【課題】ウェーハの表裏両面を同時に加工して所定量除去する加工プロセスにおいて、製品となるウェーハを用いて表裏両面の取代をそれぞれ別々に短時間で簡便に評価でき、それによって表裏取代がそれぞれ調整されたウェーハの製造を可能にする取代の評価方法を提供することを目的とする。
【解決手段】外周が面取りされたウェーハの表裏両面を加工して所定量除去する加工プロセスにおいて、加工後の前記ウェーハの取代を評価する取代の評価方法であって、加工前後の前記ウェーハの表裏面それぞれの面取り幅の変化量に基づいて前記ウェーハの表裏面それぞれの取代を算出して評価することを特徴とする取代の評価方法。 （もっと読む）

【課題】 加工品質の悪化や加工不良、ウエーハの破損を抑制可能なリチウムタンタレートの研削方法を提供することである。
【解決手段】 リチウムタンタレートの研削方法であって、リチウムタンタレートをチャックテーブルで保持する保持ステップと、該チャックテーブルに保持されたリチウムタンタレートを所定の回転周速度で回転させ、研削液を供給しつつ研削砥石を有する研削ホイールを所定の回転周速度で回転させながら該研削砥石をリチウムタンタレートに当接させてリチウムタンタレートを研削する研削ステップとを具備し、該研削液の温度は５℃以上１５℃以下であり、リチウムタンタレートの回転周速度は４７．８５ｍ／分以上７９．７６ｍ／分以下であり、該研削ホイールの回転周速度は８７９．２ｍ／分以上１３８１．６ｍ／分以下である、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】サファイア基板や炭化珪素基板等の硬質基板であっても研削砥石による所謂食いつきを良好にして滑りを防止することにより破損させることなく所定の厚みに形成することができる硬質基板の研削方法および研削装置を提供する。
【解決手段】硬質基板の被加工面を研削して所定の厚みに形成する硬質基板の研削方法であって、硬質基板の被加工面に傷を付けて梨地面に形成する梨地加工工程と、梨地加工工程が実施された硬質基板の被加工面をダイヤモンド砥粒を主成分として構成された研削砥石によって研削し、所定の厚みに研削する研削工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】研削方法、電子デバイスの製造方法、及び研削装置において、砥石や研磨紙の目詰まりを抑制すること。
【解決手段】基材２１上に樹脂層２３を形成する工程と、樹脂層２３に紫外光１１を照射しながら、若しくは樹脂層２３に紫外光１１を照射した後に、砥石又は研磨紙により樹脂層２３を研削する工程とを有する研削方法による。 （もっと読む）

【課題】作業効率および作業精度を高めるとともに、発泡系断熱材を切削したときの切り屑を簡単に処分することができる切削装置を提供することを課題とする。
【解決手段】一対の枠部材の間に吹き付けられて膨張した発泡系断熱材の表面を切削するための切削装置１０であって、開口部２１が形成されるとともに、内部空間に通じる吸気孔２２が形成されたカバー部材２０と、カバー部材２０内に取り付けられた基軸部材３０，３０と、基軸部材３０，３０の外周面に設けられ、枠部材の表面よりも柔軟な切削部材４０と、基軸部材３０，３０を軸回りに回転させる駆動機構と、を備え、カバー部材２０の開口部２１を発泡系断熱材の表面に対向させ、基軸部材３０，３０を回転させることで、切削部材４０によって発泡系断熱材の表面が切削される。 （もっと読む）

【課題】炭素繊維を含む素材を、機械加工によって精度よく、加工面精度も良好に加工でき、かつ、工具寿命も向上させることができる炭素繊維素材の加工方法を提供する。
【解決手段】炭素繊維を含む素材のワークＷを加工する炭素繊維素材の加工方法。ワークＷを載置するテーブル１２と回転可能な主軸１９とが少なくとも１軸方向へ相対移動可能に構成された工作機械を用意し、この工作機械の主軸１９に、円柱状の工具本体、この工具本体の外周に形成された切り刃部、および、この切り刃部の表面に砥粒が電着固着された砥粒層を有する電着工具３０を取り付け、主軸を回転させるとともに、主軸とテーブルとを相対移動させながら、電着工具によってワークを加工する。 （もっと読む）

【課題】 研磨装置上で研磨直後のウエーハの研磨面及び非研磨面ともに保護膜剤でコーティングすることのできる研磨装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに対峙して該保持テーブルの上方に配設され被加工物を研磨する研磨パッドを有する研磨手段とを備えた研磨装置であって、該保持テーブルで保持された被加工物へ保護膜剤を供給する保護膜剤供給源と、被加工物を保護膜剤に浸漬せしめる浸漬手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】表面が平滑で高精度な研磨面であるセラミックス多孔質体およびその製造方法の提供。
【解決手段】多数の粒子で構成されるセラミックス多孔質体の表面を、固定砥粒からなる砥石を用いて研磨するセラミックス多孔質体の研磨加工方法に関し、セラミックス多孔質体の形状が円筒状である場合、（幅広の）ベルト式の砥石６を取り付けたゴム製の回転軸ａ（２）と、ゴム製の回転軸ｂ（３）と、を平行に配置し、それら回転軸ａと回転軸ｂとの間に、支持部ｃ(図示せず）で下面を支持してセラミックス多孔質体７を通し、回転軸ａ、回転軸ｂを回転させながら、セラミックス多孔質体を送り出して（Ａ）その表面を研磨する。また、多孔質体の形状が平面及び曲面を含む場合、ラップ盤を使用し、研磨砥粒を固定した砥石を取り付けて、その砥石にセラミックス多孔質体を押し当てつつ、テーブルを回転させて、セラミックス多孔質体の表面を研磨する。 （もっと読む）

【課題】無端ベルトが大きく蛇行することがなく、無端ベルトに波打ちが発生することがなく、無端ベルトの表面を均一かつ美麗に研磨することができる無端ベルトの製造方法及び無端ベルトの研磨装置を提供する。
【解決手段】ゴム製の無端ベルトを駆動軸と従動軸の間に張架して、駆動軸により無端ベルトを回転させつつ、駆動軸上の軸方向に平行往復運動する研磨材により無端ベルトの表面を研磨する無端ベルトの製造方法において、従動軸が中央部において直径が一定である円柱形であり、中央部から端部にかけて次第に直径が中心に対して対称的に減少する形状であることを特徴とする無端ベルトの製造方法、並びに、ゴム製の無端ベルトを張架する駆動軸と従動軸及び駆動軸上の軸方向に平行往復運動する研磨材により無端ベルトを研磨する研磨材を有する無端ベルトの研磨装置において従動軸が中央部において直径が一定である円柱形であり、中央部から端部にかけて次第に直径が中心に対して対称的に減少する形状であることを特徴とする無端ベルトの研磨装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ゴム製の無端ベルトを駆動軸と従動軸の間に張架して、駆動軸により無端ベルトを回転させつつ、従動軸上を往復運動する研磨材により無端ベルトの表面を研磨する研磨機への無端ベルトを張架する装着操作が容易で、無端ベルトの装脱着以外の操作は、スイッチ操作によって自動的に機械操作でき、研磨時のブレが少ないので、無端ベルトが精度よく製造できる研磨機を提供する。
【解決手段】駆動軸の一方の軸端部は、駆動軸の固定と固定解除が自在の押圧固定具によって、台座の上に片持ち状態に固定されてなり、駆動軸の他方の端部は台座から遊離可能であり、従動軸は、従動軸固定具によって、台座に固定されてなり、台座は、研磨センターの位置の手前の無端ベルト装着作業位置から、研磨センターと駆動軸の中心合わせの位置までの間を移動させ、駆動軸の端部に研磨センターの円錐状先端を押し込み嵌合させて、駆動軸の押圧固定具の中に宙吊り状態で回転させる無端ベルトの二軸研磨機である。 （もっと読む）