圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法
【課題】本発明は、連結部において引出電極の面積が広く形成された圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電振動片（１３０）は、第１方向に伸びる第１辺（１３８ａ）を含む矩形形状の励振部（１３１）と、励振部の第１主面に形成される第１励振電極（１３４ａ）及び第２主面に形成される第２励振電極と、リッド板に接合される面である第１接合面及びベース板に接合される面である第２接合面を有し励振部を囲む枠部（１３２）と、励振部の第１辺と枠部とを連結し、両主面と平行な平面と該平面に交差する側面とを有する一本の連結部（１３３）と、第１及び第２励振電極から連結部を介して枠部の第２接合面まで引き出される第１引出電極（１３５ａ）及び第２引出電極（１３５ｂ）と、を備え、第１引出電極が連結部の側面の少なくとも一部に形成されて枠部に引き出されている。
【解決手段】圧電振動片（１３０）は、第１方向に伸びる第１辺（１３８ａ）を含む矩形形状の励振部（１３１）と、励振部の第１主面に形成される第１励振電極（１３４ａ）及び第２主面に形成される第２励振電極と、リッド板に接合される面である第１接合面及びベース板に接合される面である第２接合面を有し励振部を囲む枠部（１３２）と、励振部の第１辺と枠部とを連結し、両主面と平行な平面と該平面に交差する側面とを有する一本の連結部（１３３）と、第１及び第２励振電極から連結部を介して枠部の第２接合面まで引き出される第１引出電極（１３５ａ）及び第２引出電極（１３５ｂ）と、を備え、第１引出電極が連結部の側面の少なくとも一部に形成されて枠部に引き出されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連結部において引出電極の面積が広く形成された圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定の振動数で振動する励振部を有する圧電振動片が知られている。このような圧電振動片は例えばパッケージ内に保持部材等により固着保持されることにより圧電デバイスが形成され、プリント基板などに実装されて用いられる。このような圧電振動片には、パッケージ化の際に生じる歪み等の応力により振動特性が変化する問題があった。
【０００３】
このような問題に対し、例えば特許文献１では、主振動を生じる振動部の外周をくり貫いてスリットとなした圧電振動子片を提案している。すなわち特許文献１の圧電振動子片は、振動部と、振動部を囲みパッケージに保持部材等により固着保持される端部と、振動部と端部とをつなぐ１本の連結部位と、により構成されている。特許文献１に開示される圧電振動子片では、保持部材で保持される箇所と振動部とが機械的に分離されているためパッケージ化の際に生じる歪みなどが振動部まで伝わりにくくなっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−２２６９６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような圧電振動片にはパッケージ化の際に生じる歪みなどの他にプリント基板にかかる曲げ応力などが伝わるため、圧電振動片には圧電デバイスがプリント基板に実装されている際にも常に応力を受ける可能性にさらされている。これらの応力は、連結部を１本にし、連結部の幅を細くすることにより振動部に応力を伝わりにくくすることができる。しかし、連結部位の幅が細くなると、連結部位における引出電極の形成面積が狭くなって引出電極の電気抵抗が上がり、圧電振動片のクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値が高くなってしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、連結部において引出電極の面積が広く形成された圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１観点の圧電振動片は、リッド板と外部電極を有するベース板とに挟まれて接合され、リッド板側の第１主面及びベース板側の第２主面を有する圧電振動片であって、第１方向に伸びる第１辺及び第１方向に直交する第２方向に伸びる第２辺を含む矩形形状の励振部と、励振部の第１主面に形成される第１励振電極及び第２主面に形成される第２励振電極と、リッド板に接合される面である第１接合面及びベース板に接合される面である第２接合面を有し励振部を囲む枠部と、励振部の第１辺と枠部とを連結し、両主面と平行な平面と該平面に交差する側面とを有する一本の連結部と、第１及び第２励振電極から連結部を介して枠部の第２接合面まで引き出される第１及び第２引出電極と、を備え、第１引出電極が連結部の側面の少なくとも一部に形成されて枠部に引き出されている。
【０００８】
第２観点の圧電振動片は、第１観点において、第１引出電極と第２引出電極とが連結部において平面の向かい合う方向及び側面の向かい合う方向に互いに重なり合わない。
【０００９】
第３観点の圧電振動片は、第２観点において、第１引出電極が連結部の側面、第１主面、及び第２主面に形成され、第２引出電極が連結部の第２主面のみに形成されている。
【００１０】
第４観点の圧電振動片は、第３観点において、連結部の第２主面に形成される第１引出電極の側面の向かい合う方向への幅が、連結部の第２主面に形成される第２引出電極の側面の向かい合う方向への幅よりも狭い。
【００１１】
第５観点の圧電振動片は、第１観点から第３観点において、第１引出電極が第１励振電極側の一端から第２接合面に延びる他端まで引き出される長さが第１長さであり、第２引出電極が第２励振電極側の一端から第２接合面に延びる他端まで引き出される長さが第２長さであり、第１長さは第２長さよりも短く、第１励振電極が前記第２励振電極より薄く、第１引出電極の一部が第２引出電極よりも薄い。
【００１２】
第６観点の圧電振動片は、第１観点から第５観点において、枠体の第１接合面に第１引出電極が形成され、連結部のリッド板側に形成される第１引出電極及び第２引出電極の合計面積が、連結部のベース板側に形成される第１引出電極及び第２引出電極の合計面積よりも狭い。
【００１３】
第７観点の圧電振動片は、第１観点から第６観点において、第１引出電極が励振部の第１辺の側面に形成される。
【００１４】
第８観点の圧電振動片は、第７観点において、第１引出電極が、両接合面と交差する枠部の側面に形成される。
【００１５】
第９観点の圧電振動片は、第５観点において、第１励振電極と第１引出電極とが接続する箇所の第１引出電極の幅が、第２励振電極と第２引出電極とが接続する箇所の第２引出電極の幅よりも広い。
【００１６】
第１０観点の圧電振動片は、第１観点から第９観点において、連結部が平面の向かい合う方向への厚さが第１厚さに形成され、励振部が第１辺の少なくとも一部を含んで連結部に平面の向かい合う方向に第１厚さで直接連結される第１領域と、第１及び第２励振電極が形成され第１領域以外の領域である第２領域と、を含み、第２領域の平面の向かい合う方向への厚さが第１領域の平面の向かい合う方向への厚さよりも薄い。
【００１７】
第１１観点の圧電振動片は、第１観点から第９観点において、連結部が平面の向かい合う方向への厚さが第１厚さに形成され、励振部が、第１辺の少なくとも一部を含んで連結部に平面の向かい合う方向に第１厚さで直接連結される第１領域と、第１及び第２励振電極が形成され平面の向かい合う方向への厚さが第２厚さである第３領域と、第１領域及び第３領域以外の領域であり第１領域と第３領域との間に形成され平面の向かい合う方向への厚さが第３厚さである第４領域と、を含み、第１厚さ及び第２厚さが第３厚さよりも厚く形成される。
【００１８】
第１２観点の圧電デバイスは、第１観点から第１１観点の圧電振動片と、リッド板と、ベース板と、に挟まれている。
【００１９】
第１３観点の圧電デバイスの製造方法は、第１主面及び第２主面を有し圧電材料により形成される圧電ウエハに、所定の振動数で振動する励振部、励振部を囲む枠部、及び励振部と枠部とを連結する一本の連結部を有する複数の圧電振動片の外形が形成される工程と、励振部の第１主面及び第２主面にそれぞれ形成される第１励振電極及び第２励振電極と、第１励振電極側の一端から連結部を介して枠部の第２接合面の他端まで引き出される長さが第１長さである電極であり、連結部の側面の少なくとも一部に形成される第１引出電極と、第２励振電極側の一端から連結部を介して枠部の前記第２接合面の他端まで引き出される長さが第１長さよりも長い第２長さである第２引出電極と、が形成される電極形成工程と、複数のリッド板が形成されたリッドウエハを用意する工程と、複数のベース板が形成されたベースウエハを用意する工程と、圧電ウエハの第２主面とベースウエハとを封止材を介して接合する工程と、圧電ウエハの第１主面に形成された第１励振電極に逆スパッタを行うことにより励振部の振動数を調整する工程と、圧電ウエハの第１主面とリッドウエハとを封止材を介して接合する工程と、を有する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法によれば、連結部において引出電極の面積を広く形成することによりＣＩ値の上昇を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】圧電デバイス１００の分解斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面の断面図である。
【図３】（ａ）は、圧電振動片１３０の平面図である。 （ｂ）は、図３（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】（ａ）は、電極が形成されていない圧電振動片１３０の平面図である。 （ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図５】圧電デバイス１００の製造方法が示されたフローチャートである。
【図６】（ａ）は、圧電振動片１３０の外形が形成された圧電ウエハＷ１３０の平面図である。 （ｂ）は、電極が形成された圧電ウエハＷ１３０の平面図である。
【図７】（ａ）は、ベースウエハＷ１２０の平面図である。 （ｂ）は、リッドウエハＷ１１０の平面図である。
【図８】（ａ）は、圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０との部分断面図である。 （ｂ）は、逆スパッタリングが行われた圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０との部分断面図である。 （ｃ）は、圧電ウエハＷ１３０、リッドウエハＷ１１０、及びベースウエハＷ１２０の部分断面図である。
【図９】圧電振動片２３０の平面図である。
【図１０】（ａ）は、圧電振動片３３０の平面図である。 （ｂ）は、＋Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片３３０の部分平面図である。 （ｃ）は、−Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片３３０の部分平面図である。
【図１１】（ａ）は、圧電振動片４３０の平面図である。 （ｂ）は、図１１（ａ）のＥ−Ｅ断面図である。
【図１２】（ａ）は、圧電振動片５３０の平面図である。 （ｂ）は、図１２（ａ）のＦ−Ｆ断面図である。
【図１３】（ａ）は、圧電振動片６３０の平面図である。 （ｂ）は、図１３（ａ）のＧ−Ｇ断面図である。 （ｃ）は、＋Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片６３０の部分平面図である。 （ｄ）は、−Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片６３０の部分平面図である。
【図１４】（ａ）は、圧電振動片７３０の平面図である。 （ｂ）は、図１４（ａ）のＨ−Ｈ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００２３】
（第１実施形態）
＜圧電デバイス１００の構成＞
図１は、圧電デバイス１００の分解斜視図である。圧電デバイス１００は、リッド板１１０と、ベース板１２０と、圧電振動片１３０と、により構成されている。圧電振動片１３０には例えばＡＴカットの水晶振動片が用いられる。ＡＴカットの水晶振動片は、主面（ＹＺ面）が結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、Ｘ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用いる。すなわち、圧電デバイス１００においては圧電デバイス１００の長辺方向をＸ軸方向、圧電デバイス１００の高さ方向をＹ’軸方向、Ｘ及びＹ’軸方向に垂直な方向をＺ’軸方向として説明する。
【００２４】
圧電振動片１３０は、所定の振動数で振動し矩形形状に形成された励振部１３１と、励振部１３１を囲む枠部１３２と、励振部１３１と枠部１３２とを連結する１本の連結部１３３と、により構成されている。励振部１３１と枠部１３２との間の連結部１３３以外の領域は、圧電振動片１３０をＹ’軸方向に貫通する貫通孔１３６となっている。圧電振動片１３０は、枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面である第１接合面１３２ａにおいてリッド板１１０に接合され、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面である第２接合面１３２ｂにおいてベース板１２０に接合される。励振部１３１の＋Ｙ’軸側の面には第１励振電極１３４ａが形成され、励振部１３１の−Ｙ’軸側の面には第２励振電極１３４ｂが形成されている。第１励振電極１３４ａからは連結部１３３の＋Ｚ’軸側の側面１３３ａを通り枠部１３２の第２接合面１３２ｂにまで第１引出電極１３５ａが引き出されており、第２励振電極１３４ｂからは連結部１３３の−Ｙ’軸側の面を通り枠部１３２の第２接合面１３２ｂにまで第２引出電極１３５ｂが引き出されている。
【００２５】
ベース板１２０は、圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側に配置される。ベース板１２０はＸ軸方向に長辺、Ｚ’軸方向に短辺を有する矩形形状に形成されている。ベース板１２０の−Ｙ’軸側の面には一対の実装端子１２４が形成されている。この実装端子１２４がハンダを介してプリント基板等に固定され電気的に接続されることにより、圧電デバイス１００がプリント基板等に実装される。また、ベース板１２０の四隅の側面にはキャスタレーション１２６が形成されており、キャスタレーション１２６にはキャスタレーション電極１２５が形成されている。ベース板１２０の＋Ｙ’軸側の面には凹部１２１が形成されており、凹部１２１の周りには接合面１２２が形成されている。また、接合面１２２の四隅でありキャスタレーション１２６の周りには接続電極１２３が形成されている。この接続電極１２３は、キャスタレーション１２６に形成されるキャスタレーション電極１２５を介して実装端子１２４に電気的に接続されている。ベース板１２０は、接合面１２２において封止材１４１（図２参照）を介して圧電振動片１３０の枠部１３２の第２接合面１３２ｂに接合される。また、接続電極１２３と圧電振動片１３０の第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂとが電気的に接続される。
【００２６】
リッド板１１０は、圧電振動片１３０の＋Ｙ’軸側に配置される。リッド板１１０の−Ｙ’軸側の面には凹部１１１が形成されており、凹部１１１の周りには接合面１１２が形成されている。リッド板１１０は、接合面１１２において封止材１４１（図２参照）を介して圧電振動片１３０の枠部１３２の第１接合面１３２ａに接合される。
【００２７】
図２は、図１のＡ−Ａ断面の断面図である。圧電デバイス１００は、圧電振動片１３０の枠部１３２の第１接合面１３２ａにリッド板１１０の接合面１１２が封止材１４１を介して接合され、枠部１３２の第２接合面１３２ｂにベース板１２０の接合面１２２が封止材１４１を介して接合されている。圧電振動片１３０とベース板１２０とが接合される際には、枠部１３２の第２接合面１３２ｂに形成されている第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂとベース板１２０の接合面１２２に形成されている接続電極１２３とが電気的に接続される。これにより第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂはそれぞれ、第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂ、接続電極１２３、及びキャスタレーション電極１２５を介して実装端子１２４に電気的に接続される。
【００２８】
図３（ａ）は、圧電振動片１３０の平面図である。圧電振動片１３０は、矩形形状に形成された励振部１３１と、励振部１３１を囲む枠部１３２と、励振部１３１と枠部１３２とを連結する１本の連結部１３３と、により構成されている。励振部１３１は、励振部１３１の短辺であり励振部１３１の−Ｘ軸側の辺である第１辺１３８ａと、励振部１３１の長辺であり励振部１３１の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の辺である第２辺１３８ｂと、を有している。連結部１３３は、励振部１３１の第１辺１３８ａの中央に連結され、そこから−Ｘ軸方向に伸びて枠部１３２に連結されている。また、励振部１３１と枠部１３２との間の連結部１３３以外の領域は、圧電振動片１３０をＹ’軸方向に貫通する貫通孔１３６となっている。励振部１３１には、連結部１３３に直接連結される領域である第１領域１３１ａと、第１領域１３１ａ以外の領域であり第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成されている第２領域１３１ｂと、に分けることができ、圧電振動片１３０では第１領域１３１ａが第２領域１３１ｂよりもＹ’軸方向に厚く形成されている。励振部１３１の＋Ｙ’軸側の面に形成されている第１励振電極１３４ａからは、第１領域１３１ａ、連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の側面１３３ａ、及び連結部１３３の−Ｙ’軸側の面を介し、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで第１引出電極１３５ａが引き出されている。また、励振部１３１ｂの−Ｙ’軸側の面に形成されている第２励振電極１３４ｂ（図２参照）からは、第１領域１３１ａ及び連結部１３３の−Ｙ’軸側の面を介して枠部１３２に第２引出電極１３５ｂが引き出され、第２引出電極１３５ｂはさらに枠部１３２の−Ｙ’軸側の面を−Ｚ’軸方向及び＋Ｘ軸方向に伸びて枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで引き出されている。第２引出電極１３５ｂは枠部１３２の＋Ｘ軸側まで引き出されているため、第２引出電極１３５ｂは第１引出電極１３５ａよりも、形成距離が長く形成されている。
【００２９】
図３（ｂ）は、図３（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。図３（ｂ）には、枠部１３２及び連結部１３３のＹ’−Ｚ’平面の断面図が示されている。励振部１３１の＋Ｙ’軸側に形成されている第１励振電極１３４ａから伸びる第１引出電極１３５ａは、連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面から側面１３３ａを介して連結部１３３の−Ｙ’軸側の面に引き出されており、第１引出電極１３５ａの連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面及び−Ｙ’軸側の面におけるＺ’軸方向の幅はそれぞれ幅Ｌ１に形成されている。また、励振部１３１の−Ｙ’軸側の面に形成されている第２励振電極１３４ｂから伸びる第２引出電極１３５ｂは、連結部１３３の−Ｙ’軸側の面を介して励振部１３１から枠部１３２へ引き出されるが、その連結部１３３におけるＺ’軸方向の幅は幅Ｌ１に形成されている。連結部１３３のＺ’軸方向の幅を幅ＲＺ１とすると、幅ＲＺ１は幅Ｌ１の２倍の値よりも大きい。第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂは、連結部１３３において互いにＺ’軸方向及びＹ’軸方向に向かい合わないように形成されている。
【００３０】
図４（ａ）は、電極が形成されていない圧電振動片１３０の平面図である。また、図４（ａ）では、参考のために、第１励振電極１３４ａが形成される領域が点線で囲まれて示されている。励振部１３１の第１辺１３８ａの長さは長さＬＺ１であり、第２辺１３８ｂは長さＬＸ１に形成されている。圧電振動片１３０では、第１辺１３８ａが励振部１３１の短辺であり第２辺１３８ｂが励振部１３１の長辺であるため、長さＬＺ１は長さＬＸ１よりも短い。また、圧電振動片１３０の枠部１３２の全体のＸ軸方向の長さを長さＷＸ１、Ｚ’軸方向の全体の長さを長さＷＺ１、Ｚ’軸方向に伸びる枠部１３２のＸ軸方向の長さを長さＷＸ２、Ｘ軸方向に伸びる枠部１３２のＺ’軸方向の長さを長さＷＺ２とする。圧電振動片１３０では、例えばこれらの各長さは、長さＬＺ１が１．０ｍｍ、長さＬＸ１が１．４ｍｍ、長さＷＸ１が２．０ｍｍ、長さＷＸ２が０．２ｍｍ、長さＷＺ１が１．６ｍｍ、長さＷＺ２が０．２ｍｍに形成される。また、圧電振動片１３０の連結部１３３のＺ’軸方向の長さを長さＲＺ１とすると、圧電振動片１３０では、例えば、長さＲＺ１が０．２ｍｍに形成される。
【００３１】
図４（ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。圧電振動片１３０は、枠部１３２のＹ’軸方向への厚さが厚さＴ１、連結部１３３及び励振部１３１の第１領域１３１ａのＹ’軸方向の厚さが厚さＴ２、励振部１３１の第２領域１３１ｂのＹ’軸方向の厚さが厚さＴ３に形成されている。圧電振動片１３０では、厚さＴ１は厚さＴ３よりも厚く形成されており、厚さＴ２は厚さＴ１以下であり厚さＴ３よりも大きい値となっている。そのため圧電振動片１３０では、例えば、厚さＴ１が８０μｍ、厚さＴ２が７０μｍ、厚さＴ３が４０μｍに形成される。
【００３２】
圧電振動片１３０では、図３（ｂ）に示されるように、第１引出電極１３５ａと第２引出電極１３５ｂとが連結部１３３においてＹ’軸、及びＺ’軸方向にそれぞれ向かい合わないように形成されている。そのため、連結部１３３において静電容量の発生が抑えられ、圧電振動片１３０のクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値の上昇が抑えられる。
【００３３】
＜圧電デバイス１００の製造方法＞
圧電デバイス１００の製造方法について、図５のフローチャートを参照して説明する。
【００３４】
図５は、圧電デバイス１００の製造方法が示されたフローチャートである。
ステップＳ１０１は、圧電ウエハＷ１３０に複数の圧電振動片１３０の外形が形成される。圧電ウエハＷ１３０は、圧電材料により形成されている。圧電振動片１３０の外形は、圧電ウエハＷ１３０に金属膜、及びフォトレジストを形成し、フォトレジストの露光、現像及び金属膜の除去を行うことにより圧電ウエハＷ１３０の一部を露出させ、圧電ウエハＷ１３０の露出した領域をエッチングすることにより形成される。
【００３５】
図６（ａ）は、圧電振動片１３０の外形が形成された圧電ウエハＷ１３０の平面図である。圧電ウエハＷ１３０には、複数の圧電振動片１３０の外形が形成されている。図６（ａ）に示されている圧電ウエハＷ１３０には、後述のステップＳ１０８でウエハが切断される箇所を示すスクライブライン１４２が２点鎖線で示されている。圧電ウエハＷ１３０に示されている各圧電振動片１３０は、このスクライブライン１４２に囲まれて示されている。図６（ａ）に示される圧電ウエハＷ１３０では、励振部１３１、連結部１３３、及び貫通孔１３６が、圧電ウエハＷ１３０がエッチングされることにより形成されている。
【００３６】
ステップＳ１０２では、圧電ウエハＷ１３０に電極が形成される。ステップＳ１０２では、圧電ウエハＷ１３０に形成されている各圧電振動片１３０に、第１励振電極１３４ａ、第２励振電極、第１引出電極１３５ａ、及び第２引出電極１３５ｂが形成される。これらの電極は、例えば、圧電ウエハＷ１３０にクロム（Ｃｒ）層が形成され、クロム層の表面に金（Ａｕ）層を蒸着することにより形成される。
【００３７】
図６（ｂ）は、電極が形成された圧電ウエハＷ１３０の平面図である。図６（ｂ）では、各圧電振動片１３０に、第１励振電極１３４ａ、第１引出電極１３５ａ、及び第２引出電極１３５ｂが形成されている状態が示されている。これらの電極は、圧電ウエハＷ１３０の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に、マスク（不図示）を介してクロム（Ｃｒ）層及び金（Ａｕ）層を蒸着することにより形成される。
【００３８】
ステップＳ１０３では、ベースウエハＷ１２０が用意される。ベースウエハＷ１２０には複数のベース板１２０が形成される。ベースウエハＷ１２０には、まず、エッチングにより凹部１２１及び後にキャスタレーション１２６となる貫通溝１２６ａ（図７（ａ）参照）が形成され、その後、接続電極１２３、キャスタレーション電極１２５、及び実装端子１２４等の電極が形成される。
【００３９】
図７（ａ）は、ベースウエハＷ１２０の平面図である。図７（ａ）では、２点鎖線でスクライブライン１４２が示されており、ベースウエハＷ１２０に形成される各ベース板１２０は、スクライブライン１４２に囲まれて形成されている。また、ベースウエハＷ１２０のＸ軸方向に伸びるスクライブライン１４２とＺ’軸方向に伸びるスクライブライン１４２との交点には、ベースウエハＷ１２０をＹ’軸方向に貫通し、ウエハが切断された後にキャスタレーション１２６となる貫通溝１２６ａが形成されている。ベースウエハＷ１２０では、まずエッチングにより凹部１２１及び貫通溝１２６ａが形成される。その後、例えばクロム層及び金層により、実装端子１２４、貫通溝１２６ａに形成されるキャスタレーション電極１２５、及び＋Ｙ’軸側の面の貫通溝１２６ａの周りに接続電極１２３が形成される。
【００４０】
ステップＳ１０４では、リッドウエハＷ１１０が用意される。リッドウエハＷ１１０には複数のリッド板１１０が形成される。リッドウエハＷ１１０に形成される各リッド板１１０は、エッチングにより凹部１１１が形成されることにより形成される。
【００４１】
図７（ｂ）は、リッドウエハＷ１１０の平面図である。図７（ｂ）では、２点鎖線でスクライブライン１４２が示されており、リッドウエハＷ１１０に形成される各リッド板１１０は、スクライブライン１４２に囲まれて形成されている。各リッド板１１０は、リッドウエハＷ１１０の−Ｙ’軸側の面に凹部１１１をエッチングにより形成することにより形成される。
【００４２】
ステップＳ１０５では、圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０とが接合される。ステップＳ１０５では、例えばベースウエハＷ１２０の接合面１２２に封止材１４１（図８（ａ）参照）が形成され、圧電ウエハＷ１３０の第２接合面１３２ｂとベースウエハＷ１２０の接合面１２２とが接合される。また、同時に第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂと接続電極１２３とが電気的に接続される。
【００４３】
図８（ａ）は、圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０との部分断面図である。図８（ａ）では、図６（ｂ）及び図７（ａ）のＤ−Ｄ断面の断面図が示されている。ベースウエハＷ１２０の接合面１２２と圧電ウエハＷ１３０の第２接合面１３２ｂとは、封止材１４１により互いに接合される。また、圧電ウエハＷ１３０の第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂと、ベースウエハＷ１２０の接続電極１２３とが電気的に接続されている。
【００４４】
ステップＳ１０６では、励振部１３１の振動数が調整される。励振部１３１の振動数の調整は、励振部１３１の＋Ｙ’軸側の面に形成される第１励振電極１３４ａの逆スパッタリングをすることにより行われる。
【００４５】
図８（ｂ）は、逆スパッタリングが行われた圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０との部分断面図である。図８（ｂ）では、図６（ｂ）及び図７（ａ）のＤ−Ｄ断面の断面図が示されている。励振部１３１の振動数の調整は、励振部１３１の＋Ｙ’軸側の面に形成されている第１励振電極１３４ａの厚さを逆スパッタリングして薄くすることにより調整される。逆スパッタリングは、第１励振電極１３４ａ及びその周辺以外の領域をマスク１４３で覆い、励振部１３１に電圧をかけてガスイオンを第１励振電極１３４ａに衝突させることにより第１励振電極１３４ａの厚さを薄くする。図８（ｂ）では、ガスイオンを第１励振電極１３４ａに衝突させる方向が白抜き矢印１４４により示されている。逆スパッタリング前の第１励振電極１３４ａの厚さを厚さＲＹ１とし（図８（ａ）参照）、逆スパッタリング後の励振部１３１の第１励振電極１３４ａの厚さを厚さＲＹ２とすると、厚さＲＹ２は厚さＲＹ１よりも薄くなっている。また、逆スパッタリング前の第１励振電極１３４ａの厚さが第２励振電極１３４ｂの厚さと同じ厚さに形成された場合は、逆スパッタリング後の第１励振電極１３４ａの厚さは第２励振電極１３４ｂの厚さよりも薄くなる。さらに、マスク１４３のずれ等により、逆スパッタリング前の第１引出電極１３５ａの厚さが第２引出電極１３５ｂの厚さと同じ厚さに形成された場合は、逆スパッタリング後の第１引出電極１３５ａの厚さは第２引出電極１３５ｂの厚さよりも薄くなる場合がある。
【００４６】
ステップＳ１０７では、圧電ウエハＷ１３０とリッドウエハＷ１１０とが接合される。ステップＳ１０７では、例えば圧電ウエハＷ１３０の第１接合面１３２ａに封止材１４１（図８（ｃ）参照）が形成され、圧電ウエハＷ１３０の第１接合面１３２ａとリッドウエハＷ１１０の接合面１１２とが接合される。
【００４７】
図８（ｃ）は、圧電ウエハＷ１３０、リッドウエハＷ１１０、及びベースウエハＷ１２０の部分断面図である。図８（ｃ）では、図６（ｂ）、図７（ａ）、及び図７（ｂ）のＤ−Ｄ断面の断面図が示されている。リッドウエハＷ１１０の接合面１１２と圧電ウエハＷ１３０の第１接合面１３２ａとは、封止材１４１により互いに接合されている。これにより、互いに接合された圧電ウエハＷ１３０、リッドウエハＷ１１０、及びベースウエハＷ１２０に複数の圧電デバイス１００が形成される。
【００４８】
ステップＳ１０８では、ウエハが切断される。ステップＳ１０８では、スクライブライン１４２に沿って、互いに接合された圧電ウエハＷ１３０、リッドウエハＷ１１０、及びベースウエハＷ１２０が切断される。これにより、各圧電デバイス１００がウエハから切り離される。
【００４９】
図５のフローチャートで示された圧電デバイス１００の製造方法では、ステップＳ１０６において第１励振電極１３４ａの逆スパッタリングが行われる。逆スパッタリングでは、圧電ウエハＷ１３０にマスク１４３がかけられるが、このマスク１４３は、ずれを考慮して第１励振電極１３４ａの範囲よりも広い範囲に開口が形成されている。そのため、圧電振動片１３０の＋Ｙ’軸側に形成される引出電極も逆スパッタリングにより薄くなる場合がある。圧電振動片１３０では第１引出電極１３５ａが＋Ｙ’軸側に形成されているが、第１引出電極１３５ａは第１励振電極１３４ａから第２接合面１３２ｂまで引き出される長さが短く形成されるため全体の電気抵抗が小さく、逆スパッタリングにより薄く形成されることによる第１引出電極１３５ａの電気抵抗の増加の影響が小さい。また第１励振電極１３５ａは、第１引出電極１３５ａが、連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面、−Ｙ’軸側の面、及び側面１３３ａに形成されており、逆スパッタリングの影響は連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面に形成されている第１引出電極１３５ａが受けるのみであり、連結部１３３の−Ｙ’軸側の面及び側面１３３ａに形成されている第１引出電極１３５ａは逆スパッタリングの影響を受けない。さらに、第２励振電極１３４ｂから第２接合面１３２ｂまで引き出される長さが長く形成されるため電気抵抗が第１引出電極１３５ａよりも大きい第２引出電極１３５ｂは、圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面に形成されているため逆スパッタリングの影響を受けない。これらのことにより、圧電振動片１３０では、逆スパッタリングによる第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂへの影響が抑えられ、圧電振動片１３０のクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値の上昇が抑えられる。
【００５０】
（第２実施形態）
圧電振動片は、逆スパッタリングにより第１引出電極の厚さが薄くなり、電気抵抗が上昇してしまう可能性がある。特に、第１励振電極の近くに形成される第１引出電極は、逆スパッタリングにより厚さが薄くなる可能性がある。そのため、第１励振電極の近くに形成される第１引出電極の面積を広く形成しておいてもよい。以下に、第１励振電極の近くの第１引出電極の面積が広く形成された圧電振動片２３０について説明する、また、以下の説明では、圧電振動片１３０と同じ部分には圧電振動片１３０と同じ符号を付してその説明を省略する。
【００５１】
＜圧電振動片２３０の構成＞
図９は、圧電振動片２３０の平面図である。圧電振動片２３０は、励振部１３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。圧電振動片２３０では、励振部１３１の＋Ｙ’軸側の面に第１励振電極１３４ａ及び第１励振電極１３４ａから引き出されている第１引出電極２３５ａが形成されている。第１引出電極２３５ａは、第１引出電極１３５ａ（図３（ａ）参照）と、電極２３５とが組み合わせられた引出電極である。電極２３５は、励振部１３１の＋Ｙ’軸側の面に、第１引出電極１３５ａの＋Ｚ’軸側であり第１励振電極１３４ａと第１引出電極１３５ａとに接する領域に形成されている電極である。電極２３５は第２引出電極１３５ｂにＹ’軸方向に重ならない位置に形成されている。また、第１引出電極２３５ａと第１励振電極１３４ａとが接続される箇所のＺ’軸方向の幅ＨＺ１は、第２引出電極１３５ｂと第２励振電極１３４ｂとが接続される箇所のＺ’軸方向の幅ＨＺ２よりも広く形成されている。
【００５２】
圧電振動片では、逆スパッタリングにより第１励振電極の近くに形成される第１引出電極の厚さが薄くなり、電気抵抗が高くなる可能性がある。圧電振動片２３０では、第１引出電極２３５ａが電極２３５を含んでいることにより、第１励振電極１３４ａの近くの第１引出電極２３５ａの面積が広く形成されていることになる。そのため、逆スパッタリングにより第１励振電極１３４ａの近くの第１引出電極２３５ａの厚さが薄くなったとしても、第１励振電極１３４ａの近くの第１引出電極２３５ａの面積が広く形成されていることにより第１引出電極２３５ａの電気抵抗の上昇を抑えることができる。
【００５３】
（第３実施形態）
圧電振動片では、＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面に第１引出電極が引き出される場合に、圧電振動片の側面を経由する。しかし圧電振動片の側面の電極は厚く形成することができないため、第１引出電極の電気抵抗が上昇してしまう場合がある。そのため、圧電振動片の側面に形成される電極の幅を広く形成してもよい。以下に、圧電振動片の側面に形成される第１引出電極の幅が広く形成された圧電振動片について説明する。
【００５４】
＜圧電振動片３３０の構成＞
図１０（ａ）は、圧電振動片３３０の平面図である。圧電振動片３３０は、励振部１３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。また、励振部１３１には、励振部１３１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成され、第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂからはそれぞれ第１引出電極３３５ａ及び第２引出電極１３５ｂが引き出されている。第１引出電極３３５ａは、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の側面１３３ａ、側面１３３ａに交差する枠部１３２の側面、及び側面１３３ａに交差する第１辺１３８ａの側面に形成される電極である側面電極３３５を含んでいる。側面電極３３５は、貫通孔１３６の側面であり、連結部１３３の＋Ｚ’軸側に形成されている。
【００５５】
図１０（ｂ）は、＋Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片３３０の部分平面図である。図１０（ｂ）では、圧電振動片３３０の−Ｘ軸側の半分の平面図が示されている。第１引出電極３３５ａは、＋Ｙ’軸側の面では、第１励振電極１３４ａから連結部１３３の側面１３３ａ、第１辺１３８ａ、及び枠部１３２の連結部１３３に連結される側面まで引き出されている。また、第１引出電極１３５ａは、第２引出電極１３５ｂにＹ’軸方向に重ならないように、圧電振動片３３０の＋Ｚ’軸側の半分のみに形成されている。＋Ｙ’軸側の面に形成されている第１引出電極３３５ａは、側面電極３３５に電気的に接続されて＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面に引き出される。
【００５６】
図１０（ｃ）は、−Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片３３０の部分平面図である。図１０（ｃ）では、圧電振動片３３０の−Ｘ軸側の半分の平面図が示されている。第１引出電極３３５ａは、圧電振動片３３０の−Ｙ’軸側の面において、側面電極３３５から、励振部１３１の第１辺１３８ａ、連結部１３３の側面１３３ａに接する辺、及び枠部１３２の連結部１３３に連結される辺を介し、さらにそこから枠部１３２の＋Ｚ’軸側の−Ｘ軸側の角部にまで引き出されている。
【００５７】
圧電振動片３３０では、第１引出電極３３５ａが側面電極３３５を介して＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面に引き出されている。側面電極３３５は、連結部１３３の側面１３３ａ、第１辺１３８ａの側面、及び枠部１３２の側面を含んでおり、Ｘ−Ｚ’平面内における側面電極３３５の長さが長い。すなわち、側面電極３３５の幅は広く形成されており、側面電極３３５の厚さが薄く形成されることに起因する第１引出電極３３５ａの電気抵抗の上昇が防がれる。また、図１０（ｂ）に示されるように圧電振動片３３０の＋Ｙ’軸側の面に形成される第１引出電極３３５ａは圧電振動片３３０の＋Ｚ’軸側に伸びて形成されている。そのため、＋Ｙ’軸側の面に形成される第１引出電極３３５ａが＋Ｚ’軸方向又は−Ｚ’軸方向のどちらに伸びているかを確認することにより、圧電振動片３３０の＋Ｙ’軸側の面又は−Ｙ’軸側の面の判別をすることができる。
【００５８】
＜圧電振動片４３０の構成＞
図１１（ａ）は、圧電振動片４３０の平面図である。圧電振動片４３０は、励振部１３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。また、励振部１３１には、励振部１３１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成され、第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂからはそれぞれ第１引出電極４３５ａ及び第２引出電極４３５ｂが引き出されている。第１引出電極４３５ａは、第１励振電極１３４ａから＋Ｙ’軸側の面の側面電極３３５の周りまで引き出され、側面電極３３５を介して−Ｙ’軸側の面に引き出されている。さらに第１引出電極４３５ａは、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで引き出されている。第２引出電極４３５ｂは、第２励振電極１３４ａから連結部１３３を通り、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで形成されている。
【００５９】
図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＥ−Ｅ断面図である。圧電振動片４３０では、連結部１３３に形成される第１引出電極４３５ａの＋Ｙ’軸側の面のＺ’軸方向の幅が幅Ｌ２に形成され、−Ｙ’軸側の面のＺ’軸方向の幅が幅Ｌ２に形成されている。また、連結部１３３に形成される第２引出電極４３５ｂのＺ’軸方向の幅は、幅Ｌ２よりも大きい幅Ｌ３に形成されている。さらに圧電振動片４３０では、連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面に形成されている電極は第１引出電極４３５ａのみであり、−Ｙ’軸側の面に形成されている電極は第１引出電極４３５ａ及び第２引出電極４３５ｂである。すなわち、連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面に形成されている電極の面積は、連結部１３３の−Ｙ’軸側の面に形成されている電極の面積よりも小さい。
【００６０】
圧電振動片の連結部のＺ’軸方向の幅が細く形成される場合、連結部に形成される引出電極の面積も小さくなる。またこのとき、圧電振動片に逆スパッタリングを行う場合、連結部の＋Ｙ’軸側の面に形成される引出電極の電気抵抗が上昇する。圧電振動片４３０では連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面に形成されている電極の面積が小さく形成されているため、逆スパッタリングによる影響を受けにくい。また、第１引出電極４３５ａは連結部１３３の側面にも形成されていることにより、連結部１３３における面積が確保されている。
【００６１】
＜圧電振動片５３０の構成＞
図１２（ａ）は、圧電振動片５３０の平面図である。圧電振動片５３０は、励振部１３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。また、励振部１３１には、励振部１３１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成され、第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂからはそれぞれ第１引出電極５３５ａ及び第２引出電極５３５ｂが引き出されている。第１引出電極５３５ａは、圧電振動片５３０の＋Ｙ’軸側の面では、第１励振電極１３４ａから−Ｘ軸方向に伸び、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の辺、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面する辺、及び枠部１３２の貫通孔１３６に−Ｚ’軸方向に面した辺、に引き出されている。さらに第１引出電極５３５ａは貫通孔１３６の側面に形成された側面電極５３９ａを介して−Ｙ’軸側の面に引き出されて枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで伸びている。側面電極５３９ａは、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の側面１３３ａ、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面した側面の連結部１３３より＋Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に−Ｚ’軸方向に面した側面の−Ｘ軸側、に形成されている。また、第２引出電極５３５ｂは、第２励振電極１３４ｂから−Ｘ軸方向に伸び、連結部１３３を通って枠部１３２に引き出され、さらに枠部１３２を−Ｚ’軸方向及び＋Ｘ軸方向に伸びて、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで形成されている。第２引出電極５３５ｂは、さらに、側面電極５３９ｂ及び圧電振動片５３０の＋Ｙ’軸側の面の側面電極５３９ｂの周囲にも形成されている。側面電極５３９ｂは連結部１３３の−Ｚ’軸側の側面１３３ｂ、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面した側面の連結部１３３より−Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｚ’軸方向に面した側面の−Ｘ軸側、に形成されている。また、圧電振動片５３０の＋Ｙ’軸側の面に形成される第２引出電極５３９ｂは、連結部１３３の−Ｚ’軸側の辺、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面した辺の−Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｚ’軸方向に面した辺の−Ｘ軸側、に沿って形成されている。
【００６２】
図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のＦ−Ｆ断面図である。第１引出電極５３５ａ及び第２引出電極５３５ｂは、それぞれ連結部１３３の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面と、連結部１３３の側面１３３ａ及び側面１３３ｂとに形成されている。また、第１引出電極５３５ａ及び第２引出電極５３５ｂは、それぞれ枠部１３２の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面と、枠部１３２の貫通孔１３６側の側面と、に形成されている。さらに、第１引出電極５３５ａ及び第２引出電極５３５ｂは、連結部１３３においてＹ’軸方向に互いに重なっていない。
【００６３】
圧電振動片５３０は、第１引出電極５３５ａ及び第２引出電極５３５ｂが連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面、−Ｙ’軸側の面、及び側面、に形成されていることにより、連結部１３３における第１引出電極５３５ａ及び第２引出電極５３５ｂの面積が広く形成されている。そのため、連結部１３３のＺ’軸方向の幅が狭く形成された場合でも、引出電極の面積が狭くなることによる電気抵抗の上昇を最小限に抑えることができる。
【００６４】
＜圧電振動片６３０の構成＞
図１３（ａ）は、圧電振動片６３０の平面図である。圧電振動片６３０は、励振部６３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。励振部６３１は、第１辺１３８ａ及び第２辺１３８ｂを含む矩形形状に形成されている。また、励振部１３１には、連結部１３３に直接連結される領域である第１領域１３１ａと、第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成される領域である第３領域１３１ｃと、第１領域１３１ａ及び第３領域１３１ｃ以外の領域であり第１領域１３１ａと第３領域１３１ｃとの間に形成される第４領域１３１ｄと、に分けることができる。圧電振動片６３０は第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成されている第３領域１３１ｃが、第３領域１３１ｃを囲んでいる第４領域１３１ｄよりもＹ’軸方向に厚く形成されているメサ型の圧電振動片である。また、励振部６３１の第３領域１３１ｃに形成される第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂからは、それぞれ第１引出電極６３５ａ及び第２引出電極６３５ｂが枠部１３２に引き出されて形成されている。
【００６５】
図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＧ−Ｇ断面図である。圧電振動片６３０は、例えば励振部６３１の第３領域１３１ｃのＹ’軸方向の厚さが厚さＴ２に形成され、第４領域１３１ｄのＹ’軸方向の厚さが厚さＴ３に形成される。また、連結部１３２、枠部１３２、及び第１領域１３１ａのＹ’軸方向の厚さは、図４（ｂ）に示された圧電振動片１３０と同様に、それぞれ厚さＴ２、厚さＴ１、及び厚さＴ２に形成されている。
【００６６】
図１３（ｃ）は、＋Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片６３０の部分平面図である。図１３（ｃ）では、圧電振動片６３０の−Ｘ軸側の半分の平面図が示されている。第１引出電極６３５ａは、＋Ｙ’軸側の面では、第１励振電極１３４ａから引き出され、連結部１３３の側面１３３ａ、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の第１辺１３８ａ及び−Ｘ軸側の第２辺１３８ｂ、枠部１３２の貫通孔１３６に面した＋Ｘ軸側の辺の連結部１３３の＋Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に−Ｚ’軸方向に面した辺の−Ｘ軸側、に沿って形成されている。また、第２引出電極６３５ｂは、連結部１３３の側面１３３ｂ、連結部１３３の−Ｚ’軸側の第１辺１３８ａ及び−Ｘ軸側の第２辺１３８ｂ、枠部１３２の貫通孔１３６に面した＋Ｘ軸側の辺の連結部１３３の−Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に面した＋Ｚ’軸側の辺の−Ｘ軸側、に沿って形成されており、側面電極６３９ｂに接続されている。圧電振動片６３０の＋Ｙ’軸側の面に形成されている第１引出電極６３５ａは、貫通孔１３６の側面に形成される側面電極６３９ａを介して−Ｙ’軸側の面に引き出されている。側面電極６３９ａは、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の側面１３３ａ、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の第１辺１３８ａ及び第２辺１３８ｂの−Ｘ軸側、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面した側面の連結部１３３より＋Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に−Ｚ’軸方向に面した側面の−Ｘ軸側、に形成されている。側面電極６３９ｂは、連結部１３３の−Ｚ’軸側の側面１３３ｂ、連結部１３３の−Ｚ’軸側の第１辺１３８ａ及び第２辺１３８ｂの−Ｘ軸側、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面した側面の連結部１３３より−Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｚ’軸方向に面した側面の−Ｘ軸側、に形成されている。
【００６７】
図１３（ｄ）は、−Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片６３０の部分平面図である。図１３（ｄ）では、圧電振動片６３０の−Ｘ軸側の半分の平面図が示されている。第１引出電極６３５ａは、−Ｙ’軸側の面では、側面電極６３９ａから圧電振動片６３０の−Ｙ’軸側の面の側面電極６３９ａの周りに引き出され、さらに、枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで引き出されている。また、第２引出電極６３９ｂは、第２励振電極１３４ｂから−Ｘ軸方向に伸びて枠部１３２に引き出され、−Ｚ’軸方向及び＋Ｘ軸方向に伸びて、枠部１３２の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで引き出されている。第２引出電極６３９ｂはまた、−Ｙ’軸側の面の側面電極６３９ｂの周りに引き出され、側面電極６３９ｂを介して＋Ｙ’軸側に形成されている第２引出電極６３５ｂに電気的に接続されている。
【００６８】
圧電振動片６３０は、側面電極の面積が広く形成されていることにより、連結部１３３のＺ’軸方向の幅が狭く形成された場合でも連結部１３３に形成される引出電極の面積が狭くなることによる電気抵抗の上昇を最小限に抑えることができるとともに、電極の厚さが薄くなり電気抵抗が高くなりがちな側面電極の電気抵抗の上昇を抑えることができる。
【００６９】
＜圧電振動片７３０の構成＞
図１４（ａ）は、圧電振動片７３０の平面図である。圧電振動片７３０は、励振部１３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。また、励振部１３１には、励振部１３１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成され、第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂからはそれぞれ第１引出電極７３５ａ及び第２引出電極７３５ｂが引き出されている。第１引出電極７３５ａは、第１励振電極１３４ａから、枠部１３２の貫通孔１３６に面する−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで引き出され、さらに枠部１３２の貫通孔１３６に面する−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部を含む側面に形成される側面電極７３９ｃを介して−Ｙ’軸側の面に引き出され、枠部１３２の＋Ｚ’軸側の−Ｘ軸側の角部にまで伸びている。第２引出電極７３５ｂは、第２励振電極１３４ｂから連結部１３３を介して枠部１３２へ伸び、さらに、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面を−Ｚ’軸方向及び＋Ｘ軸方向に伸びて、枠部１３２の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで形成されている。また、第１引出電極７３５ａ及び第２引出電極７３５ｂは、それぞれ連結部１３３の側面１３３ａ及び側面１３３ｂに形成される側面電極７３９ａ及び側面電極７３９ｂを含んでいる。
【００７０】
図１４（ｂ）は、図１４（ａ）のＨ−Ｈ断面図である。第１引出電極７３５ａ及び第２引出電極７３５ｂは、それぞれ連結部１３３に、側面電極７３９ａ及び側面電極７３９ｂを有している。側面電極７３９ａは、連結部１３３の側面１３３ａの＋Ｙ’軸側の半分に形成され、側面電極７３９ｂは、連結部１３３の側面１３３ｂの−Ｙ’軸側の半分に形成されている。また、第１引出電極７３５ａ及び第２引出電極７３５ｂは、連結部１３３においてＹ’軸方向及びＺ’軸方向に互いに重ならない。
【００７１】
圧電振動片７３０では、連結部１３３に形成されている第１引出電極７３５ａ及び第２引出電極７３５ｂは、連結部において互いにＹ’軸方向、Ｚ’軸方向には重なっていない。そのため、圧電振動片７３０では、連結部１３３において第１励振電極７３５ａと第２励振電極７３５ｂとにより静電容量が発生しない。また、第１引出電極７３５ａ及び第２引出電極７３５ｂは連結部１３３の側面にも電極が形成されることにより、連結部１３３に形成される面積が広くなっており好ましい。
【００７２】
以上、本発明の最適な実施例について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施例に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【００７３】
例えば、圧電振動片６３０のみをメサ型の圧電振動片として説明したが、その他の圧電振動片に関してもメサ型の圧電振動片として形成してもよい。
【００７４】
また、上記の実施形態では圧電振動片がＡＴカットの水晶振動片である場合を示したが、同じように厚みすべりモードで振動するＢＴカットなどであっても同様に適用できる。さらに圧電振動片は水晶材料のみならず、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムあるいは圧電セラミックを含む圧電材料に基本的に適用できる。
【符号の説明】
【００７５】
１００ … 圧電デバイス
１１０ … リッド板
１１１、１２１ … 凹部
１１２、１２２ … 接合面
１２０ … ベース板
１２３ … 接続電極
１２４ … 実装端子
１２５ … キャスタレーション電極
１２６ … キャスタレーション
１２６ａ … 貫通溝
１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０ … 圧電振動片
１３１、６３１ … 励振部
１３１ａ … 第１領域
１３１ｂ … 第２領域
１３１ｃ … 第３領域
１３１ｄ … 第４領域
１３２ … 枠部
１３２ａ … 第１接合面
１３２ｂ … 第２接合面
１３３ … 連結部
１３３ａ … 連結部の＋Ｚ’軸側の側面
１３３ｂ … 連結部の−Ｚ’軸側の側面
１３４ａ … 第１励振電極
１３４ｂ … 第２励振電極
１３５ａ、２３５ａ、３３５ａ、４３５ａ、５３５ａ、６３５ａ、７３５ａ … 第１引出電極
１３５ｂ、４３５ｂ、５３５ｂ、６３５ｂ、７３５ｂ … 第２引出電極
１３６ … 貫通孔
１３８ａ … 第１辺
１３８ｂ … 第２辺
１４１ … 封止材
１４２ … スクライブライン
１４３ … マスク
３３５、５３９ａ、５３９ｂ、６３９ａ、６３９ｂ、７３９ａ、７３９ｂ、７３９ｃ … 側面電極
Ｗ１１０ … リッドウエハ
Ｗ１２０ … ベースウエハ
Ｗ１３０ … 圧電ウエハ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連結部において引出電極の面積が広く形成された圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定の振動数で振動する励振部を有する圧電振動片が知られている。このような圧電振動片は例えばパッケージ内に保持部材等により固着保持されることにより圧電デバイスが形成され、プリント基板などに実装されて用いられる。このような圧電振動片には、パッケージ化の際に生じる歪み等の応力により振動特性が変化する問題があった。
【０００３】
このような問題に対し、例えば特許文献１では、主振動を生じる振動部の外周をくり貫いてスリットとなした圧電振動子片を提案している。すなわち特許文献１の圧電振動子片は、振動部と、振動部を囲みパッケージに保持部材等により固着保持される端部と、振動部と端部とをつなぐ１本の連結部位と、により構成されている。特許文献１に開示される圧電振動子片では、保持部材で保持される箇所と振動部とが機械的に分離されているためパッケージ化の際に生じる歪みなどが振動部まで伝わりにくくなっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−２２６９６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような圧電振動片にはパッケージ化の際に生じる歪みなどの他にプリント基板にかかる曲げ応力などが伝わるため、圧電振動片には圧電デバイスがプリント基板に実装されている際にも常に応力を受ける可能性にさらされている。これらの応力は、連結部を１本にし、連結部の幅を細くすることにより振動部に応力を伝わりにくくすることができる。しかし、連結部位の幅が細くなると、連結部位における引出電極の形成面積が狭くなって引出電極の電気抵抗が上がり、圧電振動片のクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値が高くなってしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、連結部において引出電極の面積が広く形成された圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１観点の圧電振動片は、リッド板と外部電極を有するベース板とに挟まれて接合され、リッド板側の第１主面及びベース板側の第２主面を有する圧電振動片であって、第１方向に伸びる第１辺及び第１方向に直交する第２方向に伸びる第２辺を含む矩形形状の励振部と、励振部の第１主面に形成される第１励振電極及び第２主面に形成される第２励振電極と、リッド板に接合される面である第１接合面及びベース板に接合される面である第２接合面を有し励振部を囲む枠部と、励振部の第１辺と枠部とを連結し、両主面と平行な平面と該平面に交差する側面とを有する一本の連結部と、第１及び第２励振電極から連結部を介して枠部の第２接合面まで引き出される第１及び第２引出電極と、を備え、第１引出電極が連結部の側面の少なくとも一部に形成されて枠部に引き出されている。
【０００８】
第２観点の圧電振動片は、第１観点において、第１引出電極と第２引出電極とが連結部において平面の向かい合う方向及び側面の向かい合う方向に互いに重なり合わない。
【０００９】
第３観点の圧電振動片は、第２観点において、第１引出電極が連結部の側面、第１主面、及び第２主面に形成され、第２引出電極が連結部の第２主面のみに形成されている。
【００１０】
第４観点の圧電振動片は、第３観点において、連結部の第２主面に形成される第１引出電極の側面の向かい合う方向への幅が、連結部の第２主面に形成される第２引出電極の側面の向かい合う方向への幅よりも狭い。
【００１１】
第５観点の圧電振動片は、第１観点から第３観点において、第１引出電極が第１励振電極側の一端から第２接合面に延びる他端まで引き出される長さが第１長さであり、第２引出電極が第２励振電極側の一端から第２接合面に延びる他端まで引き出される長さが第２長さであり、第１長さは第２長さよりも短く、第１励振電極が前記第２励振電極より薄く、第１引出電極の一部が第２引出電極よりも薄い。
【００１２】
第６観点の圧電振動片は、第１観点から第５観点において、枠体の第１接合面に第１引出電極が形成され、連結部のリッド板側に形成される第１引出電極及び第２引出電極の合計面積が、連結部のベース板側に形成される第１引出電極及び第２引出電極の合計面積よりも狭い。
【００１３】
第７観点の圧電振動片は、第１観点から第６観点において、第１引出電極が励振部の第１辺の側面に形成される。
【００１４】
第８観点の圧電振動片は、第７観点において、第１引出電極が、両接合面と交差する枠部の側面に形成される。
【００１５】
第９観点の圧電振動片は、第５観点において、第１励振電極と第１引出電極とが接続する箇所の第１引出電極の幅が、第２励振電極と第２引出電極とが接続する箇所の第２引出電極の幅よりも広い。
【００１６】
第１０観点の圧電振動片は、第１観点から第９観点において、連結部が平面の向かい合う方向への厚さが第１厚さに形成され、励振部が第１辺の少なくとも一部を含んで連結部に平面の向かい合う方向に第１厚さで直接連結される第１領域と、第１及び第２励振電極が形成され第１領域以外の領域である第２領域と、を含み、第２領域の平面の向かい合う方向への厚さが第１領域の平面の向かい合う方向への厚さよりも薄い。
【００１７】
第１１観点の圧電振動片は、第１観点から第９観点において、連結部が平面の向かい合う方向への厚さが第１厚さに形成され、励振部が、第１辺の少なくとも一部を含んで連結部に平面の向かい合う方向に第１厚さで直接連結される第１領域と、第１及び第２励振電極が形成され平面の向かい合う方向への厚さが第２厚さである第３領域と、第１領域及び第３領域以外の領域であり第１領域と第３領域との間に形成され平面の向かい合う方向への厚さが第３厚さである第４領域と、を含み、第１厚さ及び第２厚さが第３厚さよりも厚く形成される。
【００１８】
第１２観点の圧電デバイスは、第１観点から第１１観点の圧電振動片と、リッド板と、ベース板と、に挟まれている。
【００１９】
第１３観点の圧電デバイスの製造方法は、第１主面及び第２主面を有し圧電材料により形成される圧電ウエハに、所定の振動数で振動する励振部、励振部を囲む枠部、及び励振部と枠部とを連結する一本の連結部を有する複数の圧電振動片の外形が形成される工程と、励振部の第１主面及び第２主面にそれぞれ形成される第１励振電極及び第２励振電極と、第１励振電極側の一端から連結部を介して枠部の第２接合面の他端まで引き出される長さが第１長さである電極であり、連結部の側面の少なくとも一部に形成される第１引出電極と、第２励振電極側の一端から連結部を介して枠部の前記第２接合面の他端まで引き出される長さが第１長さよりも長い第２長さである第２引出電極と、が形成される電極形成工程と、複数のリッド板が形成されたリッドウエハを用意する工程と、複数のベース板が形成されたベースウエハを用意する工程と、圧電ウエハの第２主面とベースウエハとを封止材を介して接合する工程と、圧電ウエハの第１主面に形成された第１励振電極に逆スパッタを行うことにより励振部の振動数を調整する工程と、圧電ウエハの第１主面とリッドウエハとを封止材を介して接合する工程と、を有する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法によれば、連結部において引出電極の面積を広く形成することによりＣＩ値の上昇を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】圧電デバイス１００の分解斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面の断面図である。
【図３】（ａ）は、圧電振動片１３０の平面図である。 （ｂ）は、図３（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図４】（ａ）は、電極が形成されていない圧電振動片１３０の平面図である。 （ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図５】圧電デバイス１００の製造方法が示されたフローチャートである。
【図６】（ａ）は、圧電振動片１３０の外形が形成された圧電ウエハＷ１３０の平面図である。 （ｂ）は、電極が形成された圧電ウエハＷ１３０の平面図である。
【図７】（ａ）は、ベースウエハＷ１２０の平面図である。 （ｂ）は、リッドウエハＷ１１０の平面図である。
【図８】（ａ）は、圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０との部分断面図である。 （ｂ）は、逆スパッタリングが行われた圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０との部分断面図である。 （ｃ）は、圧電ウエハＷ１３０、リッドウエハＷ１１０、及びベースウエハＷ１２０の部分断面図である。
【図９】圧電振動片２３０の平面図である。
【図１０】（ａ）は、圧電振動片３３０の平面図である。 （ｂ）は、＋Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片３３０の部分平面図である。 （ｃ）は、−Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片３３０の部分平面図である。
【図１１】（ａ）は、圧電振動片４３０の平面図である。 （ｂ）は、図１１（ａ）のＥ−Ｅ断面図である。
【図１２】（ａ）は、圧電振動片５３０の平面図である。 （ｂ）は、図１２（ａ）のＦ−Ｆ断面図である。
【図１３】（ａ）は、圧電振動片６３０の平面図である。 （ｂ）は、図１３（ａ）のＧ−Ｇ断面図である。 （ｃ）は、＋Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片６３０の部分平面図である。 （ｄ）は、−Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片６３０の部分平面図である。
【図１４】（ａ）は、圧電振動片７３０の平面図である。 （ｂ）は、図１４（ａ）のＨ−Ｈ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【００２３】
（第１実施形態）
＜圧電デバイス１００の構成＞
図１は、圧電デバイス１００の分解斜視図である。圧電デバイス１００は、リッド板１１０と、ベース板１２０と、圧電振動片１３０と、により構成されている。圧電振動片１３０には例えばＡＴカットの水晶振動片が用いられる。ＡＴカットの水晶振動片は、主面（ＹＺ面）が結晶軸（ＸＹＺ）のＹ軸に対して、Ｘ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用いる。すなわち、圧電デバイス１００においては圧電デバイス１００の長辺方向をＸ軸方向、圧電デバイス１００の高さ方向をＹ’軸方向、Ｘ及びＹ’軸方向に垂直な方向をＺ’軸方向として説明する。
【００２４】
圧電振動片１３０は、所定の振動数で振動し矩形形状に形成された励振部１３１と、励振部１３１を囲む枠部１３２と、励振部１３１と枠部１３２とを連結する１本の連結部１３３と、により構成されている。励振部１３１と枠部１３２との間の連結部１３３以外の領域は、圧電振動片１３０をＹ’軸方向に貫通する貫通孔１３６となっている。圧電振動片１３０は、枠部１３２の＋Ｙ’軸側の面である第１接合面１３２ａにおいてリッド板１１０に接合され、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面である第２接合面１３２ｂにおいてベース板１２０に接合される。励振部１３１の＋Ｙ’軸側の面には第１励振電極１３４ａが形成され、励振部１３１の−Ｙ’軸側の面には第２励振電極１３４ｂが形成されている。第１励振電極１３４ａからは連結部１３３の＋Ｚ’軸側の側面１３３ａを通り枠部１３２の第２接合面１３２ｂにまで第１引出電極１３５ａが引き出されており、第２励振電極１３４ｂからは連結部１３３の−Ｙ’軸側の面を通り枠部１３２の第２接合面１３２ｂにまで第２引出電極１３５ｂが引き出されている。
【００２５】
ベース板１２０は、圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側に配置される。ベース板１２０はＸ軸方向に長辺、Ｚ’軸方向に短辺を有する矩形形状に形成されている。ベース板１２０の−Ｙ’軸側の面には一対の実装端子１２４が形成されている。この実装端子１２４がハンダを介してプリント基板等に固定され電気的に接続されることにより、圧電デバイス１００がプリント基板等に実装される。また、ベース板１２０の四隅の側面にはキャスタレーション１２６が形成されており、キャスタレーション１２６にはキャスタレーション電極１２５が形成されている。ベース板１２０の＋Ｙ’軸側の面には凹部１２１が形成されており、凹部１２１の周りには接合面１２２が形成されている。また、接合面１２２の四隅でありキャスタレーション１２６の周りには接続電極１２３が形成されている。この接続電極１２３は、キャスタレーション１２６に形成されるキャスタレーション電極１２５を介して実装端子１２４に電気的に接続されている。ベース板１２０は、接合面１２２において封止材１４１（図２参照）を介して圧電振動片１３０の枠部１３２の第２接合面１３２ｂに接合される。また、接続電極１２３と圧電振動片１３０の第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂとが電気的に接続される。
【００２６】
リッド板１１０は、圧電振動片１３０の＋Ｙ’軸側に配置される。リッド板１１０の−Ｙ’軸側の面には凹部１１１が形成されており、凹部１１１の周りには接合面１１２が形成されている。リッド板１１０は、接合面１１２において封止材１４１（図２参照）を介して圧電振動片１３０の枠部１３２の第１接合面１３２ａに接合される。
【００２７】
図２は、図１のＡ−Ａ断面の断面図である。圧電デバイス１００は、圧電振動片１３０の枠部１３２の第１接合面１３２ａにリッド板１１０の接合面１１２が封止材１４１を介して接合され、枠部１３２の第２接合面１３２ｂにベース板１２０の接合面１２２が封止材１４１を介して接合されている。圧電振動片１３０とベース板１２０とが接合される際には、枠部１３２の第２接合面１３２ｂに形成されている第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂとベース板１２０の接合面１２２に形成されている接続電極１２３とが電気的に接続される。これにより第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂはそれぞれ、第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂ、接続電極１２３、及びキャスタレーション電極１２５を介して実装端子１２４に電気的に接続される。
【００２８】
図３（ａ）は、圧電振動片１３０の平面図である。圧電振動片１３０は、矩形形状に形成された励振部１３１と、励振部１３１を囲む枠部１３２と、励振部１３１と枠部１３２とを連結する１本の連結部１３３と、により構成されている。励振部１３１は、励振部１３１の短辺であり励振部１３１の−Ｘ軸側の辺である第１辺１３８ａと、励振部１３１の長辺であり励振部１３１の＋Ｚ’軸側及び−Ｚ’軸側の辺である第２辺１３８ｂと、を有している。連結部１３３は、励振部１３１の第１辺１３８ａの中央に連結され、そこから−Ｘ軸方向に伸びて枠部１３２に連結されている。また、励振部１３１と枠部１３２との間の連結部１３３以外の領域は、圧電振動片１３０をＹ’軸方向に貫通する貫通孔１３６となっている。励振部１３１には、連結部１３３に直接連結される領域である第１領域１３１ａと、第１領域１３１ａ以外の領域であり第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成されている第２領域１３１ｂと、に分けることができ、圧電振動片１３０では第１領域１３１ａが第２領域１３１ｂよりもＹ’軸方向に厚く形成されている。励振部１３１の＋Ｙ’軸側の面に形成されている第１励振電極１３４ａからは、第１領域１３１ａ、連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の側面１３３ａ、及び連結部１３３の−Ｙ’軸側の面を介し、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで第１引出電極１３５ａが引き出されている。また、励振部１３１ｂの−Ｙ’軸側の面に形成されている第２励振電極１３４ｂ（図２参照）からは、第１領域１３１ａ及び連結部１３３の−Ｙ’軸側の面を介して枠部１３２に第２引出電極１３５ｂが引き出され、第２引出電極１３５ｂはさらに枠部１３２の−Ｙ’軸側の面を−Ｚ’軸方向及び＋Ｘ軸方向に伸びて枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで引き出されている。第２引出電極１３５ｂは枠部１３２の＋Ｘ軸側まで引き出されているため、第２引出電極１３５ｂは第１引出電極１３５ａよりも、形成距離が長く形成されている。
【００２９】
図３（ｂ）は、図３（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。図３（ｂ）には、枠部１３２及び連結部１３３のＹ’−Ｚ’平面の断面図が示されている。励振部１３１の＋Ｙ’軸側に形成されている第１励振電極１３４ａから伸びる第１引出電極１３５ａは、連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面から側面１３３ａを介して連結部１３３の−Ｙ’軸側の面に引き出されており、第１引出電極１３５ａの連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面及び−Ｙ’軸側の面におけるＺ’軸方向の幅はそれぞれ幅Ｌ１に形成されている。また、励振部１３１の−Ｙ’軸側の面に形成されている第２励振電極１３４ｂから伸びる第２引出電極１３５ｂは、連結部１３３の−Ｙ’軸側の面を介して励振部１３１から枠部１３２へ引き出されるが、その連結部１３３におけるＺ’軸方向の幅は幅Ｌ１に形成されている。連結部１３３のＺ’軸方向の幅を幅ＲＺ１とすると、幅ＲＺ１は幅Ｌ１の２倍の値よりも大きい。第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂは、連結部１３３において互いにＺ’軸方向及びＹ’軸方向に向かい合わないように形成されている。
【００３０】
図４（ａ）は、電極が形成されていない圧電振動片１３０の平面図である。また、図４（ａ）では、参考のために、第１励振電極１３４ａが形成される領域が点線で囲まれて示されている。励振部１３１の第１辺１３８ａの長さは長さＬＺ１であり、第２辺１３８ｂは長さＬＸ１に形成されている。圧電振動片１３０では、第１辺１３８ａが励振部１３１の短辺であり第２辺１３８ｂが励振部１３１の長辺であるため、長さＬＺ１は長さＬＸ１よりも短い。また、圧電振動片１３０の枠部１３２の全体のＸ軸方向の長さを長さＷＸ１、Ｚ’軸方向の全体の長さを長さＷＺ１、Ｚ’軸方向に伸びる枠部１３２のＸ軸方向の長さを長さＷＸ２、Ｘ軸方向に伸びる枠部１３２のＺ’軸方向の長さを長さＷＺ２とする。圧電振動片１３０では、例えばこれらの各長さは、長さＬＺ１が１．０ｍｍ、長さＬＸ１が１．４ｍｍ、長さＷＸ１が２．０ｍｍ、長さＷＸ２が０．２ｍｍ、長さＷＺ１が１．６ｍｍ、長さＷＺ２が０．２ｍｍに形成される。また、圧電振動片１３０の連結部１３３のＺ’軸方向の長さを長さＲＺ１とすると、圧電振動片１３０では、例えば、長さＲＺ１が０．２ｍｍに形成される。
【００３１】
図４（ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。圧電振動片１３０は、枠部１３２のＹ’軸方向への厚さが厚さＴ１、連結部１３３及び励振部１３１の第１領域１３１ａのＹ’軸方向の厚さが厚さＴ２、励振部１３１の第２領域１３１ｂのＹ’軸方向の厚さが厚さＴ３に形成されている。圧電振動片１３０では、厚さＴ１は厚さＴ３よりも厚く形成されており、厚さＴ２は厚さＴ１以下であり厚さＴ３よりも大きい値となっている。そのため圧電振動片１３０では、例えば、厚さＴ１が８０μｍ、厚さＴ２が７０μｍ、厚さＴ３が４０μｍに形成される。
【００３２】
圧電振動片１３０では、図３（ｂ）に示されるように、第１引出電極１３５ａと第２引出電極１３５ｂとが連結部１３３においてＹ’軸、及びＺ’軸方向にそれぞれ向かい合わないように形成されている。そのため、連結部１３３において静電容量の発生が抑えられ、圧電振動片１３０のクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値の上昇が抑えられる。
【００３３】
＜圧電デバイス１００の製造方法＞
圧電デバイス１００の製造方法について、図５のフローチャートを参照して説明する。
【００３４】
図５は、圧電デバイス１００の製造方法が示されたフローチャートである。
ステップＳ１０１は、圧電ウエハＷ１３０に複数の圧電振動片１３０の外形が形成される。圧電ウエハＷ１３０は、圧電材料により形成されている。圧電振動片１３０の外形は、圧電ウエハＷ１３０に金属膜、及びフォトレジストを形成し、フォトレジストの露光、現像及び金属膜の除去を行うことにより圧電ウエハＷ１３０の一部を露出させ、圧電ウエハＷ１３０の露出した領域をエッチングすることにより形成される。
【００３５】
図６（ａ）は、圧電振動片１３０の外形が形成された圧電ウエハＷ１３０の平面図である。圧電ウエハＷ１３０には、複数の圧電振動片１３０の外形が形成されている。図６（ａ）に示されている圧電ウエハＷ１３０には、後述のステップＳ１０８でウエハが切断される箇所を示すスクライブライン１４２が２点鎖線で示されている。圧電ウエハＷ１３０に示されている各圧電振動片１３０は、このスクライブライン１４２に囲まれて示されている。図６（ａ）に示される圧電ウエハＷ１３０では、励振部１３１、連結部１３３、及び貫通孔１３６が、圧電ウエハＷ１３０がエッチングされることにより形成されている。
【００３６】
ステップＳ１０２では、圧電ウエハＷ１３０に電極が形成される。ステップＳ１０２では、圧電ウエハＷ１３０に形成されている各圧電振動片１３０に、第１励振電極１３４ａ、第２励振電極、第１引出電極１３５ａ、及び第２引出電極１３５ｂが形成される。これらの電極は、例えば、圧電ウエハＷ１３０にクロム（Ｃｒ）層が形成され、クロム層の表面に金（Ａｕ）層を蒸着することにより形成される。
【００３７】
図６（ｂ）は、電極が形成された圧電ウエハＷ１３０の平面図である。図６（ｂ）では、各圧電振動片１３０に、第１励振電極１３４ａ、第１引出電極１３５ａ、及び第２引出電極１３５ｂが形成されている状態が示されている。これらの電極は、圧電ウエハＷ１３０の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に、マスク（不図示）を介してクロム（Ｃｒ）層及び金（Ａｕ）層を蒸着することにより形成される。
【００３８】
ステップＳ１０３では、ベースウエハＷ１２０が用意される。ベースウエハＷ１２０には複数のベース板１２０が形成される。ベースウエハＷ１２０には、まず、エッチングにより凹部１２１及び後にキャスタレーション１２６となる貫通溝１２６ａ（図７（ａ）参照）が形成され、その後、接続電極１２３、キャスタレーション電極１２５、及び実装端子１２４等の電極が形成される。
【００３９】
図７（ａ）は、ベースウエハＷ１２０の平面図である。図７（ａ）では、２点鎖線でスクライブライン１４２が示されており、ベースウエハＷ１２０に形成される各ベース板１２０は、スクライブライン１４２に囲まれて形成されている。また、ベースウエハＷ１２０のＸ軸方向に伸びるスクライブライン１４２とＺ’軸方向に伸びるスクライブライン１４２との交点には、ベースウエハＷ１２０をＹ’軸方向に貫通し、ウエハが切断された後にキャスタレーション１２６となる貫通溝１２６ａが形成されている。ベースウエハＷ１２０では、まずエッチングにより凹部１２１及び貫通溝１２６ａが形成される。その後、例えばクロム層及び金層により、実装端子１２４、貫通溝１２６ａに形成されるキャスタレーション電極１２５、及び＋Ｙ’軸側の面の貫通溝１２６ａの周りに接続電極１２３が形成される。
【００４０】
ステップＳ１０４では、リッドウエハＷ１１０が用意される。リッドウエハＷ１１０には複数のリッド板１１０が形成される。リッドウエハＷ１１０に形成される各リッド板１１０は、エッチングにより凹部１１１が形成されることにより形成される。
【００４１】
図７（ｂ）は、リッドウエハＷ１１０の平面図である。図７（ｂ）では、２点鎖線でスクライブライン１４２が示されており、リッドウエハＷ１１０に形成される各リッド板１１０は、スクライブライン１４２に囲まれて形成されている。各リッド板１１０は、リッドウエハＷ１１０の−Ｙ’軸側の面に凹部１１１をエッチングにより形成することにより形成される。
【００４２】
ステップＳ１０５では、圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０とが接合される。ステップＳ１０５では、例えばベースウエハＷ１２０の接合面１２２に封止材１４１（図８（ａ）参照）が形成され、圧電ウエハＷ１３０の第２接合面１３２ｂとベースウエハＷ１２０の接合面１２２とが接合される。また、同時に第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂと接続電極１２３とが電気的に接続される。
【００４３】
図８（ａ）は、圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０との部分断面図である。図８（ａ）では、図６（ｂ）及び図７（ａ）のＤ−Ｄ断面の断面図が示されている。ベースウエハＷ１２０の接合面１２２と圧電ウエハＷ１３０の第２接合面１３２ｂとは、封止材１４１により互いに接合される。また、圧電ウエハＷ１３０の第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂと、ベースウエハＷ１２０の接続電極１２３とが電気的に接続されている。
【００４４】
ステップＳ１０６では、励振部１３１の振動数が調整される。励振部１３１の振動数の調整は、励振部１３１の＋Ｙ’軸側の面に形成される第１励振電極１３４ａの逆スパッタリングをすることにより行われる。
【００４５】
図８（ｂ）は、逆スパッタリングが行われた圧電ウエハＷ１３０とベースウエハＷ１２０との部分断面図である。図８（ｂ）では、図６（ｂ）及び図７（ａ）のＤ−Ｄ断面の断面図が示されている。励振部１３１の振動数の調整は、励振部１３１の＋Ｙ’軸側の面に形成されている第１励振電極１３４ａの厚さを逆スパッタリングして薄くすることにより調整される。逆スパッタリングは、第１励振電極１３４ａ及びその周辺以外の領域をマスク１４３で覆い、励振部１３１に電圧をかけてガスイオンを第１励振電極１３４ａに衝突させることにより第１励振電極１３４ａの厚さを薄くする。図８（ｂ）では、ガスイオンを第１励振電極１３４ａに衝突させる方向が白抜き矢印１４４により示されている。逆スパッタリング前の第１励振電極１３４ａの厚さを厚さＲＹ１とし（図８（ａ）参照）、逆スパッタリング後の励振部１３１の第１励振電極１３４ａの厚さを厚さＲＹ２とすると、厚さＲＹ２は厚さＲＹ１よりも薄くなっている。また、逆スパッタリング前の第１励振電極１３４ａの厚さが第２励振電極１３４ｂの厚さと同じ厚さに形成された場合は、逆スパッタリング後の第１励振電極１３４ａの厚さは第２励振電極１３４ｂの厚さよりも薄くなる。さらに、マスク１４３のずれ等により、逆スパッタリング前の第１引出電極１３５ａの厚さが第２引出電極１３５ｂの厚さと同じ厚さに形成された場合は、逆スパッタリング後の第１引出電極１３５ａの厚さは第２引出電極１３５ｂの厚さよりも薄くなる場合がある。
【００４６】
ステップＳ１０７では、圧電ウエハＷ１３０とリッドウエハＷ１１０とが接合される。ステップＳ１０７では、例えば圧電ウエハＷ１３０の第１接合面１３２ａに封止材１４１（図８（ｃ）参照）が形成され、圧電ウエハＷ１３０の第１接合面１３２ａとリッドウエハＷ１１０の接合面１１２とが接合される。
【００４７】
図８（ｃ）は、圧電ウエハＷ１３０、リッドウエハＷ１１０、及びベースウエハＷ１２０の部分断面図である。図８（ｃ）では、図６（ｂ）、図７（ａ）、及び図７（ｂ）のＤ−Ｄ断面の断面図が示されている。リッドウエハＷ１１０の接合面１１２と圧電ウエハＷ１３０の第１接合面１３２ａとは、封止材１４１により互いに接合されている。これにより、互いに接合された圧電ウエハＷ１３０、リッドウエハＷ１１０、及びベースウエハＷ１２０に複数の圧電デバイス１００が形成される。
【００４８】
ステップＳ１０８では、ウエハが切断される。ステップＳ１０８では、スクライブライン１４２に沿って、互いに接合された圧電ウエハＷ１３０、リッドウエハＷ１１０、及びベースウエハＷ１２０が切断される。これにより、各圧電デバイス１００がウエハから切り離される。
【００４９】
図５のフローチャートで示された圧電デバイス１００の製造方法では、ステップＳ１０６において第１励振電極１３４ａの逆スパッタリングが行われる。逆スパッタリングでは、圧電ウエハＷ１３０にマスク１４３がかけられるが、このマスク１４３は、ずれを考慮して第１励振電極１３４ａの範囲よりも広い範囲に開口が形成されている。そのため、圧電振動片１３０の＋Ｙ’軸側に形成される引出電極も逆スパッタリングにより薄くなる場合がある。圧電振動片１３０では第１引出電極１３５ａが＋Ｙ’軸側に形成されているが、第１引出電極１３５ａは第１励振電極１３４ａから第２接合面１３２ｂまで引き出される長さが短く形成されるため全体の電気抵抗が小さく、逆スパッタリングにより薄く形成されることによる第１引出電極１３５ａの電気抵抗の増加の影響が小さい。また第１励振電極１３５ａは、第１引出電極１３５ａが、連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面、−Ｙ’軸側の面、及び側面１３３ａに形成されており、逆スパッタリングの影響は連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面に形成されている第１引出電極１３５ａが受けるのみであり、連結部１３３の−Ｙ’軸側の面及び側面１３３ａに形成されている第１引出電極１３５ａは逆スパッタリングの影響を受けない。さらに、第２励振電極１３４ｂから第２接合面１３２ｂまで引き出される長さが長く形成されるため電気抵抗が第１引出電極１３５ａよりも大きい第２引出電極１３５ｂは、圧電振動片１３０の−Ｙ’軸側の面に形成されているため逆スパッタリングの影響を受けない。これらのことにより、圧電振動片１３０では、逆スパッタリングによる第１引出電極１３５ａ及び第２引出電極１３５ｂへの影響が抑えられ、圧電振動片１３０のクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値の上昇が抑えられる。
【００５０】
（第２実施形態）
圧電振動片は、逆スパッタリングにより第１引出電極の厚さが薄くなり、電気抵抗が上昇してしまう可能性がある。特に、第１励振電極の近くに形成される第１引出電極は、逆スパッタリングにより厚さが薄くなる可能性がある。そのため、第１励振電極の近くに形成される第１引出電極の面積を広く形成しておいてもよい。以下に、第１励振電極の近くの第１引出電極の面積が広く形成された圧電振動片２３０について説明する、また、以下の説明では、圧電振動片１３０と同じ部分には圧電振動片１３０と同じ符号を付してその説明を省略する。
【００５１】
＜圧電振動片２３０の構成＞
図９は、圧電振動片２３０の平面図である。圧電振動片２３０は、励振部１３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。圧電振動片２３０では、励振部１３１の＋Ｙ’軸側の面に第１励振電極１３４ａ及び第１励振電極１３４ａから引き出されている第１引出電極２３５ａが形成されている。第１引出電極２３５ａは、第１引出電極１３５ａ（図３（ａ）参照）と、電極２３５とが組み合わせられた引出電極である。電極２３５は、励振部１３１の＋Ｙ’軸側の面に、第１引出電極１３５ａの＋Ｚ’軸側であり第１励振電極１３４ａと第１引出電極１３５ａとに接する領域に形成されている電極である。電極２３５は第２引出電極１３５ｂにＹ’軸方向に重ならない位置に形成されている。また、第１引出電極２３５ａと第１励振電極１３４ａとが接続される箇所のＺ’軸方向の幅ＨＺ１は、第２引出電極１３５ｂと第２励振電極１３４ｂとが接続される箇所のＺ’軸方向の幅ＨＺ２よりも広く形成されている。
【００５２】
圧電振動片では、逆スパッタリングにより第１励振電極の近くに形成される第１引出電極の厚さが薄くなり、電気抵抗が高くなる可能性がある。圧電振動片２３０では、第１引出電極２３５ａが電極２３５を含んでいることにより、第１励振電極１３４ａの近くの第１引出電極２３５ａの面積が広く形成されていることになる。そのため、逆スパッタリングにより第１励振電極１３４ａの近くの第１引出電極２３５ａの厚さが薄くなったとしても、第１励振電極１３４ａの近くの第１引出電極２３５ａの面積が広く形成されていることにより第１引出電極２３５ａの電気抵抗の上昇を抑えることができる。
【００５３】
（第３実施形態）
圧電振動片では、＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面に第１引出電極が引き出される場合に、圧電振動片の側面を経由する。しかし圧電振動片の側面の電極は厚く形成することができないため、第１引出電極の電気抵抗が上昇してしまう場合がある。そのため、圧電振動片の側面に形成される電極の幅を広く形成してもよい。以下に、圧電振動片の側面に形成される第１引出電極の幅が広く形成された圧電振動片について説明する。
【００５４】
＜圧電振動片３３０の構成＞
図１０（ａ）は、圧電振動片３３０の平面図である。圧電振動片３３０は、励振部１３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。また、励振部１３１には、励振部１３１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成され、第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂからはそれぞれ第１引出電極３３５ａ及び第２引出電極１３５ｂが引き出されている。第１引出電極３３５ａは、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の側面１３３ａ、側面１３３ａに交差する枠部１３２の側面、及び側面１３３ａに交差する第１辺１３８ａの側面に形成される電極である側面電極３３５を含んでいる。側面電極３３５は、貫通孔１３６の側面であり、連結部１３３の＋Ｚ’軸側に形成されている。
【００５５】
図１０（ｂ）は、＋Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片３３０の部分平面図である。図１０（ｂ）では、圧電振動片３３０の−Ｘ軸側の半分の平面図が示されている。第１引出電極３３５ａは、＋Ｙ’軸側の面では、第１励振電極１３４ａから連結部１３３の側面１３３ａ、第１辺１３８ａ、及び枠部１３２の連結部１３３に連結される側面まで引き出されている。また、第１引出電極１３５ａは、第２引出電極１３５ｂにＹ’軸方向に重ならないように、圧電振動片３３０の＋Ｚ’軸側の半分のみに形成されている。＋Ｙ’軸側の面に形成されている第１引出電極３３５ａは、側面電極３３５に電気的に接続されて＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面に引き出される。
【００５６】
図１０（ｃ）は、−Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片３３０の部分平面図である。図１０（ｃ）では、圧電振動片３３０の−Ｘ軸側の半分の平面図が示されている。第１引出電極３３５ａは、圧電振動片３３０の−Ｙ’軸側の面において、側面電極３３５から、励振部１３１の第１辺１３８ａ、連結部１３３の側面１３３ａに接する辺、及び枠部１３２の連結部１３３に連結される辺を介し、さらにそこから枠部１３２の＋Ｚ’軸側の−Ｘ軸側の角部にまで引き出されている。
【００５７】
圧電振動片３３０では、第１引出電極３３５ａが側面電極３３５を介して＋Ｙ’軸側の面から−Ｙ’軸側の面に引き出されている。側面電極３３５は、連結部１３３の側面１３３ａ、第１辺１３８ａの側面、及び枠部１３２の側面を含んでおり、Ｘ−Ｚ’平面内における側面電極３３５の長さが長い。すなわち、側面電極３３５の幅は広く形成されており、側面電極３３５の厚さが薄く形成されることに起因する第１引出電極３３５ａの電気抵抗の上昇が防がれる。また、図１０（ｂ）に示されるように圧電振動片３３０の＋Ｙ’軸側の面に形成される第１引出電極３３５ａは圧電振動片３３０の＋Ｚ’軸側に伸びて形成されている。そのため、＋Ｙ’軸側の面に形成される第１引出電極３３５ａが＋Ｚ’軸方向又は−Ｚ’軸方向のどちらに伸びているかを確認することにより、圧電振動片３３０の＋Ｙ’軸側の面又は−Ｙ’軸側の面の判別をすることができる。
【００５８】
＜圧電振動片４３０の構成＞
図１１（ａ）は、圧電振動片４３０の平面図である。圧電振動片４３０は、励振部１３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。また、励振部１３１には、励振部１３１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成され、第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂからはそれぞれ第１引出電極４３５ａ及び第２引出電極４３５ｂが引き出されている。第１引出電極４３５ａは、第１励振電極１３４ａから＋Ｙ’軸側の面の側面電極３３５の周りまで引き出され、側面電極３３５を介して−Ｙ’軸側の面に引き出されている。さらに第１引出電極４３５ａは、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで引き出されている。第２引出電極４３５ｂは、第２励振電極１３４ａから連結部１３３を通り、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで形成されている。
【００５９】
図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＥ−Ｅ断面図である。圧電振動片４３０では、連結部１３３に形成される第１引出電極４３５ａの＋Ｙ’軸側の面のＺ’軸方向の幅が幅Ｌ２に形成され、−Ｙ’軸側の面のＺ’軸方向の幅が幅Ｌ２に形成されている。また、連結部１３３に形成される第２引出電極４３５ｂのＺ’軸方向の幅は、幅Ｌ２よりも大きい幅Ｌ３に形成されている。さらに圧電振動片４３０では、連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面に形成されている電極は第１引出電極４３５ａのみであり、−Ｙ’軸側の面に形成されている電極は第１引出電極４３５ａ及び第２引出電極４３５ｂである。すなわち、連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面に形成されている電極の面積は、連結部１３３の−Ｙ’軸側の面に形成されている電極の面積よりも小さい。
【００６０】
圧電振動片の連結部のＺ’軸方向の幅が細く形成される場合、連結部に形成される引出電極の面積も小さくなる。またこのとき、圧電振動片に逆スパッタリングを行う場合、連結部の＋Ｙ’軸側の面に形成される引出電極の電気抵抗が上昇する。圧電振動片４３０では連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面に形成されている電極の面積が小さく形成されているため、逆スパッタリングによる影響を受けにくい。また、第１引出電極４３５ａは連結部１３３の側面にも形成されていることにより、連結部１３３における面積が確保されている。
【００６１】
＜圧電振動片５３０の構成＞
図１２（ａ）は、圧電振動片５３０の平面図である。圧電振動片５３０は、励振部１３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。また、励振部１３１には、励振部１３１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成され、第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂからはそれぞれ第１引出電極５３５ａ及び第２引出電極５３５ｂが引き出されている。第１引出電極５３５ａは、圧電振動片５３０の＋Ｙ’軸側の面では、第１励振電極１３４ａから−Ｘ軸方向に伸び、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の辺、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面する辺、及び枠部１３２の貫通孔１３６に−Ｚ’軸方向に面した辺、に引き出されている。さらに第１引出電極５３５ａは貫通孔１３６の側面に形成された側面電極５３９ａを介して−Ｙ’軸側の面に引き出されて枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで伸びている。側面電極５３９ａは、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の側面１３３ａ、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面した側面の連結部１３３より＋Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に−Ｚ’軸方向に面した側面の−Ｘ軸側、に形成されている。また、第２引出電極５３５ｂは、第２励振電極１３４ｂから−Ｘ軸方向に伸び、連結部１３３を通って枠部１３２に引き出され、さらに枠部１３２を−Ｚ’軸方向及び＋Ｘ軸方向に伸びて、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで形成されている。第２引出電極５３５ｂは、さらに、側面電極５３９ｂ及び圧電振動片５３０の＋Ｙ’軸側の面の側面電極５３９ｂの周囲にも形成されている。側面電極５３９ｂは連結部１３３の−Ｚ’軸側の側面１３３ｂ、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面した側面の連結部１３３より−Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｚ’軸方向に面した側面の−Ｘ軸側、に形成されている。また、圧電振動片５３０の＋Ｙ’軸側の面に形成される第２引出電極５３９ｂは、連結部１３３の−Ｚ’軸側の辺、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面した辺の−Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｚ’軸方向に面した辺の−Ｘ軸側、に沿って形成されている。
【００６２】
図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のＦ−Ｆ断面図である。第１引出電極５３５ａ及び第２引出電極５３５ｂは、それぞれ連結部１３３の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面と、連結部１３３の側面１３３ａ及び側面１３３ｂとに形成されている。また、第１引出電極５３５ａ及び第２引出電極５３５ｂは、それぞれ枠部１３２の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面と、枠部１３２の貫通孔１３６側の側面と、に形成されている。さらに、第１引出電極５３５ａ及び第２引出電極５３５ｂは、連結部１３３においてＹ’軸方向に互いに重なっていない。
【００６３】
圧電振動片５３０は、第１引出電極５３５ａ及び第２引出電極５３５ｂが連結部１３３の＋Ｙ’軸側の面、−Ｙ’軸側の面、及び側面、に形成されていることにより、連結部１３３における第１引出電極５３５ａ及び第２引出電極５３５ｂの面積が広く形成されている。そのため、連結部１３３のＺ’軸方向の幅が狭く形成された場合でも、引出電極の面積が狭くなることによる電気抵抗の上昇を最小限に抑えることができる。
【００６４】
＜圧電振動片６３０の構成＞
図１３（ａ）は、圧電振動片６３０の平面図である。圧電振動片６３０は、励振部６３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。励振部６３１は、第１辺１３８ａ及び第２辺１３８ｂを含む矩形形状に形成されている。また、励振部１３１には、連結部１３３に直接連結される領域である第１領域１３１ａと、第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成される領域である第３領域１３１ｃと、第１領域１３１ａ及び第３領域１３１ｃ以外の領域であり第１領域１３１ａと第３領域１３１ｃとの間に形成される第４領域１３１ｄと、に分けることができる。圧電振動片６３０は第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成されている第３領域１３１ｃが、第３領域１３１ｃを囲んでいる第４領域１３１ｄよりもＹ’軸方向に厚く形成されているメサ型の圧電振動片である。また、励振部６３１の第３領域１３１ｃに形成される第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂからは、それぞれ第１引出電極６３５ａ及び第２引出電極６３５ｂが枠部１３２に引き出されて形成されている。
【００６５】
図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＧ−Ｇ断面図である。圧電振動片６３０は、例えば励振部６３１の第３領域１３１ｃのＹ’軸方向の厚さが厚さＴ２に形成され、第４領域１３１ｄのＹ’軸方向の厚さが厚さＴ３に形成される。また、連結部１３２、枠部１３２、及び第１領域１３１ａのＹ’軸方向の厚さは、図４（ｂ）に示された圧電振動片１３０と同様に、それぞれ厚さＴ２、厚さＴ１、及び厚さＴ２に形成されている。
【００６６】
図１３（ｃ）は、＋Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片６３０の部分平面図である。図１３（ｃ）では、圧電振動片６３０の−Ｘ軸側の半分の平面図が示されている。第１引出電極６３５ａは、＋Ｙ’軸側の面では、第１励振電極１３４ａから引き出され、連結部１３３の側面１３３ａ、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の第１辺１３８ａ及び−Ｘ軸側の第２辺１３８ｂ、枠部１３２の貫通孔１３６に面した＋Ｘ軸側の辺の連結部１３３の＋Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に−Ｚ’軸方向に面した辺の−Ｘ軸側、に沿って形成されている。また、第２引出電極６３５ｂは、連結部１３３の側面１３３ｂ、連結部１３３の−Ｚ’軸側の第１辺１３８ａ及び−Ｘ軸側の第２辺１３８ｂ、枠部１３２の貫通孔１３６に面した＋Ｘ軸側の辺の連結部１３３の−Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に面した＋Ｚ’軸側の辺の−Ｘ軸側、に沿って形成されており、側面電極６３９ｂに接続されている。圧電振動片６３０の＋Ｙ’軸側の面に形成されている第１引出電極６３５ａは、貫通孔１３６の側面に形成される側面電極６３９ａを介して−Ｙ’軸側の面に引き出されている。側面電極６３９ａは、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の側面１３３ａ、連結部１３３の＋Ｚ’軸側の第１辺１３８ａ及び第２辺１３８ｂの−Ｘ軸側、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面した側面の連結部１３３より＋Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に−Ｚ’軸方向に面した側面の−Ｘ軸側、に形成されている。側面電極６３９ｂは、連結部１３３の−Ｚ’軸側の側面１３３ｂ、連結部１３３の−Ｚ’軸側の第１辺１３８ａ及び第２辺１３８ｂの−Ｘ軸側、枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｘ軸方向に面した側面の連結部１３３より−Ｚ’軸側、及び枠部１３２の貫通孔１３６に＋Ｚ’軸方向に面した側面の−Ｘ軸側、に形成されている。
【００６７】
図１３（ｄ）は、−Ｙ’軸側の面の電極が示された圧電振動片６３０の部分平面図である。図１３（ｄ）では、圧電振動片６３０の−Ｘ軸側の半分の平面図が示されている。第１引出電極６３５ａは、−Ｙ’軸側の面では、側面電極６３９ａから圧電振動片６３０の−Ｙ’軸側の面の側面電極６３９ａの周りに引き出され、さらに、枠部１３２の−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで引き出されている。また、第２引出電極６３９ｂは、第２励振電極１３４ｂから−Ｘ軸方向に伸びて枠部１３２に引き出され、−Ｚ’軸方向及び＋Ｘ軸方向に伸びて、枠部１３２の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで引き出されている。第２引出電極６３９ｂはまた、−Ｙ’軸側の面の側面電極６３９ｂの周りに引き出され、側面電極６３９ｂを介して＋Ｙ’軸側に形成されている第２引出電極６３５ｂに電気的に接続されている。
【００６８】
圧電振動片６３０は、側面電極の面積が広く形成されていることにより、連結部１３３のＺ’軸方向の幅が狭く形成された場合でも連結部１３３に形成される引出電極の面積が狭くなることによる電気抵抗の上昇を最小限に抑えることができるとともに、電極の厚さが薄くなり電気抵抗が高くなりがちな側面電極の電気抵抗の上昇を抑えることができる。
【００６９】
＜圧電振動片７３０の構成＞
図１４（ａ）は、圧電振動片７３０の平面図である。圧電振動片７３０は、励振部１３１、枠部１３２、及び連結部１３３により形成されている。また、励振部１３１には、励振部１３１の＋Ｙ’軸側及び−Ｙ’軸側の面に第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂが形成され、第１励振電極１３４ａ及び第２励振電極１３４ｂからはそれぞれ第１引出電極７３５ａ及び第２引出電極７３５ｂが引き出されている。第１引出電極７３５ａは、第１励振電極１３４ａから、枠部１３２の貫通孔１３６に面する−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部にまで引き出され、さらに枠部１３２の貫通孔１３６に面する−Ｘ軸側の＋Ｚ’軸側の角部を含む側面に形成される側面電極７３９ｃを介して−Ｙ’軸側の面に引き出され、枠部１３２の＋Ｚ’軸側の−Ｘ軸側の角部にまで伸びている。第２引出電極７３５ｂは、第２励振電極１３４ｂから連結部１３３を介して枠部１３２へ伸び、さらに、枠部１３２の−Ｙ’軸側の面を−Ｚ’軸方向及び＋Ｘ軸方向に伸びて、枠部１３２の＋Ｘ軸側の−Ｚ’軸側の角部にまで形成されている。また、第１引出電極７３５ａ及び第２引出電極７３５ｂは、それぞれ連結部１３３の側面１３３ａ及び側面１３３ｂに形成される側面電極７３９ａ及び側面電極７３９ｂを含んでいる。
【００７０】
図１４（ｂ）は、図１４（ａ）のＨ−Ｈ断面図である。第１引出電極７３５ａ及び第２引出電極７３５ｂは、それぞれ連結部１３３に、側面電極７３９ａ及び側面電極７３９ｂを有している。側面電極７３９ａは、連結部１３３の側面１３３ａの＋Ｙ’軸側の半分に形成され、側面電極７３９ｂは、連結部１３３の側面１３３ｂの−Ｙ’軸側の半分に形成されている。また、第１引出電極７３５ａ及び第２引出電極７３５ｂは、連結部１３３においてＹ’軸方向及びＺ’軸方向に互いに重ならない。
【００７１】
圧電振動片７３０では、連結部１３３に形成されている第１引出電極７３５ａ及び第２引出電極７３５ｂは、連結部において互いにＹ’軸方向、Ｚ’軸方向には重なっていない。そのため、圧電振動片７３０では、連結部１３３において第１励振電極７３５ａと第２励振電極７３５ｂとにより静電容量が発生しない。また、第１引出電極７３５ａ及び第２引出電極７３５ｂは連結部１３３の側面にも電極が形成されることにより、連結部１３３に形成される面積が広くなっており好ましい。
【００７２】
以上、本発明の最適な実施例について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施例に様々な変更・変形を加えて実施することができる。
【００７３】
例えば、圧電振動片６３０のみをメサ型の圧電振動片として説明したが、その他の圧電振動片に関してもメサ型の圧電振動片として形成してもよい。
【００７４】
また、上記の実施形態では圧電振動片がＡＴカットの水晶振動片である場合を示したが、同じように厚みすべりモードで振動するＢＴカットなどであっても同様に適用できる。さらに圧電振動片は水晶材料のみならず、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウムあるいは圧電セラミックを含む圧電材料に基本的に適用できる。
【符号の説明】
【００７５】
１００ … 圧電デバイス
１１０ … リッド板
１１１、１２１ … 凹部
１１２、１２２ … 接合面
１２０ … ベース板
１２３ … 接続電極
１２４ … 実装端子
１２５ … キャスタレーション電極
１２６ … キャスタレーション
１２６ａ … 貫通溝
１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０ … 圧電振動片
１３１、６３１ … 励振部
１３１ａ … 第１領域
１３１ｂ … 第２領域
１３１ｃ … 第３領域
１３１ｄ … 第４領域
１３２ … 枠部
１３２ａ … 第１接合面
１３２ｂ … 第２接合面
１３３ … 連結部
１３３ａ … 連結部の＋Ｚ’軸側の側面
１３３ｂ … 連結部の−Ｚ’軸側の側面
１３４ａ … 第１励振電極
１３４ｂ … 第２励振電極
１３５ａ、２３５ａ、３３５ａ、４３５ａ、５３５ａ、６３５ａ、７３５ａ … 第１引出電極
１３５ｂ、４３５ｂ、５３５ｂ、６３５ｂ、７３５ｂ … 第２引出電極
１３６ … 貫通孔
１３８ａ … 第１辺
１３８ｂ … 第２辺
１４１ … 封止材
１４２ … スクライブライン
１４３ … マスク
３３５、５３９ａ、５３９ｂ、６３９ａ、６３９ｂ、７３９ａ、７３９ｂ、７３９ｃ … 側面電極
Ｗ１１０ … リッドウエハ
Ｗ１２０ … ベースウエハ
Ｗ１３０ … 圧電ウエハ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
リッド板と外部電極を有するベース板とに挟まれて接合され、前記リッド板側の第１主面及び前記ベース板側の第２主面を有する圧電振動片であって、
第１方向に伸びる第１辺及び前記第１方向に直交する第２方向に伸びる第２辺を含む矩形形状の励振部と、
前記励振部の前記第１主面に形成される第１励振電極及び前記第２主面に形成される第２励振電極と、
前記リッド板に接合される面である第１接合面及び前記ベース板に接合される面である第２接合面を有し前記励振部を囲む枠部と、
前記励振部の前記第１辺と前記枠部とを連結し、前記両主面と平行な平面と該平面に交差する側面とを有する一本の連結部と、
前記第１及び第２励振電極から前記連結部を介して前記枠部の前記第２接合面まで引き出される第１及び第２引出電極と、
を備え、
前記第１引出電極は、前記連結部の前記側面の少なくとも一部に形成されて前記枠部に引き出されている圧電振動片。
【請求項２】
前記第１引出電極と前記第２引出電極とは、前記連結部において前記平面の向かい合う方向及び前記側面の向かい合う方向に互いに重なり合わない請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記第１引出電極は、前記連結部の前記側面、前記第１主面、及び前記第２主面に形成され、
前記第２引出電極は、前記連結部の前記第２主面のみに形成されている請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記連結部の前記第２主面に形成される前記第１引出電極の前記側面の向かい合う方向への幅は、前記連結部の前記第２主面に形成される前記第２引出電極の前記側面の向かい合う方向への幅よりも狭い請求項３に記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記第１引出電極は前記第１励振電極側の一端から前記第２接合面に延びる他端まで引き出される長さが第１長さであり、前記第２引出電極は前記第２励振電極側の一端から前記第２接合面に延びる他端まで引き出される長さが第２長さであり、
前記第１長さは前記第２長さよりも短く、
前記第１励振電極は前記第２励振電極より薄く、前記第１引出電極の一部は前記第２引出電極よりも薄い請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記枠体の前記第１接合面に前記第１引出電極が形成され、前記連結部の前記リッド板側に形成される前記第１引出電極及び前記第２引出電極の合計面積が、前記連結部の前記ベース板側に形成される前記第１引出電極及び前記第２引出電極の合計面積よりも狭い請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項７】
前記第１引出電極は、前記励振部の前記第１辺の側面に形成される請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項８】
前記第１引出電極は、前記両接合面と交差する前記枠部の側面に形成される請求項７に記載の圧電振動片。
【請求項９】
前記第１励振電極と前記第１引出電極とが接続する箇所の前記第１引出電極の幅は、前記第２励振電極と前記第２引出電極とが接続する箇所の前記第２引出電極の幅よりも広い請求項５に記載の圧電振動片。
【請求項１０】
前記連結部は前記平面の向かい合う方向への厚さが第１厚さに形成され、
前記励振部は、前記第１辺の少なくとも一部を含んで前記連結部に前記平面の向かい合う方向に前記第１厚さで直接連結される第１領域と、前記第１及び第２励振電極が形成され前記第１領域以外の領域である第２領域と、を含み、
前記第２領域の前記平面の向かい合う方向への厚さは前記第１領域の前記平面の向かい合う方向への厚さよりも薄い請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項１１】
前記連結部は前記平面の向かい合う方向への厚さが第１厚さに形成され、
前記励振部は、前記第１辺の少なくとも一部を含んで前記連結部に前記平面の向かい合う方向に前記第１厚さで直接連結される第１領域と、前記第１及び第２励振電極が形成され前記平面の向かい合う方向への厚さが第２厚さである第３領域と、前記第１領域及び前記第３領域以外の領域であり前記第１領域と前記第３領域との間に形成され前記平面の向かい合う方向への厚さが第３厚さである第４領域と、を含み、
前記第１厚さ及び前記第２厚さが前記第３厚さよりも厚く形成された請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項１２】
請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載の圧電振動片と、
前記リッド板と前記ベース板とに挟まれた圧電デバイス。
【請求項１３】
第１主面及び第２主面を有し圧電材料により形成される圧電ウエハに、所定の振動数で振動する励振部、前記励振部を囲む枠部、及び前記励振部と前記枠部とを連結する一本の連結部を有する複数の圧電振動片の外形が形成される工程と、
前記励振部の前記第１主面及び前記第２主面にそれぞれ形成される第１励振電極及び第２励振電極と、前記第１励振電極側の一端から前記連結部を介して前記枠部の前記第２接合面の他端まで引き出される長さが第１長さである電極であり、前記連結部の側面の少なくとも一部に形成される第１引出電極と、前記第２励振電極側の一端から前記連結部を介して前記枠部の前記第２接合面の他端まで引き出される長さが前記第１長さよりも長い第２長さである第２引出電極と、が形成される電極形成工程と、
複数のリッド板が形成されたリッドウエハを用意する工程と、
複数のベース板が形成されたベースウエハを用意する工程と、
前記圧電ウエハの前記第２主面と前記ベースウエハとを封止材を介して接合する工程と、
前記圧電ウエハの前記第１主面に形成された前記第１励振電極に逆スパッタを行うことにより前記励振部の振動数を調整する工程と、
前記圧電ウエハの前記第１主面と前記リッドウエハとを前記封止材を介して接合する工程と、を有する圧電デバイスの製造方法。
【請求項１】
リッド板と外部電極を有するベース板とに挟まれて接合され、前記リッド板側の第１主面及び前記ベース板側の第２主面を有する圧電振動片であって、
第１方向に伸びる第１辺及び前記第１方向に直交する第２方向に伸びる第２辺を含む矩形形状の励振部と、
前記励振部の前記第１主面に形成される第１励振電極及び前記第２主面に形成される第２励振電極と、
前記リッド板に接合される面である第１接合面及び前記ベース板に接合される面である第２接合面を有し前記励振部を囲む枠部と、
前記励振部の前記第１辺と前記枠部とを連結し、前記両主面と平行な平面と該平面に交差する側面とを有する一本の連結部と、
前記第１及び第２励振電極から前記連結部を介して前記枠部の前記第２接合面まで引き出される第１及び第２引出電極と、
を備え、
前記第１引出電極は、前記連結部の前記側面の少なくとも一部に形成されて前記枠部に引き出されている圧電振動片。
【請求項２】
前記第１引出電極と前記第２引出電極とは、前記連結部において前記平面の向かい合う方向及び前記側面の向かい合う方向に互いに重なり合わない請求項１に記載の圧電振動片。
【請求項３】
前記第１引出電極は、前記連結部の前記側面、前記第１主面、及び前記第２主面に形成され、
前記第２引出電極は、前記連結部の前記第２主面のみに形成されている請求項２に記載の圧電振動片。
【請求項４】
前記連結部の前記第２主面に形成される前記第１引出電極の前記側面の向かい合う方向への幅は、前記連結部の前記第２主面に形成される前記第２引出電極の前記側面の向かい合う方向への幅よりも狭い請求項３に記載の圧電振動片。
【請求項５】
前記第１引出電極は前記第１励振電極側の一端から前記第２接合面に延びる他端まで引き出される長さが第１長さであり、前記第２引出電極は前記第２励振電極側の一端から前記第２接合面に延びる他端まで引き出される長さが第２長さであり、
前記第１長さは前記第２長さよりも短く、
前記第１励振電極は前記第２励振電極より薄く、前記第１引出電極の一部は前記第２引出電極よりも薄い請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項６】
前記枠体の前記第１接合面に前記第１引出電極が形成され、前記連結部の前記リッド板側に形成される前記第１引出電極及び前記第２引出電極の合計面積が、前記連結部の前記ベース板側に形成される前記第１引出電極及び前記第２引出電極の合計面積よりも狭い請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項７】
前記第１引出電極は、前記励振部の前記第１辺の側面に形成される請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項８】
前記第１引出電極は、前記両接合面と交差する前記枠部の側面に形成される請求項７に記載の圧電振動片。
【請求項９】
前記第１励振電極と前記第１引出電極とが接続する箇所の前記第１引出電極の幅は、前記第２励振電極と前記第２引出電極とが接続する箇所の前記第２引出電極の幅よりも広い請求項５に記載の圧電振動片。
【請求項１０】
前記連結部は前記平面の向かい合う方向への厚さが第１厚さに形成され、
前記励振部は、前記第１辺の少なくとも一部を含んで前記連結部に前記平面の向かい合う方向に前記第１厚さで直接連結される第１領域と、前記第１及び第２励振電極が形成され前記第１領域以外の領域である第２領域と、を含み、
前記第２領域の前記平面の向かい合う方向への厚さは前記第１領域の前記平面の向かい合う方向への厚さよりも薄い請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項１１】
前記連結部は前記平面の向かい合う方向への厚さが第１厚さに形成され、
前記励振部は、前記第１辺の少なくとも一部を含んで前記連結部に前記平面の向かい合う方向に前記第１厚さで直接連結される第１領域と、前記第１及び第２励振電極が形成され前記平面の向かい合う方向への厚さが第２厚さである第３領域と、前記第１領域及び前記第３領域以外の領域であり前記第１領域と前記第３領域との間に形成され前記平面の向かい合う方向への厚さが第３厚さである第４領域と、を含み、
前記第１厚さ及び前記第２厚さが前記第３厚さよりも厚く形成された請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の圧電振動片。
【請求項１２】
請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載の圧電振動片と、
前記リッド板と前記ベース板とに挟まれた圧電デバイス。
【請求項１３】
第１主面及び第２主面を有し圧電材料により形成される圧電ウエハに、所定の振動数で振動する励振部、前記励振部を囲む枠部、及び前記励振部と前記枠部とを連結する一本の連結部を有する複数の圧電振動片の外形が形成される工程と、
前記励振部の前記第１主面及び前記第２主面にそれぞれ形成される第１励振電極及び第２励振電極と、前記第１励振電極側の一端から前記連結部を介して前記枠部の前記第２接合面の他端まで引き出される長さが第１長さである電極であり、前記連結部の側面の少なくとも一部に形成される第１引出電極と、前記第２励振電極側の一端から前記連結部を介して前記枠部の前記第２接合面の他端まで引き出される長さが前記第１長さよりも長い第２長さである第２引出電極と、が形成される電極形成工程と、
複数のリッド板が形成されたリッドウエハを用意する工程と、
複数のベース板が形成されたベースウエハを用意する工程と、
前記圧電ウエハの前記第２主面と前記ベースウエハとを封止材を介して接合する工程と、
前記圧電ウエハの前記第１主面に形成された前記第１励振電極に逆スパッタを行うことにより前記励振部の振動数を調整する工程と、
前記圧電ウエハの前記第１主面と前記リッドウエハとを前記封止材を介して接合する工程と、を有する圧電デバイスの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１３−２６８１０（Ｐ２０１３−２６８１０Ａ）
【公開日】平成２５年２月４日（２０１３．２．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１５９４９４（Ｐ２０１１−１５９４９４）
【出願日】平成２３年７月２１日（２０１１．７．２１）
【出願人】（０００２３２４８３）日本電波工業株式会社 (1,148)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年２月４日（２０１３．２．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年７月２１日（２０１１．７．２１）
【出願人】（０００２３２４８３）日本電波工業株式会社 (1,148)
【Ｆターム（参考）】
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