【課題】扁平状ワークの全てを正規姿勢に整えて下流側に供給することにある。
【解決手段】下方から噴出するエアによって、円筒部（筒状部）Ｃ１の一端が天面（端面部）Ｃ２によって閉塞され他端が開口部とされた王冠（ワーク）Ｃをエアに対して安定する天面Ｃ２が下方を向いて個々に別れた状態となる正規姿勢に整えながら搬送方向Ａの下流側に供給する姿勢調整部１０を備え、王冠Ｃは、天面Ｃ２を下方に向けた王冠Ｃの上に１つ以上の王冠Ｃを重ねてもエアに対して安定した状態となる程度に扁平状に形成され、姿勢調整部１０は、エアを噴出する噴出孔１２が開口し、下流側が下方位置となる傾斜搬送面１１を有しており、姿勢調整部１０の下流側端部又は姿勢調整部１０より下流側に、不正規姿勢のために正規姿勢の王冠Ｃより高い位置となった王冠Ｃを姿勢調整部１０内の上流方向に打ち戻すバックシューター４０を設けた構成になっている。 （もっと読む）

【課題】 スピンレス方式で被処理基板上に処理液を供給ないし塗布する基板処理装置において基板の大型化に無理なく効率的に対応すること。
【解決手段】このレジスト塗布ユニット（ＣＴ）８２は、プロセスラインＡの方向（Ｘ方向）に長く延びるステージ１１２を有し、このステージ１１２上で基板Ｇを噴出口１２０からの空気圧で浮上させて同方向（Ｘ方向）に平流しで搬送しながら、ステージ１１２上方に配置された定置型のレジストノズル１１４より基板Ｇ上にレジスト液を供給して、基板上面に一定の膜厚でレジスト塗布膜を形成する。ステージ１１２の両端部の搬入、搬出領域に属する各噴出口１２０については、空気の噴出流量を基板Ｇとの相対的な位置関係で個別的かつ自動的に切り換える噴出制御部（流量切換弁）をステージ１１２の内部に設けている。 （もっと読む）

真空またはほぼ真空の条件下で使用するための浮上装置は、ガス用の複数の噴射点（１）および隣接する吸引点（２）を有する浮上プレート（３）を含み、空気ベアリング（４）を作り出して、それにより薄いプレート状基板（５）を支持する。さらに別の実施例は、支持された基板用の搬送機構、および／または浮上プレートを傾ける傾斜機構を含む。
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【課題】 被搬送体が搬送路中心からずれてしまった場合の調整を行うことができる浮上搬送装置を提供する。
【解決手段】 被搬送体の搬送経路を形成する搬送路と、被搬送体を前記搬送路に沿って浮上搬送する複数の噴射ノズルと、前記搬送路中における被搬送体の搬送方向を検出する一つ以上の検出部と、該検出部の検出結果に基づいて前記複数の噴射ノズルを独立して制御する制御部とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイなどの大型化に対応してそれらの基板などの諸物体をできるだけ少ないパワーで、効率的に浮上させて、非接触状態が得られる簡単な構造の物体浮上ユニットを提供する。
【解決手段】板状のユニット本体１１の表面に設けた凹部１２の開口縁部と、前記凹部１２をその凹部１２との間に気体の供給路を形成する隙間を隔てて覆う板状の蓋体１５との間に、気体の吐出口１７を形成し、この吐出口１７から前記凹部１２の外側に向けて傾斜させて気体を吐出するように構成する。吐出口１７から吐出される気体は、浮上ユニット上の浮上物体に直接に当たる動圧と、浮上ユニット１１と浮上物体との間の空隙部に形成される静圧とにより、物体を効率的に浮上させることができる。 （もっと読む）

【解決手段】 樹脂製の容器１を送風によって搬送する搬送手段５は、レール１１に沿って設けられた第１〜第３ブロア１２Ａ〜１２Ｃを有し、送風を行う第１〜第３ファン３１Ａ〜３１Ｃと、これらを駆動する第１〜第３モータ３２Ａ〜３２Ｃとから構成されており、第１〜第３送風手段の送風量は第１〜第３インバータ３４Ａ〜３４Ｃによって切り換えられるようになっている。
上記レールより離隔した位置には制御手段２４が備えられ、第１〜第３インバータと制御手段はシリアルケーブル３５によって直列的に接続されるとともに相互通信可能に接続され、第１〜第３インバータには給電手段２５によって電力が供給される。
さらに、上記シリアルケーブルと、給電手段からの電源ケーブル３６とはともにレールに沿って設けられている。
【効果】 相互通信によって各送風手段の搬送状態を把握でき、しかも送風手段と制御手段との間の配線を最小限にすることができる。 （もっと読む）

【課題】ＰＥＴボトル等の軽量容器をリンサやフィラなどの容器処理装置に供給する際、容器のインフィードスクリューへの噛込みと停止状態での容器の変形を防止可能なエア搬送コンベヤ装置を提供する。
【解決手段】エア搬送コンベヤ１の搬送経路中の上流側と下流側にそれぞれ第１ストッパ３と第２ストッパ４を配設し、これらの両ストッパ３，４を容器６に吹付けるエア噴量と共に制御手段を介して制御する。下流側の容器処理装置８でトラブルが発生し、エア搬送コンベヤ１に容器６の供給を停止する信号が入力された場合には、両ストッパ３，４を作動して容器６の搬送を停止させるとともに、エア噴量を低下させる。そして、容器供給の再開信号の入力時には、エア噴量を増加させた上、第２ストッパ４を先に開放し、先頭の容器６ａがインフィードスクリュー７に到達した後に第１ストッパ３を開放する。 （もっと読む）

ベアリングの搬送フロアに沿って、エア・クッション上のプラットフォーム（６）が、とりわけモータなしに、人間またはその他の物を載せて移動することができ、その搬送フロア付きベアリングは、エア・クッションを維持するために高い経費をかけないよう、表面に空気の噴き出し孔のあるボックス（１）形が提案される。表面の開口部は、ボックス内部と通じている自動バルブ（５）を有する。バルブ（５）の可動エレメントの片側の空洞部は、ボックス（１）の上側の開口部と通じている。一方、バルブ（５）の可動エレメントのもう片側の空洞部は、外気とつながっている。またバルブ・ハウジング側の開口部は、ボックス（１）の内部と通じている。 （もっと読む）

【課題】 固定電極と被搬送体の位置関係を逆転させ、何かの原因でトラブルが発生し被搬送体の浮上力を失っても、被搬送体が電極の上に落下するだけで被搬送体にはできるだけダメージを与えないようにするとともに、非接触浮上と保持力を利用し、これを一つのユニットとすることにより、搬送機構に組み込むことが可能になり、柔軟な空気浮上式静電気拘束アクチュエータを提供する。
【解決手段】 空気供給装置９と、この空気供給装置９に接続される空気排出穴４が配置されるとともに、吸引用固定電極３と位置保持（位置復元）用電極５が形成されるベース２と、固定電極３，５に接続される第１の高圧電源７，第２の高圧電源８と、ベース２の上方にセットされる被搬送体１とを備え、空気排出穴４より排出される空気により、被搬送体１を浮上させ、固定電極３，５に高圧電源７，８より高圧電圧を供給し、被搬送体１を常にベース２の上部に非接触で維持する。 （もっと読む）

【課題】 従来における加熱処理方法の問題点を解消し、熱エネルギーの利用効率を向上させることにある。
【解決手段】 対象物体Ｐを加熱処理するための加熱処理方法および加熱処理装置１は、加熱処理空間１０において対象物体Ｐに向かってその下方から気体を吹き付けることによって浮揚させた状態で所定のように加熱することを特徴とする。 （もっと読む）