三フッ化窒素混合物中の望ましくない不純物二フッ化二窒素および四フッ化二窒素の濃度が、この混合物を、電解研磨した金属、セラミックアルミナ、またはサファイヤから選択される内部壁を有する容器中の気相で加熱すること、および、かかる不純物濃度が低減した三フッ化窒素生成物を回収することによって低減される。この方法は、約１５０℃〜約３００℃の温度で実行され、好ましくは容器は充填物がなく、容器内部表面積対容器体積の比が、加熱ステップが実行される容器の領域において最小にされる。この方法は、場合により、容器内部壁を、フッ素ガスを含む不動態化組成物と接触させるステップをさらに含む。 （もっと読む）

【課題】プロセスガスとともに存在する未反応フッ素の量と、反応プロセスによって生成する液体溶解廃棄物（ＨＦ／ＮＨ₃）の量とを最小限に抑えながら、優れたＮＦ₃生産収量の達成を可能とする改良された反応プロセスを提供する。
【解決手段】基本的なＮＦ₃プロセスは、ＮＦ₃を形成するための条件化で、アンモニウムイオン源、例えば、酸性フッ化アンモニウムとＦ₂を反応させることにあり、当該プロセスの改良は、Ｆ₂とアンモニウムイオン源を第１温度で充填カラム又はモノリスカラムに並流かつ下方に通して導入する工程；当該カラムにおいてＦ₂とアンモニウムイオン源を反応させる工程；及び前記第１温度よりも高い第２温度で当該カラムからＮＦ₃と副産物の混合物を取り出す工程を含む。 （もっと読む）

【課題】特定の金属フッ化物を炭素材料と混合し焼成する工程を経るだけで組織に気孔の少ない比較的機械的強度の高い炭素電極を製作し、ＮＨ₄Ｆ−ＫＦ−ＨＦ系、ＮＨ₄Ｆ−ＨＦ系のいずれであっても炭素電極が分極することなく長寿命を示す三フッ化窒素ガス製造用炭素電極を提供する。
【解決手段】本発明の三フッ化窒素ガス発生用炭素電極は、平均気孔径が０．５μｍ以下の緻密な組織からなるものであり、炭素質材料と、前記炭素質材料の焼成温度以上の融点を持つフッ化マグネシウム、フッ化アルミニウムの内から選ばれる少なくとも１種以上のものからなることが好ましく、前記フッ化マグネシウム、フッ化アルミニウムの内から選ばれる少なくとも１種以上のものの含有率は、３〜１０ｗｔ％である三フッ化窒素ガス製造用炭素電極。 （もっと読む）

フッ素から誘導されるガスまたはガス混合物から分子フッ素を含むガスまたはガス混合物を製造する方法および装置であって、フッ素化されたガスまたはガス、特に３フッ化窒素ＮＦ₃の混合物をフッ素化されたガスの分子のプラズマ中で分解作用により分解し、その分解作用により得られる原子フッ素と他の化学種の混合物を作り、その場合に前記混合物を続いて必要であれば５００℃未満の温度で高速に（２４）冷却し、そうして、それにより生成する少なくとも５０％の原子フッ素についての分子フッ素の生成をもたらし、前記分解作用から生じる他の生成物とフッ素原子の再結合を最小化し、そしてフッ素化ガスまたはガス混合物を再生し、Ｆ₂を含むガス混合物を回収する方法および装置。
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本発明は、三フッ化窒素ガスの精製方法、およびそれに用いられる吸着剤に関するものである。本発明は、アルカリ土類金属でイオン交換されて１５０〜６００℃で３０分〜１００時間の間加熱処理されたゼオライト３Ａ、４Ａまたは５Ａを充填させたカラムに四フッ化炭素（ＣＦ_４）を含有する三フッ化窒素（ＮＦ_３）ガスを通気させ、三フッ化窒素だけを選択的に吸着するステップを含む三フッ化窒素ガスの精製方法およびそれに用いられるゼオライト３Ａ、４Ａまたは５Ａからなる三フッ化窒素吸着剤に関するものである。 （もっと読む）

本発明は、三フッ化窒素ガスの精製方法に関し、より詳しくはアルカリ土類金属でイオン交換されて含浸された後、１５０〜６００℃で３０分〜１００時間の間加熱処理したゼオライト３Ａ、４Ａまたは５Ａを充填させたカラムによって、四フッ化炭素（ＣＦ_４）を含有する三フッ化窒素（ＮＦ_３）ガスを通気させ、三フッ化窒素だけを選択的に吸着するステップを含む三フッ化窒素ガスの精製方法に関するものである。 （もっと読む）