【課題】長尺状の隙間から流体を吐出するノズルの当該隙間を短時間に安定して測定することができる隙間検査装置を提供する。
【解決手段】スリットノズル２を固定保持するとともに、超音波プローブ４０，５０をスリットノズル２の外側に所定間隔にて対向配置する。超音波プローブ４０から出射された超音波が平板２ａの内壁面によって反射された反射波ＲＳ２が超音波プローブ４０に到達するまでの時間から超音波プローブ４０と平板２ａの内壁面との間の距離が求められる。同様に、超音波プローブ５０から出射された超音波が平板２ｂの内壁面によって反射された反射波ＲＳ４が超音波プローブ５０に到達するまでの時間から超音波プローブ５０と平板２ｂの内壁面との間の距離が求められる。超音波プローブ４０と超音波プローブ５０との配置間隔からそれらを減算して隙間３の間隔を測定する。 （もっと読む）

【課題】微少量の液体を滴下することができる液体滴下装置及び液体滴下方法を提供する。
【解決手段】貼り合わされる基板の少なくとも何れか一方に液体としての液晶ＬＣを滴下するディスペンサ５１を備え、ディスペンサ５１は、液晶ＬＣを保持するシリンジ５５と、当該シリンジ５５の下部に設けられている、液晶ＬＣの流れを遮断可能な開閉弁と、シリンジ５５に保持された液晶ＬＣを滴下させるために液晶ＬＣに圧力を加えるプランジャ５６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 塗膜をより容易に検査すること。
【解決手段】 励起光が照射されるとその励起光と波長が異なる蛍光を発光する蛍光物質を含有する塗膜に被覆された被検体４１に励起光を照射するステップＳ１と、励起光の照射により塗膜から発生する蛍光に基づいて塗膜を検査するステップＳ２とを備えている。このような塗膜検査方法によれば、その蛍光を検査することによりその塗料による塗膜の欠陥をより容易に発見することができ、ＳＳＴ検査（塩水噴霧試験）より速く検査することができる。
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【課題】 被処理基板の厚さを短時間で効率的に測定すること。
【解決手段】 レジストノズル１２０に取り付けられている基板厚み測定部１５０は、内蔵の投光部からの光ビームＬＡを基板Ｇの非製品領域Ｇ_mに投光して、基板Ｇのおもて面と裏面からの反射光ＬＡ_a，ＬＡ_bを受光し、それぞれの受光位置間の距離間隔から基板Ｇの厚みを表す測定値を得る。この光学的な基板厚み測定を、レジストノズル１２０が所定量降下する度毎に実行し、複数個の測定値を得る。次いで、それら複数個の測定値から代表値（最大値、平均値等）を求める。 （もっと読む）

【課題】対象物の検出精度の低下を防止しつつ、作業者の負担を軽減することを目的とする。
【解決手段】基板処理装置に検出センサ４５０を構成する投光部４５０ａと受光部４５０ｂとを設ける。受光部４５０ｂを、投光部４５０ａから照射されるレーザー光の直接光を受光する位置から（＋Ｚ）方向にずらし、対象物によって反射される反射光を受光する位置に配置する。基板処理装置は、受光部４５０ｂがレーザー光を受光した場合には、対象物が存在すると判定して、スリットノズルの移動機構を制御する。 （もっと読む）

【課題】光ディスク作製用基板に、均一膜厚で塗膜欠陥の少ない色素記録層を容易に形成することができるスピンコート装置を提供する。
【解決手段】色素記録層を回転塗布により基板上に形成する際、余分な塗布液が基板面に付着するのを防止するための塗布液捕捉用部材として、倒立円錐状の跳ね返り防止リング１００を塗布液飛散防止壁３０の内側に、所定の態様で２段（１００ａ，１００ｂ）に配備するとともに、塗布液飛散防止壁３０内の気体を排気するための排気手段を設ける。回転塗布時の余分な塗布液が塗布液飛散防止壁３０で跳ね返っても、これを跳ね返り防止リング１００で捕捉することができる。 （もっと読む）

【課題】 液状物の粘度が変動した場合でも、液滴を安定して吐出することのできる液滴吐出装置、およびこの液滴吐出装置を用いた電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 液滴吐出装置では、貯留タンク３７０内の液状物は、攪拌装置９５によって常に攪拌され、常に全体が均一な状態にある。また、貯留タンク３７０内の液状物は、粘度計測装置９０によって、所定の間隔で、あるいは連続的に粘度が計測され、その計測結果は、コンピュータ本体部に入力される。従って、外部温度あるいは液組成の変動によって、液状物の粘度が変動しても、圧力発生素子に印加する駆動信号の波形を自動的に変更することができるので、吐出性能を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】 塗布膜形成成分を溶剤に溶かしてなる塗布液を基板の表面に塗布して成膜するにあたり、塗布後の基板に塗布むらの有無を速やかに検査すること
【解決手段】 基板例えばウエハＷを搬送アームＡにより筺体３内に搬入してスピンチャック３１に水平の保持し、塗布液ノズル５から塗布液を塗布して成膜する。そして塗布後のウエハＷを筺体３から搬出しているときに、当該ウエハＷの表面の画像データをラインセンサ７２により取得し、この画像データに基づいて塗布むらの有無を判定する構成とする。これによりウエハＷの表面の塗布むらを速やかに検出することができ、その結果を次に処理される後続のウエハＷに有効に反映させることができる。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でありつつも、実際の液滴を１滴ごとに高速に計測可能な液滴計測装置および液滴計測手段を提供すること。
【解決手段】 液滴１８０の飛翔経路にレーザ光１３０を発生するレーザ光発生部１２０と、レーザ光１３０の強度を電気信号に変換する光電変換部１５０と、該電気信号を処理する信号処理部１６０とを備え、該信号処理部１６０は、前記液滴が前記レーザ光を通過するときの前記光電変換部１５０の信号強度と該液滴の重量との関係式を記憶しており、該関係式に基づいて、前記光電変換部１５０から入力された信号強度に対応する液滴の重量を計算する。 （もっと読む）

２つの絞りローラ（３、４）によって形成された少なくとも１つの加圧ニップ（５）が設けられたプレス区間（２）を有し、かつ媒体、特に澱粉を塗布する装置（６、７）が配置された、紙ウェブ、厚紙ウェブ、又は他の繊維ウェブ（１）の製造用機械を開示する。繊維ウェブ（１）は、バンド（８）に沿って加圧ニップ（５）を通って案内され得る。本発明による機械は、この装置（６、７）が、媒体を繊維ウェブ（１）に間接的に塗布するために絞りローラ（３、４）の少なくとも１つに載っていることを特徴とする。
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