【課題】 フッ酸／塩酸／Ｈ_ｘＰＯ_ｙＦ_ｚ（１≦ｘ≦３、０≦ｙ≦４、０≦ｚ≦６）の混合酸から、再利用可能な純度と濃度で、効率良く、安全にフッ酸及び塩酸を分別・回収するフッ酸及び塩酸の回収方法を提供する。
【解決手段】 本発明のフッ酸及び塩酸の回収方法は、フッ酸、塩酸及びＨｘＰＯｙＦｚ（１≦ｘ≦３、０≦ｙ≦４、０≦ｚ≦６）を含む混合酸から、フッ酸及び塩酸をそれぞれ分離して回収するフッ酸及び塩酸の回収方法であって、前記混合酸を蒸留することにより、該混合酸から塩化水素を留出分として分離する第１蒸留工程と、前記第１蒸留工程で得られた缶出分を蒸留することにより、留出分としてのフッ酸と、缶出分としてのＨｘＰＯｙＦｚ（１≦ｘ≦３、０≦ｙ≦４、０≦ｚ≦６）とに分離する第２蒸留工程と、前記第１蒸留工程で得られた留出分を水に吸収させることにより塩酸を回収する吸収工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】HFO trans-1,3,3,3,-テトラフルオロプロペン（HFO trans-1234ze）の製造方法を提供する。
【解決手段】まず1,1,1,3,3-ペンタフルオロプロパンを脱水素フッ素化することによって、cis-1,3,3,3-テトラフルオロプロペン、trans-1,3,3,3-テトラフルオロプロペン及びフッ化水素の混合物を生成させ、次いで所望により、フッ化水素を回収し、次いでtrans-1,3,3,3-テトラフルオロプロペンを回収することによる、HFO trans-1234zeの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 活性アルミナ及び二酸化ケイ素を主成分とする無機セラミック系の吸着剤で、フッ素を含有する排水・廃液からフッ素を吸着処理し、吸着処理後の吸着剤を用いてフッ酸を生成する場合において、フッ酸の生成効率を高めるとともに、吸着剤の劣化を抑制することを課題とする。
【解決手段】 フッ素イオンを含有するフッ素化合物またはフッ素混合物からフッ素イオンを、活性アルミナおよび二酸化ケイ素を主成分とするセラミック系の吸着剤で吸着処理し、吸着処理後の吸着剤を用いてフッ酸を生成するフッ酸生成装置において、前記吸着剤と強アルカリまたは強酸とを反応させるとともに、結晶性二酸化ケイ素を加えてヘキサフルオロケイ酸ガスを発生させる蒸留手段と、前記蒸留手段により発生したヘキサフルオロケイ酸ガスを冷却し、加水分解してフッ酸を生成する冷却手段とを備える。 （もっと読む）

本開示は、フッ化水素とフルオロオレフィンとを含む混合物からフルオロオレフィンを分離する方法であって、エントレーナーを用いる場合と用いない場合との両方の共沸蒸留を含む方法に関する。詳しくは、ＨＦＣ−１２２５ｙｅ、ＨＦＣ−１２３４ｚｅ、ＨＦＣ−１２３４ｙｆまたはＨＦＣ−１２４３ｚｆのいずれかをＨＦから分離する方法が開示されている。
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本発明は、フッ化水素酸を含むストリームの処理方法に関する。さらに詳しくは、本発明の主題は、フッ化水素酸の回収方法である。本発明による方法は、フッ化水素酸を含むガスストリームを圧縮する少なくとも１つの工程を含み、圧縮工程の前の前記ストリームの温度が、−２０℃と１００℃の間であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 プロセスの再現性に優れるとともに、フッ化水素ガスを長期間安定して処理容器内に供給することが可能なガス処理装置を提供する。
【解決手段】 ＣＯＲ装置５は、ウエハＷを収容するチャンバー５０と、水素を送給する水素送給ライン５４ｂと、フッ素を送給するフッ素送給ライン５５ｂと、水素送給ライン５４ｂを流通する水素の流量を調整するマスフローコントローラ５４ｃと、フッ素送給ライン５５ｂを流通するフッ素の流量を調整するマスフローコントローラ５５ｃと、水素送給ライン５４ｂおよびフッ素送給ライン５５ｂが接続され、水素送給ライン５４ｂによって送給される水素とフッ素送給ライン５５ｂによって送給されるフッ素とを反応させてフッ化水素ガスを生成する反応容器６２と、反応容器６２内で生成されたフッ化水素ガスをチャンバー５０に供給するフッ化水素供給ライン６１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】簡単な蒸留操作で且つ低コストでフッ酸を含む混酸廃液からフッ酸組成比の増大した混酸を回収する方法を提供する。
【解決手段】フッ酸及び他の酸を含む混酸廃液に、硝酸セシウム、硝酸カリウム及びフッ化マグネシウムからなる群より選ばれる少なくとも１種の金属塩を溶解せしめて蒸留を行うことによって、フッ酸組成比の増大した混酸液を留出させて回収する。 （もっと読む）

【解決手段】フッ素含有廃液をカルシウム化合物で処理することにより得られる、純度の高いフッ化カルシウム固形物を原料として使用する。このフッ化カルシウム固形物と硫酸および発煙硫酸とを適度に加温して混合・反応機で混合する。そして、化学量論量の４０％以上のフッ化水素を発生させ、それを排ガスラインより系外へ放出する。
【効果】回収フッ化カルシウムは天然の蛍石と比較し、反応性が極度に高いため、このときの内温は２００℃以下で十分である。回収フッ化カルシウムの反応性が高いこと、現状よりもはるかに低い温度で反応が可能なことにより、装置材質の選択性が広がり、設備費および修繕費を大幅に低減できる。また、従来の方法に比較して、省エネルギーかつコンパクトなフッ化水素製造方法を提供することができる。更には、ランニングコストを大幅に低減できる。 （もっと読む）

第１の不純物水濃度を有する粗製無水フッ化水素をフッ化カルボニルと接触させて、第１の濃度よりも低い第２の不純物水濃度を有する無水フッ化水素を製造する、無水フッ化水素の含水率を低減する方法。 （もっと読む）

【課題】 複数の設備の後段に配置されたフッ酸回収装置のＨＦの回収効率を高く維持できるようにしたフッ酸回収システムを提供する。
【解決手段】 半導体装置の製造工場内でフッ酸（ＨＦ）廃液中からＨＦを回収するフッ酸回収システム１００であって、ＨＦ廃液を排出する複数の設備の後段に配置されて当該ＨＦ廃液中からＨＦを回収するＨＦ回収装置６０と、ＨＦ廃液を濃縮してそのフッ酸濃度を高めるＨＦ濃縮装置４０と、を備え、ＨＦ濃縮装置４０は、低濃度ＨＦ廃液を排出する除害装置１０とＨＦ回収装置６０との間に配置され、且つ、高濃度ＨＦ廃液を排出するプロセス装置２０，３０とＨＦ回収装置６０との間には配置されていない。 （もっと読む）