【課題】ミラーアレイの構成を簡略化する。
【解決手段】ミラーアレイ１００は、ベース部２と、ベース部２に支持された複数のミラー１１０と、ミラー１１０に連結されてミラー１１０を駆動する複数のアクチュエータ１，１とを備え、ミラー１１０を互いに直交する主軸Ｘ及び副軸Ｙ回りに回動させる。アクチュエータ１は、副軸Ｙ方向に延びるアクチュエータ本体３と、アクチュエータ本体３の表面３１に積層された圧電素子４とを有し、圧電素子４を伸縮させることによってアクチュエータ本体３を傾動させるように構成されている。各ミラー１１０には、副軸Ｙを挟んで並ぶ２つのアクチュエータ１，１が主軸Ｘに対して一方の側だけに設けられている。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳミラーの設計を変更することなく、所望の波長の光をＭＥＭＳミラーへ入射することが可能な波長選択スイッチ（ＷＳＳ）を提供すること。
【解決手段】本願発明の一実施形態に係るＷＳＳは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、ＭＥＭＳミラーアレイとを備え、さらに当該ＭＥＭＳミラーアレイの前段に遮光マスクを備えることを特徴とする。また、本願発明の別の一実施形態に係るＷＳＳは、入出力ファイバアレイと、合分波用回折格子と、ＭＥＭＳミラーアレイとを備え、さらに当該ＭＥＭＳミラーアレイの前段に折り返しミラーを備え、前記ＷＳＳを構成する光学素子の何れかにおいて、誘電体多層膜などから成るバンドストップフィルタを集積することを特徴とする。本願発明の更に別の実施形態に係るＷＳＳは、ＭＥＭＳミラーアレイの前段且つ信号光の光路の途中にバンドパスフィルタを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】駆動開口と固定開口がどれだけずれているかを検出することができる構造を提供する。
【解決手段】遮光膜１２は、表示領域に複数の固定開口を有する。遮光膜１２は、周辺領域では、周辺領域のシャッタ４０の一部との重複を避けるように形成されたダミー開口２４を有する。ダミー開口２４の縁は、固定開口の規則性を以て周辺領域に配置すると仮想した固定開口の縁の一部からなるエッジを含む。表示領域のシャッタ４０は、第１位置Ｐ１で駆動開口４２と固定開口が連通して光を通過させ、第２位置Ｐ２で駆動開口４２と固定開口がずれるように配置されて光を遮断する。複数のシャッタ４０が第２位置Ｐ２にあるとき、周辺領域の駆動開口４２とエッジとの距離ｄと、表示領域の駆動開口４２と固定開口の縁の一部との距離Ｄとが相間関係を有する。 （もっと読む）

【課題】微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）アレイを含む電力切替システムを提供すること。
【解決手段】切替システム（４）は、ダイオードブリッジを形成する複数のダイオードと、複数のダイオードに接近して結合された微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）スイッチアレイ（１２）とを含む。ＭＥＭＳスイッチアレイ（１２）は（Ｍ×Ｎ）アレイをなして電気的に接続される。（Ｍ×Ｎ）アレイは、第２のＭＥＭＳスイッチ脚部（４４）に並列に電気的に接続された第１のＭＥＭＳスイッチ脚部（４０）を含む。第１のＭＥＭＳスイッチ脚部（４０）は直列に電気的に接続された第１の複数のＭＥＭＳダイを含み、第２のＭＥＭＳスイッチ脚部（４４）は直列に電気的に接続された第２の複数のＭＥＭＳダイを含む。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスの簡素化が可能で、低電圧駆動による高ストローク出力が可能なアクチュエータを用いた乱流制御装置を提供する。
【解決手段】流体との境界面を形成する壁に設置される乱流制御装置であって、振動板(30)の面上に第１電極(40)、圧電体膜(44)及び第２電極(46)が積層されて成るダイアフラム型圧電アクチュエータ(20)群を備える。第１電極(40)及び第２電極(46)間への電圧印加により可動部(32)を変位せて流体との境界面を変形させることで、壁乱流を制御する。 （もっと読む）

【課題】所望の周波数帯域で良好な感度を有する二次元容量型電気機械変換装置などの電気機械変換装置を無欠陥ないし歩留まり良く作製することを可能とする技術を提供する。
【解決手段】電気機械変換装置は少なくとも１つのセルを含むエレメント１、２、３を複数個有する。複数のエレメントト１、２、３は、複数の処理回路が形成された集積回路基板５上のそれぞれ対応する処理回路に対して、互いに分離して独立的に配置され、各エレメント毎に信号の入出力ができる様に、対応する複数の処理回路とそれぞれ機械的及び電気的に結合されている。 （もっと読む）

【課題】書込み時間の短縮化や、駆動回路の縮小化を図ることが可能な板状部材の揺動装置を提供すること。
【解決手段】マトリクス部２０には、可動単位が、マトリクス状に行方向および列方向に複数配列される。第１電極および第２電極は、列方向に並んだ可動単位に共通使用される。行方向に並んだ可動単位の板状部材を共通に接続する第３電極が、行ごとに複数形成されている。駆動回路３０は、列方向に並んでいる第３電極を順番に１つずつ選択する。そして、選択した第３電極にバイアス電圧Ｖ１を印加すると共に、行方向に複数並んだ第１電極および第２電極に対して近接電圧Ｖ３または離反電圧Ｖ４を印加することで、板状部材を揺動させる。そして、揺動姿勢を保つ所定期間の間、第３電極に印加される電圧をバイアス電圧Ｖ１に維持する。所定期間の経過後に第３電極に印加される電圧をリセット電圧Ｖ２へ遷移させることで、板状部材を揺動していない状態へ戻す。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスの実装において、ＭＥＭＳ要素を外力による衝撃から守る様々な特性を盛り込む。
【解決手段】実装されたデバイスは、基板１０１、該基板１０１に形成されたインターフェロメトリックモジュレータディスプレイアレイ１１１及びバックプレート１２１を、具備する。上記バックプレートは、ディスプレイアレイ１１１の上に、上記バックプレートと上記ディスプレイアレイとの間のギャップ１２４を挟んで配置される。上記ギャップの深さは、上記バックプレートの全体に渡って変化する。上記バックプレートは、湾曲され得るか、または上記ディスプレイアレイに対向するその内表面にリセスを有し得る。上記バックプレートの厚さは可変し得る。上記デバイスは、上記バックプレートと一体化された強化構造を含み得る。 （もっと読む）

【課題】バックプレートの内面側に電子回路を含むインターフェロメトリックモジュレータベースディスプレイを提供する。
【解決手段】ディスプレイを、透明基板１０４と、透明基板を通して光を反射するよう構成されたる反射素子を含むインターフェロメトリックモジュレータのアレイ１０２と、インターフェロメトリックモジュレータのアレイに隣接する第１の面を含み、第１の面上に、上記反射素子の変位を制御するよう構成された電子回路１１４が製作された、バックプレーン１０８と、バックプレーン上の電子回路とインターフェロメトリックモジュレータのアレイとの間に電子通信を提供する複数の電気的接続と、を具備するように構成する。 （もっと読む）

【課題】可動板を複数配列して構成した小型で安価なプレーナ型電磁アクチュエータを提供する。
【解決手段】枠状に形成された一つのヨーク部材５の内側に、固定部１に夫々トーションバー２で回動可能に軸支され、間に少なくとも前記固定部１を介在させた状態で少なくとも一列に整列配置された複数の可動板３と、該各可動板３の周縁部に沿って敷設した駆動コイルと、前記複数の可動板３を間にして互いに反対磁極を対向させて前記固定部１の外側に設けられ、前記複数の可動板３の前記トーションバー２の軸線に平行な対辺部近傍の前記駆動コイル部分に静磁界を作用する一対の静磁界発生手段４と、を備えて構成した。 （もっと読む）