【課題】 基板の表面に異物が存在するか否かを検査する。
【解決手段】 基台１上に設けられた口金部２と、図示しない駆動源によって所定方向に往復動可能な基板支承台３と、基板支承台３に吸着状態で支承される基板４と、口金部２と平行に半導体レーザー光を、所定の広がりを有する状態で照射する投光器５と、この半導体レーザー光を受光する受光器６とを有している。 （もっと読む）

【課題】 基板の表面に異物が存在するか否かを検査するとともに、異物の存在の検出が複数回である場合における最適な処理を提供する。
【解決手段】 基台１上に設けられた口金部２と、所定方向に往復動可能な基板支承台３と、基板支承台３に吸着状態で支承される基板４と、口金部２と平行に半導体レーザー光を、所定の広がりを有する状態で照射する投光器５と、この半導体レーザー光を受光する受光器６とを有している。そして、少なくとも、異物の存在が所定回数以上連続することに応答して基板塗布工程を中断させる制御部を有している。 （もっと読む）

【課題】外周縁部において上方に大きく突出する凸部の存在しない塗膜を製造コストを高騰させることなく形成し得る塗膜形成装置を提供する。
【解決手段】基材の一面側に樹脂材料Ｒを滴下する滴下部３１と、基材を回転させる回転部３２と、樹脂材料Ｒに紫外線を照射するエネルギー線照射部３４と、紫外線の照射を規制する照射規制部３３と、制御部３６とを備えて基材の一面側に塗膜を形成可能に構成され、制御部３６は、滴下部３１に対して樹脂材料Ｒを滴下させると共に回転部３２に対して基材を回転させることによって樹脂材料Ｒを展延させた後に、回転部３２に対して基材を所定の回転速度で回転させた状態でエネルギー線照射部３４に対して基板の一面側に向けて紫外線を照射させると共に照射規制部３３に対して基材の一面における外周縁部上の樹脂材料Ｒへの紫外線の照射を規制させる。 （もっと読む）

【課題】基板上の異物もしくは基板の一部が異物により盛り上がり状態になされた異常状態を検出する光学的な検出手段を具備した処理液塗布装置において、光の回析等により生ずる誤検出を低減させる。
【解決手段】基板１の幅方向に延びるスリット状吐出開口１１ｂを有する処理液供給ノズル１１とを相対的に移動させて基板１の表面に塗布する装置で、処理液供給ノズル１１の移動方向の前方に投光部３と受光部４が配置され、前記投光部３と受光部４を結ぶ光ビームの直進路５の上部を覆う光軸誘導体１３が具備され、この光軸誘導体１３は基板１との間でトンネル状の狭い直線状の空間を形成する。これにより、前記光軸誘導体１３は投光部３から受光部４を結ぶ直進路を通る光ビーム５を対象とした光透過形センサを構成し、光の回析により投光部３から受光部４を結ぶ直進路を迂回して受光部に至る光を効果的に減衰させることで、誤検出の発生を効果的に防止する。 （もっと読む）

【課題】 ダイヘッド或いはコーティング面を傷付けることなく、ダイヘッドとコーティング面のギャップを測定する。
【解決手段】 ダイヘッド１００の両端には測定ブロック１１０が設けられ、測定ブロック１１０のエア孔１１１からエアを吐出する。エアを吐出する時に発生するエアの圧力抵抗値を差圧計１２０で測定し、圧力抵抗値からギャップ寸法を演算する。差圧計で測定された信号は、制御装置１７０に送信され、制御装置１７０は予め設定されたプリセット値と測定値との差が無くなるようにダイヘッド移動機構１８０を操作する。 （もっと読む）

本発明は、中心から外側へ低まる傾斜部を有し、その内側が、基材の装着時に基材の外周部と隣接または接触することを特徴とする上面を備える環状または多角形部材を含み、環状または多角形部材の内側面が半径方向の外側へ低まる傾斜部を有するスピンコーティング用装置を提供する。スピンコーティング用装置を使用して基材の表面をコーティング材でスピンコーティングする場合、基材末端部に発生するスキージャンプ現象を減少させ、コーティング材による基材の汚染を防止しうる。
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【課題】塗布される蛍光体の供給重量又はドット・サイズを精度良く調整する。
【解決手段】噴射システムは、プラズマ・パネル６６に対する相対運動のため取り付けられた噴射ディスペンサ７０を有する。制御装置は、噴射ディスペンサに、パネルのセルに塗布される蛍光体の液体粒子６４を噴射させるよう動作可能である。ドットの位置及びサイズを示すフィードバック信号が、制御装置に通信される。引き続き塗布される蛍光体のドットのサイズ、速度オフセット及び／又は位置が、フィードバック信号に応答して、加熱又は冷却し、又は噴射ディスペンサのピストンのストロークを調整することにより制御される。 （もっと読む）

【課題】 塗布液塗布量を計量を中断することなく連続的で正確な計量ができる塗布液塗布装置における塗布液塗布量測定方法を提供する。
【解決手段】塗布液を塗布液供給タンクから供給ポンプを経て塗布器へ供給し、前記塗布器からベースに塗布液を塗布し、前記塗布液のうち掻き落とされた過剰塗料を前記塗布液供給タンクへ回収するようにして成る後計量系の塗布液塗布装置において、前記塗布液供給タンクの総重量を連続的に計量し、その計量値の変化量から塗布量を演算するようにした。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡単で、設置が容易であり、不透明な基板の場合にも容易に使用可能なアライン装置を提供する。
【解決手段】 基板と前記基板にプリント作業を行うように、複数のオリフィスが備えられたプリントヘッドを整列するためのアライン装置に関し、前記プリントヘッドと前記基板を整列するように、前記基板と前記プリントヘッドとの間に備えられ、前記プリントヘッドのオリフィス及び前記基板を撮影するカメラユニットと、前記カメラユニットを前記基板と前記プリントヘッドとの間に移送自在に支持するカメラ移送部とを含む。 （もっと読む）

基板洗浄装置は、洗浄部材２に押し付けてこれを洗浄する当接部材１４、当接部材１４を駆動制御する駆動制御手段２１、及び洗浄液１１を収納し洗浄部材２と当接部材１４の当接部分を浸漬させる洗浄槽１２を含む洗浄装置１０、洗浄部材２の表面画像を取り込む画像取得手段１６、並びに画像処理装置１７を含み、洗浄部材２の表面状態をモニターしその交換時期を判断する。基板洗浄装置は、洗浄槽１２内の洗浄液１１中のパーティクル数及び／又は成分濃度を測定する測定手段１３を具備し、測定手段１３による測定結果を駆動制御手段２１にフィードバックし、洗浄部材２の汚染を防止する。
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