【課題】ノズル孔の傾斜部の傾斜角を所望の角度とすることができ、ノズル密度を高めることができ、ノズル孔の傾斜部が垂直部と段差を介さずに連続して形成され、ノズル孔の流路特性が最適化されて安定した吐出特性を有するノズル基板の製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基材４１の一方の面側から異方性ドライエッチングを行って、円筒孔部１１ｃを形成する工程と、少なくとも円筒孔部１１ｃ内に酸化膜を形成する工程と、円筒孔部１１ｃを形成した面と反対側の面からシリコン基材４１を研磨して、円筒孔部１１ｃの底部側に所望の傾斜角で拡径する第２のノズル孔部１１ｂを形成し、研磨されず残った円筒孔部１１ｃを第１のノズル孔部１１ａとする工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】製造工程を増やさず、型部材を破損することなく、生産性を損なわずに製造コストを軽減するとともに、高精度で微細な貫通孔を有する微細貫通孔構造体を製造する。
【解決手段】同一材料の構造体層１０を重ね合わせて形成された被加工体１１と、転写パターン１４を形成した金型１３とを加熱する工程であって、被加工体１１と金型１３の少なくともいずれか一方を、被加工体１１が金型１３の押込みにより変位可能な状態であり、かつ金型１３が被加工体１１に押込まれる際に互いに接する構造体層１０が溶着しない温度まで加熱する加熱工程と、金型１３を被加工体１１における少なくとも一つの構造体層１０に押込む押込み工程と、被加工体１１と金型１３とを冷却する冷却工程と、被加工体１１から金型１３を引き離す離型工程と、被加工体１１を各構造体層１０に分離する分離工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物に対して、対象物と複数のノズルとの間のそれぞれの距離が大きく異なるのを避けるとともに、構成部品となる構造体の接合が容易な液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】ラインヘッド１は、複数のノズル６１が開口する液滴噴射面６０を有するノズルプレート７２と、ノズルプレート７２に接合されるプレート７０，７１，及び、圧電アクチュエータ５７とを備えている。そして、ノズルプレート７２は、液滴噴射面６０と反対側に平面状の接合面を有し、前記接合面にはベースプレート７１が接合されており、さらに、液滴噴射面６０が曲面状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】突出型ノズルを備えるノズルプレート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ボディ部５１０と、ボディ部５１０から突出して形成されるノズル５２０と、を備えるノズルプレート５００である。基板の下面を異方性ウェットエッチングによりノズルの下部を構成し、基板の上面を異方性ドライエッチングによりノズル上部を構成する。ノズルの外壁面は、基板の下面に対して所定角度に傾斜して形成されるため、ノズル５２０の壁はノズル５２０の吐出口から遠ざかるほど厚く形成され、強固なノズル構造が具現されうる。 （もっと読む）

【課題】型部材を破損することなく、生産性を損なわずに製造コストを軽減するとともに、高精度で微細な貫通孔を有する微細貫通孔構造体を製造する。
【解決手段】微細貫通孔構造体の製造方法において、被加工体１１を保持する保持部材１０と、被加工体１１と対向して設けられ、被加工体１１に微細貫通孔を穿孔する転写パターン１３を形成した金型１２とを加熱する工程であって、保持部材１０と金型１２の少なくともいずれか一方を、所定の加熱温度まで加熱する加熱工程と、金型１２を被加工体１１に押込む押込み工程と、保持部材１０を加熱工程の加熱時における加熱温度より高い温度である膨張加熱温度まで加熱することで、保持部材１０を膨張させる膨張工程と、保持部材１０と金型１２とを冷却する冷却工程と、被加工体１１から金型１２を引き離す離型工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】容易に液滴形状を形成することができるノズルプレートを提供する。
【解決手段】本発明に係るノズルプレート１００は、基板１１０と、基板１１０の厚み方向に貫通し、厚み方向のテーパー形状を有する開口部１２０と、開口部１２０を部分的に塞ぐ閉塞部１３０と、閉塞部１３０を支持する支持部１４０と、を含み、閉塞部１３０は、開口部１２０に、開口部１２０を構成する基板１１０の側面１１０ｃと離間して設けられ、支持部１４０は、開口部１２０に設けられ、閉塞部１３０と、開口部１２０を構成する基板１１０の側面１１０ｃとを当接する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリントヘッドのための優れたノズルアセンブリを提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドのためのノズルアセンブリは、ノズル開口が画定されているルーフを有するノズルチャンバを含む。ルーフは、固定部に対し相対的に動作可能な可動部を備え、固定部に対する相対的な可動部の動きによってインクがノズル開口を通じて吐出される構成とされている。このノズルアセンブリは、また、可動部を動かすためのアクチュエータと、シール部材と、を含む。シール部材は、可動部と固定部との間を架け渡すブリッジとして構成されている。 （もっと読む）

【課題】薄いノズル板を備えた、有用なインクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドは、基板と、基板上に形成された複数のチャンバであって、各チャンバには、基板上に立設された複数の壁および厚さが１０ミクロンより薄くなるように化学気相成長法によって複数の壁の上に形成されたノズル板により囲まれた空間が形成され、ノズル板を貫通して形成されたノズルが設けられた当該複数のチャンバと、複数のヒーター素子であって少なくとも１台のヒーター素子が各チャンバ内に配置された当該複数のヒーター素子と、を備える。各ヒーター素子は、各チャンバ内でインクを、該インクの沸点以上の温度まで加熱して、各チャンバ内に気泡を形成し、これによりノズルを通してインクを射出する。 （もっと読む）

【課題】より簡便な方法で、吐出性能の高いノズルとなる穴を形成することができるノズル基板の製造方法等を得る。
【解決手段】シリコン基板５１に形成したフォトレジスト５２に対して露光及び現像を行って、ノズル３１を形成するためのシリコン露出部分周辺におけるフォトレジスト５２に対して、傾斜部分を設けたパターンを形成する工程と、フォトレジスト５２をマスクとして異方性ドライエッチングを行って、テーパ形状のノズル３１となる穴を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】搬送が容易で厚さ制御を有効に行うことができるノズル基板の製造方法等を得る。
【解決手段】搬送等を容易に行えるように、周縁部分を残して研削等によりシリコン基板５１を高精度に薄板化する工程と、薄板化した部分にエッチング等の加工を行って、少なくともノズル３１となる穴を形成し、複数のノズル基板３０を形成する工程と、シリコン基板５１の複数のノズル基板３０を切断、割断等により分離して個片化する工程とを有する。 （もっと読む）