【課題】Ｆ₂ガスとＮＨ₃ガスとを反応させて、ＮＦ₃を直接フッ素化法により、工業的に
安全かつ収率よく連続的に製造することができる方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る三フッ化窒素の製造方法は、フッ素ガスとアンモニアガスとを管状反応器に供給して、希釈ガスの存在下、気相中、無触媒条件で反応させて、主として三フッ化窒素からなるガス生成物と主としてフッ化アンモニウムおよび／または酸性フッ化アンモニウムからなる固形生成物とを生成させ、前記管状反応器内部に装着されたハンマリング装置により前記管状反応器の内壁に付着した前記固形生成物を除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ＮＨ₃ガスとＦ₂ガスを反応させて、工業的に安全で収率よく連続的に製造することができ、かつ含有される微量不純物を低減できるＮＦ₃の製造方法を提供する。
【解決手段】高純度フッ素ガスと高純度アンモニアガスを希釈ガスの存在下、気相で無触媒にて反応させて三フッ化窒素を製造する方法において、高純度フッ素ガスとして、フッ素ガス中に含有される酸素および／または酸素含有化合物の含有量を０．１体積％以下に低減し、同時に、フッ素ガス中に含有されるテトラフルオロメタンの含有量を５０体積ppm以下に低減する精製工程を経た高純度フッ素ガスを使用し、高純度アンモニアガスとして、アンモニアガス中に含有される酸素および／または酸素含有化合物の含有量を１０体積ppm以下に低減し、同時に、アンモニアガス中に含有される油分の含有量を２質量ｐｐｍ以下に低減する精製工程を経た高純度アンモニアガスを使用する。 （もっと読む）

四フッ化炭素含量が１０ｐｐｍ以下である、高度に精製された三フッ化窒素を、四フッ化炭素不純物を含む液状の粗三フッ化窒素を３５〜４５ａｔｍの圧力下で沸騰させることによって、液状の粗三フッ化窒素から四フッ化炭素を気化させて除去することにより有効に得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 Ｆ₂ガスとＮＨ₃ガスとを反応させて、ＮＦ₃を直接フッ素化法により、工
業的に安全かつ収率よく連続的に製造することができる方法を提供すること。
【解決手段】 本発明に係る三フッ化窒素の製造方法は、フッ素ガスとアンモニアガスとを管状反応器に供給して、希釈ガスの存在下、気相中、無触媒条件で反応させて、主として三フッ化窒素からなるガス生成物と主としてフッ化アンモニウムおよび／または酸性フッ化アンモニウムからなる固形生成物とを生成させ、前記管状反応器内部に装着された掻き取り機により前記管状反応器の内壁に付着した前記固形生成物を掻き取り除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期保管の際にも変質を起こさないＮＦ_３ガスの貯蔵方法を提供すること。
【解決手段】三フッ化窒素ガスを深絞りしごき（Deep Drawing Ironing）工法で製造されたクロム−モリブデン鋼製容器に貯蔵することによって三フッ化窒素ガスを充填・貯蔵する。 （もっと読む）

【課題】複数成分の特定ガスを含有する被処理ガスから特定ガスを安価で効率的に分離することができるガス分離方法及びガス分離装置を提供する。
【解決手段】複数成分の特定ガスを含有する被処理ガスを充填材が充填されたカラムに流通させて各特定ガスを分離し、複数のカラムを順次利用して各特定ガスを連続的に分離するガス分離方法及びガス分離装置において、被処理ガスの各カラムへの供給を各カラムから未分離混合ガスが排出を始めるまでに停止し、かつ、被処理ガスの各カラムへの供給時間を、未分離混合ガスの各カラムからの排出時間以上とすることにより、各特定ガスを安価で効率的に分離することができる。 （もっと読む）

【課題】複数成分の特定ガスを含有する被処理ガスから特定ガスを安価で効率的に分離することができるガス分離方法及びガス分離装置を提供する。
【解決手段】複数成分の特定ガスを含有する被処理ガスを充填材が充填されたカラムに流通させて各特定ガスを分離するガス分離方法及びガス分離装置において、被処理ガスを移送するためのガスをカラムに所定の時間間隔で供給量を変化させて供給することにより、各特定ガスを安価で効率的に分離することができる。 （もっと読む）

開示されているのは、三フッ化窒素中の不純物である、二フッ化二窒素および四フッ化二窒素の濃度を低下させるための蒸留プロセスである。そのプロセスが：（ａ）蒸留塔において、三フッ化窒素と、二フッ化二窒素および／または四フッ化二窒素とを含む混合物を、三フッ化窒素よりも高い標準沸点を有する化合物の存在下に蒸留する工程；（ｂ）蒸留塔から測流として、二フッ化二窒素および／または四フッ化二窒素を含む混合物を抜き出す工程；（ｃ）蒸留塔の塔底から、三フッ化窒素よりも高い標準沸点を有する化合物を含む混合物を抜き出す工程；および（ｄ）蒸留塔の塔頂から、二フッ化二窒素および／または四フッ化二窒素の濃度が低下した三フッ化窒素製品を抜き出す工程を含む。
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ＮＦ_３の吸着精製のための方法およびシステムである。本方法およびシステムにおいては、ＮＦ_３と不純物（例えばＣＦ_４）とを含む粗生成物をポリアクリロニトリルベースのカーボンモレキュラーシーブと接触させて、ＮＦ_３の顕著な吸着を起こすことなく１種またはそれより多い不純物の少なくとも一部が該モレキュラーシーブによって吸収される。 （もっと読む）

本発明は、輸送中の製品の劣化を低減するため、反応性化合物が輸送中に接触する表面を電解研磨すること、輸送機材の体積に対する内部表面積の比を最小にすること、および、輸送機材内の死容積を最小または除去することによって、反応性化合物を一つの場所から別の場所まで輸送する間の該反応性化合物の劣化を低減する方法に関する。 （もっと読む）