【課題】簡単な制御で増粘液体を吐出させる。
【解決手段】次の構成要素を有する液体吐出装置である。すなわち、（ａ）ノズルと、（ｂ）このノズルに対応して設けられ、液体を吐出させるための動作を行う素子と、（ｃ）液体を対象物へ吐出させるための第１吐出パルスを含む第１駆動信号と、増粘した液体を対象物外へ吐出させるための第２吐出パルスを含む第２駆動信号とを、同時に生成する駆動信号生成部と、（ｄ）ノズルが対象物上に位置する場合に、前述の素子に第１吐出パルスを印加させ、ノズルが対象物外に位置する場合に、前述の素子に第２吐出パルスを印加させるコントローラと、を有する。 （もっと読む）

【課題】ポンプはさまざまな圧力で液体塗布器に液体を供給する。
【解決手段】ホットメルト接着剤のように制御されたパターンで液体を吐出する装置は、ポンプと、そのポンプに結合された塗布器と、塗布器とポンプの間の液体流路に配置された圧力変換器と、圧力変換器に結合されたコントローラーとを有している。ポンプはさまざまな圧力で液体塗布器に液体を供給する。圧力変換器は、液体の圧力を検知し、感応した圧力を表す信号を生成する。コントローラーは、信号を受信し、受信した信号に基づいて塗布器から吐出しているプロセスエアー圧力を変更する。 （もっと読む）

【課題】スペーサ分散液を安定して供給可能な方法及び供給管を提供する。
【解決手段】本発明の振動供給管６０ａは、カバー６１と配管本体６２とを有しており、カバー６１と配管本体６２との間の隙間６６に振動媒体液を配置した状態で、カバー６１に取り付けられた振動手段６５を振動させると、カバー６１が振動する。振動媒体液はカバー６１と配管本体６２に接触するので、カバー６１の振動は振動媒体液を介して配管本体６２に伝わり、配管本体６２の内部を流れるスペーサ分散液が振動し、攪拌される。配管本体６２には、振動媒体液で拡散された後の振動が伝わるので、配管本体６２の広い領域が振動し、また、振動手段６５振動は配管本体６２に直接伝わらないので、配管本体６２が局所的に強く振動することもない。 （もっと読む）

【課題】微小な異物であっても、あるいは、非常に低い高さの基板の隆起部分であっても、検出漏れをなくし、塗布ヘッドの保護を確実にしたスリットコート式塗布装置およびスリットコート式塗布方法を提供する。
【解決手段】基板１０を塗布ヘッド２に対して相対移動する相対移動手段とを備えたスリットコート式塗布装置１は、塗布対象である平面の基板１０の被塗布面上に塗布流体をスリット状の開口部から流出する塗布ヘッド２と、前記塗布ヘッドと一体に併設されている板状部材４と、前記板状部材の先端にあり基板面と平行に直線状の形状をなしている先端部５と、板状部材より塗布方向の上流にあり、異物などを検知するレーザーによる検知部６とからなる。 （もっと読む）

【課題】印刷ヘッドの位置および方向を正確に校正するための装置を提供する。
【解決手段】このシステムは印刷の間、印刷ヘッドに対して基板を動かすステージと、前記ステージの上の支持体から吊され、前記ステージの上方の平面内において移動可能な少なくとも２つの印刷ヘッドと、前記印刷ヘッドの中心を中心として前記印刷ヘッドを回転させるよう動作するコントローラと、前記印刷ヘッドの画像を撮像し、前記印刷ヘッドが回転しているときに撮像される前記印刷ヘッドの画像に基づいて、前記印刷ヘッドの中心点を決定する。 （もっと読む）

【課題】むらの発生を抑制しつつ、成膜時間を短縮することができるスピンコート装置を提供する。
【解決手段】スピンコート装置１０は、円板状の基板１２を略水平な状態で保持して回転駆動するための回転駆動部１４と、基板１２の上に流動性材料１６を吐出するためのノズル部１８と、回転駆動部１４を収容し、且つ、回転駆動部１４の上方に基板１２の搬入／搬出のための上部開口２０が設けられたケーシング２２と、回転駆動部１４の周囲の雰囲気を下方に吸引してケーシング２２の外部に排気するための排気機構２４と、ケーシング２２の上部開口２０を部分的に遮蔽することにより、回転駆動部１４の上方に該回転駆動部１４の中心軸に対し対称的な形状の吸気孔２６を形成可能であり、且つ、該吸気孔２６を径方向に拡大／縮小自在である遮蔽機構２８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 液晶滴下量を正確で迅速に測定する液晶滴下量測定システム及びその方法を提供する。
【解決手段】 本発明による液晶滴下量測定システムは、基板上に液晶を滴下する液晶滴下器、及び液晶滴下量を測定する複数の液晶滴下量測定器を含み、液晶滴下量測定器は、滴下する液晶に光を照射する光源、及び光源から照射されて液晶を通過した光を認識するカメラ、液晶の体積を測定し適切な滴下量を計算しフィードバックする制御部、及びフィードバックした適切な滴下量にも基づいて液晶の滴下量を調節する調節部を含む。したがって、高速カメラを利用して滴下される液晶の実際の体積を測定することにより、リアルタイムで液晶滴下量を液晶滴下器にフィードバックし、液晶滴下量を調節することができる。また、液晶滴下量を測定するための別途の装置及び工程が不要になるので費用が節減され、迅速なフィードバックが可能である。 （もっと読む）

【課題】
描画されたペーストパターンの塗布状況を正確にしかも高速に計測、検査できるようにする。
【解決手段】
ペ−スト収納筒１３内のペーストをノズル１３ａの吐出口から基板２４上に吐出させながら、基板２４とノズル１３ａとの相対位置関係を変化させ、基板２４上に所望形状のペーストパターンＰＰを描画し、しかる後、ノズル１３ａの支持板１５に、ノズル１３ａと共に基板２４に対する相対位置関係を変化させるように、基板２４上に描画されたペーストパターンＰＰにスポット光を照射する光源２３とこのスリット光が照射されて基板２４上のペーストパターンＰＰを横切るようにスポット光が映出された領域を画像認識する手段２２を設け、さらに、この画像認識手段２２で得られた画像から、スポットマークの画像を用いてペーストパターンの高さを求める画像処理手段１７ｇを設けた。
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【課題】 固定容器内のミスト化した処理液の滞留を抑制すると共に、固定容器の外部への噴出を抑制して、ミストの基板への付着の抑制及び外部の周辺機器類への付着の抑制等を図ること。
【解決手段】 回転可能なスピンチャック５０により保持された基板Ｇに処理液を供給するノズル７０と、スピンチャックにより保持された基板を蓋体６１によって密閉された空間内に収容し、スピンチャックと同期して回転可能な回転カップ６０と、回転カップを囲繞すると共に、上部に気体導入口６２ｂを有し、下部に排気口８１を有する固定カップ６２とを具備する基板処理装置において、固定カップは、回転カップの外壁との間に形成される狭隘流路６５に連なって回転カップの下方に膨隆する気流制御室６６と、気流制御室の底部に設けられる環状スリット６７を介して気流制御室に連なるバッファ室６８及びこのバッファ室内で気液分離された液を排液する排液口６９を設ける。 （もっと読む）

【課題】 塗布不良の大量発生を防止することができる塗布装置を提供すること。
【解決手段】 塗布装置は、ワーク２０に搭載された複数の電子回路へ防滴剤を塗布する前に吐出状態及びノズル１２の変形の検出を行う（ステップＳ１０〜ステップＳ１３）。吐出ガン駆動装置１０は、塗布状態が正常で、かつノズル１２が変形していない場合はワーク２０へ防滴剤を塗布する（ステップＳ１４）。また、塗布装置は、ワーク２０へ防滴剤を塗布した後にも吐出状態及びノズル１２の変形の検出を行う（ステップＳ１５〜ステップＳ１８）。そして、ワーク２０に搭載された複数の電子回路へ防滴剤を塗布する前、及び塗布した後において、吐出状態が正常でない場合、もしくはノズル１２が変形している場合は、警告すると共に、吐出ガン１１の駆動制御、ワーク２０の搬送を停止する（ステップＳ１９〜ステップＳ２０）。 （もっと読む）