【課題】簡便な方法で、ポリパラキシリレンの過剰エッチングによりチップ端部の電極が露出した場合でも、電極を腐食から保護することができるインクジェットヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】インクチャネル内に電極膜を成膜する電極膜成膜工程と、電極膜上に絶縁性保護膜を成膜する保護膜成膜工程と、保護膜成膜工程の処理に伴ってチャネル基板の一端面に成膜された絶縁性保護膜を除去する保護膜除去工程と、チャネル基板の一端面及びインクチャネルの内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部を連続的に被覆する接着剤層を形成する接着剤塗布工程と、チャネル基板の他端面に位置するインクチャネルの入口からチャネル基板の一端面に位置するインクチャネルの出口に向かう空気流で、インクチャネルの内側面に塗布された接着剤の余剰部分をインクチャネル外部へ押し出す接着剤押し出し工程と、チャネル基板の一端面に対し前記ノズルプレートを接着する接着工程と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ（１００）面に優先配向した圧電体層を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、（１１１）面に優先配向している白金からなる白金膜を形成する工程と、前記白金膜上に、Ｂｉ、Ｌａ、Ｆｅ、Ｍｎを含み、少なくともＬａを含有する有機金属化合物のキシレン溶液及びＦｅを含有する有機金属化合物のキシレン溶液を混合して得られる圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を焼成することにより圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に電極を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】耐久性が向上した液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】ノズル孔２１にそれぞれ連通する圧力室１１が複数設けられた圧力室基板１０と、圧力室基板１０の上方に順に設けられた第１導電層、圧電体層及び第２導電層を含む圧電素子と、を具備し、圧力室１１、第１導電層４０、圧電体層５０及び第２導電層６０がオーバーラップするオーバーラップ領域１４３を有し、第１導電層４０は、オーバーラップ領域１４３において、第１方向２１０を長手方向とし、第１方向２１０と直交する第２方向２２０を短手方向として、オーバーラップ領域１４３ごとに設けられ、第２導電層６０は、複数の圧力室１１とオーバーラップして連続して設けられ、かつ、オーバーラップ領域１４３の少なくとも一方の第１方向２１０の端側に、端部領域１４１を有し、端部領域１４１は、第１方向２１０の端に向かうほど、第２方向２２０における幅が狭くなる。 （もっと読む）

【課題】長尺インクジェット記録ヘッドを量産する際に、短尺のユニットの良品のみを選別して組上げることによる歩留り向上を図り、また各ユニット形状を同一とすることによる組み立て時の選別工数を削減することにより、低コスト化を図る。
【解決手段】アクチュエータ部材４０と液室形成部材２０とノズル板１０とを備え、液室形成部材２０は、同一パターンの流路ユニットを含む複数の流路ユニットを結合して構成され、各流路ユニットには、流路ユニット同士の結合方向に液体流路が配列された液体流路列が複数形成され、各流路ユニットは、シリコンウェハを用いたリソグラフィーによるマスク形成あるいはマスク膜のエッチングによりマスクパターンを形成した後、異方性のウェットエッチングあるいはドライエッチングと異方性ウェットエッチングの両方により、シリコンウェハをエッチングして得た貫通溝により他の流路ユニットとの結合面を形成する。 （もっと読む）

【課題】安定した高速記録が可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクを貯蔵可能な共通液室６０と、共通液室６０に個別に連通し、共通液室６０から流入したインクが流れる複数のインク流路５３と、複数のインク流路５３に個別に連通し、複数のインク流路５３を流れるインクを吐出する複数の吐出口５１と、複数のインク流路５３における複数の吐出口５１の各々に対向する位置に設けられ、インクを複数の吐出口５１の各々から吐出させるのに必要なエネルギを発生させる複数の吐出エネルギ発生素子５２と、を有し、共通液室６０内には、複数の吐出エネルギ発生素子５２の各々から発生したエネルギによって複数のインク流路５３から共通液室６０へ伝播されたインクの圧力波を吸収可能な固体の圧力緩衝体７１が封入されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの圧電アクチュエーターのキャパシタンスの変化を簡単な回路構成を通じて容易に検出することができるインクジェットヘッド検査回路を提供する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッド検査装置は、インクジェットヘッドの圧電アクチュエーターと連結されて、前記圧電アクチュエーターのキャパシタンスの変化を測定するスキャン部、前記スキャン部に高電圧パルスを印加するパルス入力部、前記スキャン部を前記圧電アクチュエーター及び前記パルス入力部と連結したり、または前記連結を遮断するスイッチング部、及び前記スイッチング部を制御して前記スキャン部を前記圧電アクチュエーター及び前記パルス入力部と連結し、印加された前記高電圧パルスによる前記圧電アクチュエーターのキャパシタンスの変化に対する情報の伝送を前記スキャン部から受けて、前記圧電アクチュエーターの異常有無を判断する制御部を含む。 （もっと読む）

【課題】フィルタから気泡を押し流す能力を環境変動に応じて確保しやすい。
【解決手段】フィルタ７２より上流に溜まった異物を除去する際にインクが流れる主流路Ｍと主流路Ｍから分岐する副流路Ｓとがヘッド１内に形成されている。副流路Ｓには拡張部２６ｂが複数形成されており、インクの流量が増加した際に、主流路Ｍと比べて圧力損失が増大しやすく、副流路Ｓの流量に対する主流路Ｍの流量の割合が大きくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ヘッドチップの一端面上に凸部が存在する場合でもノズル間の封止不良を防止できるインクジェットヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】チャネルが形成されたヘッドチップの該チャネルの出口が位置する一端面に接着剤を介してノズルプレートが接着されたインクジェットヘッドの製造方法において、ノズルプレートが接着されるヘッドチップの一端面の全面とヘッドチップの一端面の近傍のチャネル内の側壁面とに跨って接着剤を塗布して接着剤層を形成する接着剤層形成工程と、ヘッドチップの他端面に位置するチャネルの入口からチャネルの出口に向かう空気流を形成して、チャネル内の側壁面に形成された接着剤層を成す接着剤の一部をヘッドチップの一端面側へ押し出す接着剤押し出し工程と、ヘッドチップの一端面に対しノズルプレートを接着する接着工程とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ（１１０）面に結晶が強配向した圧電体層を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子と、を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、（１１１）面に優先配向している白金からなる白金膜を形成する工程と、前記白金膜上に、Ｂｉ、Ｌａ、Ｆｅ、Ｍｎを含み、少なくともＬａを含有する有機金属化合物のキシレン溶液及びＦｅを含有する有機金属化合物のキシレン溶液を混合した混合溶液にプロピレングリコールを添加した圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を焼成することにより圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に電極を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子などを精度よく、かつ、簡便に製造することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、基板１の上に、第１導電層１０を形成する工程と、第１導電層１０の上に、能動領域となる領域を有する圧電体層２０を形成する工程と、圧電体層２０の上に、前記領域とオーバーラップする第２導電層３０ａを形成する工程と、第２導電層３０ａの上に、前記領域とオーバーラップする第３導電層３０ｂを形成する工程と、前記領域の上方の第３導電層３０ｂにおいて、第３導電層３０ｂを第１の部分３１と第２の部分３２とに分割する開口部３６を形成する工程と、開口部３６と、第１の部分３１および第２の部分３２の開口部３６側の周縁部を覆うレジスト層１３０を形成する工程と、レジスト層１３０を用いて、第３導電層３０ｂをエッチングし、第１導電部３３と第２導電部３４とを形成する工程と、レジスト層１３０を用いて、第２導電層３０ａをエッチングし、第３導電部３５を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）