【課題】配線パターンの立体的な表面形状を検査し、そのパターン欠損部に局所的にコロイド液を吐出して補修する回路基板用配線パターン形成装置および配線パターンの補修方法を提供する。
【解決手段】配線パターンＰの立体的な表面形状を測長手段１３により計測する。こうして得られた配線パターンＰの立体的な表面情報から、パターン欠損部の位置と補充すべき体積とが分かる。その後、インクジェット機構１４により正確なパターン欠損部の位置に適量のコロイド液を吐出して、配線パターンＰの膜厚を正確かつ効率的に均一化させたり、配線パターンに発生した断線部を補修できる。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの目詰まりの発生を起きにくくすることができる液滴吐出装置および液滴吐出装置の微振動制御方法を提供する。
【解決手段】 機能液を吐出するためのノズル２７を有する吐出ヘッド２６と、機能液がリフレッシュされたときからの所定時間を計時するタイマ８９と、経過時間に対応した微振動電圧波形をノズル２７におけるメニスカスに印加するデータが記憶されたＲＯＭ７３またはＲＡＭ７４と、経過時間に対応したデータに基づいて吐出ヘッド２６に微振動電圧波形を印加するように指示するＣＰＵ７２とを備える。さらに、微振動電圧波形は、経過時間に伴って、徐々に大きくなるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】ステージの平面度、水平度を高精度に維持することができ、また、コストダウンすることができる位置制御ステージ装置及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】ステージ１３に鋳鉄を用い、その上面１３ａに、被パターン形成体Ｐを載置する移動テーブル３０を設け、ステージ１３を鉛直方向に昇降駆動する６つの空圧アクチュエータ１２Ａ〜１２Ｆにより支持し、そして、姿勢制御器１２１が位置センサＳ１の出力に基づいて、ステージ１３の上面１３ａが所定の位置を維持するようにそれぞれの空圧アクチュエータ１２Ａ〜１２Ｆを独立して制御、駆動した。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、ウェブ面に２層の塗工を行うに際して、余分な塗料を個別に分離して回収できるとともに、塗料カーテンエッジの安定化を図り、均一な塗工を行い得るカーテン式コータを提供することにある。
【解決手段】 本発明に関わるカーテン式コータ１０は、塗料供給装置Ｎが、ウェブｗに対して幅方向外側において、２種の塗料ｔa、ｔbの流路１１a、１２a外側に配設される両側リップＮ2、Ｎ2の先端部Ｎ21、Ｎ21よりウェブｗ側に突出する先端部Ｎ11を有するとともに２種の塗料ｔa、ｔbの流路１１a、１２a間に配設される中央リップＮ1を具え、かつ、中央リップＮ1の先端部Ｎ11に当接して、塗料供給装置Ｎより噴出された２種の余分な塗料ｔa1、ｔb1をそれぞれ個別に分離する凸状の塗料分離手段ｐbを備えている。
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【課題】加工部の位置を補正し、パターン形成を高精度かつ効率的に行うことを可能とするパターン形成装置等を提供する。
【解決手段】パターン形成装置１は、基板３のθ方向の位置調整、ヘッドユニット１３のＹ方向の位置調整を行った後、移動カメラ２７により、基板３に対するヘッドユニット１３の進入部分を撮影してヘッドユニット１３におけるパターンピッチを計測し、入力された画素ピッチ１１４と計測された画素ピッチ１１５との差異に基づいて、ヘッドユニット補正量１１６を算出し、回転機構１５によりヘッドユニット１３のθ方向位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】ヘッドのノズル孔製造精度のばらつきに起因する形成パターンの精度低下を緩和し、高精度なパターン形成を実現するパターン形成装置を提供する。
【解決手段】パターン形成装置１０１は、ガントリ１０９に設けられるインクジェットヘッドユニット１０３のヘッド１５１からインクを基板１１３に塗布しパターン形成を行う装置である。パターン形成装置１０１の制御部２０１は、ヘッド１５１に設けたノズル穴位置判別用マークを基に、ノズル孔を特定してノズル孔位置情報（ノズル孔配列方向と直交する方向へのノズル孔の位置ズレ量）を得る。制御部２０１は、当該ノズル孔位置情報を用いて算出した位置ズレ補正値を基に、インクジェットヘッドユニット１０３を移動させ、パターン形成時の精度の低下を軽減する。 （もっと読む）

【課題】基板の位置を補正し、パターン形成を高精度かつ効率的に行うことを可能とするパターン形成装置等を提供する。
【解決手段】パターン形成装置１は、移動カメラ１３により登録対象の基板３の各アライメントマーク３７を撮像し、各撮像画像を合成し、合成画像におけるアライメントマーク３７間の相対位置、移動カメラ１３の位置、Ｘ方向移動ステージ９の位置、アライメントマーク３７の位置、回転角等を登録し、次の加工対象の基板３が投入されると、投入した基板３のアライメントマーク３７を撮像して各撮像画像を合成し、θ方向移動ステージ７を回転させて、合成画像において、登録した相対位置と加工対象の基板のアライメントマーク３７間の相対位置とを一致させる。パターン形成装置１は、個々のアライメントマーク３７の位置ずれ量に基づいてＸ方向補正量及びＹ方向補正量を算出し、ヘッドユニット２３による加工時の装置座標にオフセットする。 （もっと読む）

【課題】機能液滴吐出ヘッドのノズル面に対するワイピングシートの押付け圧力を精度良く管理することができるワイピング装置を提供する。
【解決手段】ワークＷに機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッド３のノズル面４５を払拭するためのワイピングシート１１１と、払拭に際し、機能液滴吐出ヘッド３のノズル面４５にワイピングシート１１１を相対的に押し付ける押圧機構１５１，１５２，１５３と、押圧機構１５１，１５２，１５３のワイピングシート１１１への押付け圧力を調整する押圧力調整機構１８２と、押付け圧力を検出する圧力検出手段１５５と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】透明体である場合を含む塗布液を円筒状部材に塗布し、その塗布量を測定する装置を提供する。
【解決手段】円筒状部材１０の円周部に塗布液を線状に塗布する塗布ノズル１２と、塗布ノズル１２にて塗布する塗布液の吐出量を制御するディスペンサ１５と、円筒状部材１０を保持し所定の速度で回転及び位置決めするチャック部１１と、塗布ノズル１２により塗布液が塗布される円筒状部材１０の円周上の塗布位置に合焦点し、円筒状部材１０の当該塗布位置に対する回転方向の円周上の接線方向が光軸方向となるように配置されるカメラ２０と、円筒状部材１０の塗布位置に対してカメラ２０と対向して配置され円筒状部材１０を逆光状態にて照明する照明手段２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 洗浄液が揮発することによって発生するガスの乾燥装置の発熱による発火を規制する。
【解決手段】 各印刷ユニット３Ａないし３Ｄの圧胴９の近傍にＵＶランプを備えた乾燥装置３０が設けられ、ゴム胴８と圧胴９には洗浄装置１８が備えられている。各乾燥装置３０の近傍には、洗浄装置１８から供給された洗浄液の溶剤が揮発することにより発生するガスの濃度を検出するガス濃度検知センサ３５が設けられている。各ガス濃度検知センサ３５からの出力値と、予め設定された設定値とを比較して設定値よりも高いとき、乾燥装置３０のＵＶランプ３１の点灯を停止させる制御装置３６が設けられている。 （もっと読む）