【課題】 塗布する膜厚をリアルタイムで制御する、スリット式塗布工程の膜厚監視方法およびその装置を提供する。
【解決手段】 光学センサ１１０により、光学信号１１２ａ、１１２ｂの出射および受信を行い、塗布前における光学センサおよび基材間の距離を測定する。また、光学センサ１１０により、光学信号１１２ａ、１１２ｂの出射および受信を行い、塗布処理を行う間に光学センサと基材表面の塗膜１０６との距離を連続的に測定する。そして、光信号処理回路１２０により、塗布前および塗布処理中の光学信号１１２ａ、１１２ｂを比較して、塗膜の厚みを算出する。そして、塗膜の厚みに関する情報に基づいて、塗膜の厚みをリアルタイムで制御する。 （もっと読む）

基板上の少なくとも１部分に製品を形成するためのインテリジェント被覆システムが開示される。インテリジェント被覆システムは、被膜塗布冶具、厚みモニタ、多軸デバイス、および選択が随意な少なくとも１つの制御器を含む。厚みモニタは、被膜塗布冶具の操作によって形成された基板上の製品の少なくとも１部分の厚みを測定し、被覆システムをインテリジェント被覆システムに変換することが可能である。多軸デバイスは、被膜塗布冶具と基板の少なくとも１部分との相対運動を容易にする。少なくとも１つの制御器は少なくとも１つの厚みモニタと情報の授受を行う。 （もっと読む）

【課題】ワークの３次元データに基づいて、エアポケットを検出する際に要する処理時間が短縮でき、計算を簡単化する
【解決手段】水平方向のワーク断面に沿う水平スプライン５１をワーク１０の３次元データから生成し、互いに離間された鉛直方向のワーク断面に沿って水平スプラインを基準として鉛直上方に向かう複数の鉛直上方スプライン５２，５３を３次元データから生成し、水平スプライン５１および鉛直上方スプライン５２，５３が全て閉じている場合には、ワークに液が付着しないまま維持されるエアポケット部分が存在すると判定する。 （もっと読む）

液体の吐出開始・終了位置を適切に設定しうる液体吐出装置、液体吐出システム、及び、液体吐出方法を実現する。送り機構によって送られる媒体に対して、移動する前記吐出ヘッドから液体を吐出させる開始位置と終了位置の少なくともいずれか一方を決定するための位置決定制御を実行するコントローラを有し、前記媒体の送り方向先端又は後端から所定範囲内の領域に前記吐出ヘッドから液体を吐出する際と、前記媒体の送り方向中央領域に前記吐出ヘッドから液体を吐出する際とで、前記コントローラによる前記位置決定制御が異なる。
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【課題】 乾燥性の高い液状体を用いる場合でも、乾燥ムラを生じさせない。
【解決手段】 液状体を吐出して基板に塗布する吐出装置と、液状体が塗布された基板を乾燥させる乾燥装置とを備える。基板に吐出された後の前記液状体の溶媒蒸発量に関する情報を測定する測定手段と、測定手段の測定結果に基づいて、液状体が塗布された基板に対する処理を制御する制御手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 液滴吐出装置から吐出される液滴などの被計測物の物理量を計測することを容易にすること。
【解決手段】 計測装置は、光ビームを発生する光発生器と、前記光ビームを受光する光検出器と、前記光発生器と前記光検出器との間の前記光ビームの光路上に位置して、前記光路に垂直な第１方向に沿って前記光ビームの幅を細くする光学部と、を備えている。ここで、前記第１方向への速度成分を有する被計測物が前記光学素子と前記光検出器との間の前記光路の所定部分を通過するように、前記光路が配置されている。また、前記所定部分での前記光ビームの前記第１方向に沿った幅は、前記被計測物の前記第１方向に沿った幅以下である。そして、前記所定部分での前記光ビームの第２方向に沿った幅は、前記被計測物の前記第２方向に沿った幅よりも大きい。なお、前記第２方向は前記光路および前記第１方向の双方と異なる。 （もっと読む）

【課題】振動モードを単純にして検出感度を高めるとともに、液体から受ける振動の影響を低減することができる液体検出装置の取付構造を提供する。
【解決手段】キャビティ４３とその底面の振動部６１が設けられた振動キャビティ形成基部４０と、上記振動部６１側に形成された圧電素子１７と、上記振動キャビティ形成基部４０の開口側に積層され、上記キャビティ４３に対するインク供給路１９とインク排出路２０が形成された流路形成板１８とを備えた検出部１３と、上記検出部１３が取り付けられ、上記インク供給路１９に連通する供給側バッファ室１５と、上記インク排出路２０に連通する排出側バッファ室１６とを有するバッファ部１４と、上記検出部１３とバッファ部１４との間に介在して検出部１３とバッファ部１４との間をシールする弾性シール部材２９とを備え、検出精度を向上させ、インク液体が減って産業廃棄物も減少する。 （もっと読む）

【課題】 シーラーの塗布品質の管理を正確に行う。
【解決手段】 レーザー投光機１８によって、ウインドガラス１２上に塗布されたシーラー１６に対し、塗布ガン１４と平行な方向からレーザースリット光Ｌを照射し、シーラー１６の断面形状を、レーザースリット光の線形状として視認可能とする。制御手段２４において、レーザースリット光の照射軸に対する傾斜角の小さいカメラ２０で撮影した画像に基づき、画像内でのワーク表面座標及びシーラー１６の幅を検出する。また、カメラ２０で撮影した画像に基づき検出された画像内でのワーク表面座標と、レーザースリット光の照射軸に対して傾斜角の大きいカメラ２２で撮影した画像とに基づき、シーラー１６の高さを検出する。よって、シーラー１６の断面形状を正確に把握し、シーラー１６の塗布高さとシーラーの塗布幅を正確に求めることができる。
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【課題】 測定対象ノズル群から吐出される単位ショット数当たりの機能液吐出量を、短時間且つ正確に重量測定することができる機能液滴吐出ヘッドの吐出量測定方法等を提供することを課題とする。
【解決手段】 重量計測手段９１により計測可能な重量に達するように、ｎ個の有効ノズル６５ａからそれぞれ複数ショットの機能液滴を吐出させ、当該複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定し、重量計測手段９１により計測可能な重量に達するように、ｍ個の測定対象ノズル６５ｃ以外の有効ノズルである（ｎ−ｍ）個の測定対象外ノズルからそれぞれ複数ショットの機能液滴を吐出させ、当該複数ショットに亘る機能液吐出量を重量測定し、それぞれの測定重量の差に基づいて、測定対象ノズル群６６の単位ショット数当たりの機能液吐出量を算出する。 （もっと読む）

【課題】 機能液を無駄に消費することを抑え、機能液が吐出ヘッドのノズルから正常に吐出されるか否かを判定できる機能液吐出性試験方法、機能液吐出性試験装置および機能液吐出性試験装置を備えた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 機能液吐出性試験方法は、まず、タイマ設定工程Ｓ１において、タイマが計時する所定時間を設定する。次に、排出工程Ｓ２で、フラッシングまたはキャッピングによる吸引により、ノズルから機能液を排出する。排出工程Ｓ２後、計時開始工程Ｓ４で、タイマに所定時間の計時を開始させ、所定時間の経過後、微振動電圧波形印加工程Ｓ１０で、ノズルから液滴を吐出させない程度の微振動電圧波形を印加する。そして、メニスカス測定工程Ｓ１１で、微振動電圧波形の印加による機能液のメニスカスを測定し、最後に、判定工程Ｓ１２で、測定結果に基づきメニスカスが正常であるか否かを判定する。 （もっと読む）