌ２を形成する第２のレジスト膜形成工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】被塗布物への液滴塗布工程を簡易化するとともに、被塗布物上に所望の塗膜を形成することのできる塗膜形成方法、およびこの塗膜形成方法を用いることにより、信頼性の高い圧電素子を簡単に製造することのできる圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】上面２７、側面２８およびこれらが交差する角部Ａを有する圧電素子片２に対して、吐出法によりレジスト液Ｑをインクジェットヘッド５００から吐出し、圧電素子片２に塗膜（レジスト膜）を形成する塗膜形成方法であって、上面２７の法線方向（ｚ軸方向）から角部Ａに衝突するようにレジスト液Ｑを吐出し、角部Ａでせん断されたレジスト液Ｑが側面２８を流下することにより、側面２８にレジスト膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 音叉型圧電振動片を小型化した場合であっても、振動腕の先端部の周波数調整用の肉薄部を薄くすることにより、周波数調整用の肉薄部の金属膜のトリミングによって周波数が変化する量（周波数可変量）を大きくする。
【解決手段】 音叉型圧電振動片（２０）は、圧電材からなる基部（２３）と、この基部から第一厚さで平行に伸びる一対の振動腕（２１）と、振動腕に形成された励振電極膜（３３，３４）と、第一厚さよりも薄い第二厚さで振動腕（２１）の先端に形成された一対の周波数調整用の肉薄部（２８）と、周波数調整用の肉薄部の少なくとも片面に形成された金属膜（１８）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 断線のおそれもなく安定した周波数をもつ圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイスを提供することである。
【解決手段】 圧電振動片の製造方法は圧電体ウエハから圧電振動片（２０）を形成する。その製造方法は、圧電振動片（３０）の形状を形成する形成工程（Ｓ１１０）と、圧電振動片の表面にＣｒの第１の金属膜を成膜する第１金属膜成膜工程（Ｓ１１４）と、第１の金属膜を酸化させる酸化工程（Ｓ１１６）と、酸化された第１の金属膜に、さらにＣｒの下地膜を成膜する下地膜成膜工程（Ｓ１１８）と、下地膜上にＡｕの第２の金属膜を成膜する第２金属膜成膜工程（Ｓ１２０）と、第１及び第２の金属膜に電極パタ−ンを形成する電極パタ−ン形成工程（Ｓ１２４）と、圧電振動片の所定箇所において電極パタ−ンの第２の金属膜を除去する除去工程（Ｓ１３０）と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ＣＩ値を従来以下に抑え、且つリフトオフ法による電極膜の剥離性の向上した音叉型屈曲水晶振動素子、及び、その音叉型屈曲水晶振動素子を搭載した水晶振動子や水晶発振器を提供することにある。
【解決手段】振動腕部の表主面と裏主面のどちらか一方の主面又は両面に少なくとも１つ第１の凹部が形成されており、更に第１の凹部内部の底面に少なくとも１つ第２の凹部が形成されている音叉型屈曲水晶振動素子、及びその音叉型水晶振動素子を搭載した水晶振動子並びに水晶発振器。 （もっと読む）

【課題】 予定する振動周波数を得ることができる音叉型圧電振動子（２０）を製造することにある。
【解決手段】 音叉型圧電振動片（２０）は、表面と裏面とを有する基部（２９）と、この基部から所定方向に延びる一対の振動腕（２１）と、この一対の振動腕に形成された表裏面及び側面の励振電極（２３，２５）とを有する音叉型圧電振動片である。そして、振動腕の定常波の節（ｎｏｄｅ）の位置に、表裏面を貫通する第１貫通孔（４０）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動部に精度のよい形状で励振電極及び引き出し電極を形成する。
【解決手段】水晶基板２に、前記振動部２２と、この振動部２２を貫通溝３ａ，３ｂを介して取り囲む枠部２１とを支持部２３ａ，２３ｂを介して一体に形成するにあたり、前記水晶基板２における振動部２２の周囲に形成された前記貫通溝３ａ，３ｂは、前記振動部２２の側面における引き出し電極４１ａが形成される第１の領域３１の幅が、前記振動部２２の側面における引き出し電極４１ａが形成されない第２の領域３２の幅よりも大きくなるように形成する。前記振動部２２の側面における引き出し電極４１ａが形成されない第２の領域３２では、電極の材料となる導電性膜やレジスト膜が形成されにくいので、振動部２２の表面や裏面に合わせて露光を行うことにより、不要な部位のレジスト膜が現像処理により除去され、精度のよい形状で励振電極及び引き出し電極を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】小型で発振特性が良好な音叉型水晶振動子を提供する。
【解決手段】音叉型水晶振動子１は、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸の結晶軸を有する。音叉型水晶振動子１は、基部２と、基部２から延び、Ｘ軸方向で極性が逆の第１水晶片３Ａと第２水晶片３ＢとをＺ軸方向に直接接合した第１腕部４Ａ、第２腕部４Ｂと、Ｙ軸とＺ軸とがなす第１腕部４Ａ、第２腕部４Ｂそれぞれの主面に配置された励振電極５とを備える。基部２は、第１腕部４Ａの少なくとも一部と一体の第１部分２Ａと、第２腕部４Ｂの少なくとも一部と一体の第２部分２Ｂとを含み、第１部分２Ａと第２部分２Ｂとが、Ｚ軸方向に直接接合されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電極が狭ピッチ化されても端子のショート等の不具合を防止することを目的としている。
【解決手段】圧電振動片１は、基部１０と基部１０に支持された振動腕１８とを有する。振動腕１８に複数の励振電極２６が形成され、基部１０に樹脂突起４０が設けられ、複数の励振電極２６と電気的に接続するように樹脂突起４０に端子電極４２が形成されている。パッケージ４４は、その内部に複数の固定電極４６を有し、圧電振動片１を内部に収容する。圧電振動片１の基部１０及びパッケージ４４は、絶縁性の接着剤４８によって接着されている。複数の端子電極４２と複数の固定電極４６が対向して接触している。樹脂突起４０は、弾力性を有し、圧電振動片１とパッケージ４４の間で圧縮されている。 （もっと読む）