【課題】他の気相法と比較して親水性の高い粒子が安価で大量に製造することができる酸化物ナノ粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】気化した原料物質を心棒に吹き付け心棒表面で酸化物を粒子状に生成させるとともに、該粒子を堆積させ、その後、堆積した粒子の凝集体を粉砕することを特徴とする酸化物ナノ粒子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】耐プラズマ性に優れ、安定した酸化物膜を提供する。
【解決手段】大気開放型ＣＶＤ法により、加熱した基材１０の表面に金属酸化物原料５を吹き付けて酸化物膜を成膜する。その際、ＸＲＲ法によって測定した膜密度が理論密度（ＴＤ）の７５．０〜９８．０％未満の範囲となるように成膜条件を設定する。 （もっと読む）

【課題】従来は困難であった微細でかつ粒度分布幅の狭いナノ粒子を高効率に生成可能とする微粒子の製造方法、並びにこの方法の実施に用い得る微粒子の製造装置を提供する。
【解決手段】微粒子製造用原料としての一種以上の粒子を分散させて熱プラズマ炎中に供給し、前記微粒子製造用原料粒子を蒸発させ気相状態の混合物とし、この混合物を冷却して、微粒子を製造する方法において、前記熱プラズマ炎の発生装置として変調誘導熱プラズマ装置を用い、この変調誘導熱プラズマ装置のコイル電流の振幅変調を所定時間間隔で繰り返させる。 （もっと読む）

【課題】反応管の内壁部に固着する膜状生成物の生成を抑制して、金属塩化物の蒸気と酸素とを急加熱・急冷却させて金属酸化物粒子を効率よく連続的に製造する金属酸化物粒子の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】中空外筒１の上流部に中空内筒５が挿入された部分二重管構造を有する反応管１１に反応ガスを流通させて金属酸化物粒子を製造する方法であって、中空内筒５に金属塩化物を含む前記反応ガスを流すとともに、中空内筒５と中空外筒１との間に金属塩化物を含まないバリアガスを流しつつ、中空内筒５の下流端部５ｂよりも上流において前記反応ガスと前記バリアガスとを予熱し、中空内筒５の下流端部５ｂよりも下流側に離れた領域において前記反応ガスを本加熱して、前記金属塩化物を熱分解させる金属酸化物粒子の製造方法を用いることにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

ナノサイズの金属を有する粉末およびドープされた粉末を、不揮発性の金属を有する前駆体粉末あるいは粉末混合物を比較的低い温度で熱ガス流中で分散させる方法によって合成する。第一の揮発性作用物質を添加し、前駆体中の金属を揮発性金属化合物に変換する。次に、第二の揮発性作用物質をガス流に注入し、該揮発性金属化合物を、急冷中にナノサイズの金属を有する粉末として凝縮する固体に変換する。最後に、蒸気／金属を有する粉末混合物をガス流から分離する。
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出発材料を蒸発および酸化させ、液滴の形態の金属溶融物および１つあるいはそれより多くの燃焼ガスを反応器の蒸発ゾーンに供給し、ここで金属溶融物を非酸化条件の下で完全に蒸発させ、続いて、蒸発ゾーンから流出した混合物をこの反応器の酸化ゾーンで、酸素含有率が少なくとも金属および燃焼ガスを完全に酸化するのに充分な供給された酸素含有ガス流と反応させる、金属酸化物粉末の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 大気圧または大気圧近傍の圧力で酸化物膜を形成する際に発生するクラックの問題を解決し、また生産性や絶縁特性に優れた酸化物膜の形成方法を提供する。
【解決手段】 大気圧プラズマＣＶＤによる酸化物膜の形成方法であって、前記酸化物膜の金属成分を含む有機金属系化合物ガスと、プラズマを発生させ膜成分となる酸素を主成分とする動作ガスを供給するＡ工程と、前記有機金属系化合物ガスの供給を止め、前記動作ガスのみを供給するＢ工程を繰り返し行うことにより基板上に酸化物膜を形成する酸化物膜の形成方法であり、前術のＡ工程とＢ工程を繰り返し行うことにより、基板上に形成された酸化物膜中のＣ量を原子量で２％以下にすることができる。 （もっと読む）

【課題】高純度・高密度・均一で、且つ薄くできる高品質のチタン含有酸化物多結晶膜を得るとともにその製造方法、および製造装置の提供。
【解決手段】本発明は、チタン含有酸化物の超微粒子構造を有している多結晶膜とその製造方法に関するものであり、容器外に設置されたコイルに高周波電流を印加して容器内に熱プラズマ炎を生成し、熱プラズマ炎中にチタンを含有した原料ガスを導入することで、原料ガスを原子、イオンの状態まで分解し、斯く分解した原子、イオンが熱プラズマ炎を通過した後原子の再結合、核生成、成長して生成した高温状態のチタン含有酸化物超微粒子（ホットヒューム）を合成する過程において、ホットヒューム中に基板を配置することによって基板上に多結晶膜を作製する。また、基板の配置位置を変更して異なる特性の多結晶膜を作製する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、流通反応装置中の酸化剤および金属反応物から実質的に粗くずのない金属酸化物の粒子を製造する装置を課題とする。
【解決手段】 本発明の装置は、反応ゾーンに隣接して配置された実質的に漏斗形状の反応物の接触領域を含む同心円管型の流通反応装置である。前記反応物の接触領域は、熱い酸化剤の流れを金属反応物の流れに向かって導き、反応流を形成することができる。それにより反応流の熱い酸化剤の流れは、金属反応物が反応物の接触領域の壁に接触して壁にスケールを形成することを妨げるのに十分に、金属反応物の流れを囲むことができる。冷却流体の流れを反応ゾーンの中に導いて反応流と同軸方向に流して、バッフルと反応流との間に流体のカーテンを形成することのできる冷却流体の導管は、金属反応物及び熱い酸化剤が反応流内部で反応して金属酸化物のナノパウダーを形成させる間に、バッフル上にスケールが形成するのを妨げる。 （もっと読む）