【課題】フッ素濃度の高い排水などからフッ素を排水基準値以下または環境基準値まで短時間に低コストで除去することができ、有害物質なども同時に除去することができる処理方法と処理装置を提供する。
【解決手段】フッ素を含む原水にカルシウム塩を添加してフッ化カルシウム沈澱を生成させ、該沈澱を固液分離する一次処理工程、この一次処理後の処理水（一次処理水）に、難溶性金属酸化物と可溶性金属化合物とを添加してアルカリ性下で反応させることによって、該難溶性金属酸化物の表面に層状複水酸化物が形成された汚泥を生成させ、この汚泥を沈降させて固液分離する二次処理工程を有することを特徴とするフッ素および有害物質を除去する処理方法と処理装置。 （もっと読む）

【課題】フッ素ガスの放出率が極めて高い、フッ素化カーボンナノホーンを含む組成物を提供する。
【解決手段】フッ素化カーボンナノホーン、及び、金属フッ化物を含むことを特徴とする組成物。 （もっと読む）

【課題】ダイヤモンド層を表面に形成したフッ素ガス生成用の炭素電極において、高い電流密度を得ることのできる技術を提供する。
【解決手段】炭素電極１０は、炭素材料からなり複数の凹穴２４が主面２１に形成された炭素基材２０と、凹穴２４が形成された主面２１から凹穴２４の内壁面２５の少なくとも一部の深さ位置に亘って炭素基材２０の表面に形成された導電性のダイヤモンド層３０と、を含んでいる。また、フッ素ガス生成装置は、炭素電極１０と、炭素電極１０に電流を供給する給電手段と、を備え、ダイヤモンド層３０に接して供給されたフッ素系の電解液を電気分解して炭素電極１０でフッ素ガスを生成する。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの発生による気体の純度の低下が防止された気体発生装置を提供する。
【解決手段】ベローズポンプ６１は、モータ７０およびヘッド部７１を備える。ヘッド部７１内に、金属からなるベローズ７２が収容されている。ベローズ７２内に気体圧縮室７３が形成されている。モータ７０が作動することにより、ベローズ７２が伸縮する。それにより、気体圧縮室７３が圧縮および拡張され、フッ素ガスが気体導入口７４ａから気体導出口７４ａへ送り出される。ベローズポンプ６１のモータ７０とヘッド部７１との間に、ボール減速機６２が取り付けられる。ボール減速機６２は、モータ７０の回転速度を所定の減速比で減速させてヘッド部７１内のベローズ７２に伝達する。 （もっと読む）

【課題】
乾式で、かつ８００℃未満の低温条件で含フッ素化合物からフッ素を高効率に選択分離するべく、気化した含ハロゲン化合物から解離したハロゲンを反応処理剤にオンサイトで乾式吸収を可能とし、フッ素の固定化量を従来のものよりも選択的に高くすることができるフッ素選択分離剤及び含フッ素化合物の処理方法を提供する。
【解決手段】
ガス状の含フッ素化合物は、６００℃に温度管理された環境下で、フッ素選択分離剤と反応し、フッ素化合物のフッ素がフッ素選択分離剤の触媒及び固体アルカリ剤に固定化される。フッ素選択分離剤は、固体アルカリ剤に固体酸性を示す酸化物系触媒をコーティングしてなる。この結果、気化した含ハロゲン化合物から触媒反応により解離したハロゲンを反応処理剤にオンサイトで乾式吸収を可能とし、フッ素の固定化量を従来のものよりも選択的に高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】非常に大きな現場でのフッ素貯蔵タンクである、バルク分配システムを提供すること。
【解決手段】製造設備における分子フッ素生成と使用に対する統合した解決が、開示される。この統合した解決、およびシステムの一部分、および方法は、新規な局面を含む。本明細書に記載される方法およびシステムのいくつかの実施形態は、製造ツールにおいて、またはその近傍において、分子フッ素を生成する能力を提供し得る。本明細書に記載のシステムおよび方法のその他の実施形態は、複数のフッ素セルを有するフッ素発生器キャビネットを含み得る。この方法およびシステムは、ミクロ電気デバイス、集積ミクロ電子回路、セラミック基板を基礎にしたデバイス、フラットパネルディスプレイ、または他のデバイスのようなデバイスの製造に有用である。 （もっと読む）

【課題】フッ素およびアンモニアを含む原水からフッ素とアンモニアを共に回収する回収装置を提供する。
【解決手段】フッ素およびアンモニアを含む原水からフッ素およびアンモニアを回収する回収装置であって、原水にカルシウム剤を添加してフッ化カルシウムの結晶を生成させるための晶析反応槽と、カルシウム剤を原水に添加するカルシウム剤添加手段と、晶析反応槽においてフッ素が除去された晶析処理水に含まれるアンモニアを濃縮するアンモニア濃縮手段と、を備えるフッ素およびアンモニアの回収装置である。 （もっと読む）

【課題】プラズマエッチングにおいて反応ガスのＨＦ濃度を高め、エッチングレートを向上させる。
【解決手段】フッ素含有原料とＨ_２Ｏ又はＯＨ基含有化合物とを含む原料ガスを大気圧近傍の生成部５のプラズマ空間５ｂに通し、ＨＦとＣＯＦ_２又はＦ_２とを含む反応ガスを生成する。反応ガスを輸送路１０で被処理物９の配置部２へ輸送し、エッチングを行なう。輸送工程中に反応ガスを凝縮部７で凝縮させて凝縮体を得、その後凝縮体を気化部８で気化させる。 （もっと読む）

【課題】複極化現象を効果的に防止することができる新規な電解槽を提供する。
【解決手段】少なくとも一部が電解液に浸漬され、陽極３および陰極５からそれぞれ発生するガスの混合を防止する隔離体７を備える電解槽１０において、フッ化金属の絶縁性不動態被膜９を形成する金属から成る隔離体７を用いる。絶縁性不動態被膜９により複極化現象を防止でき、かつ、被膜９の機械的強度に優れ、剥離や劣化が起こり難く、高い電流効率が得られる電解槽１０を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】プロセス上必要とされる流量のフッ素ガスを安全かつ安定に連続的に供給でき、さらに、安価で操作性に優れた簡易な方法を提供すること。
【解決手段】本発明のフッ素ガスの供給方法は、金属フッ化物固体の熱分解反応によりフッ素ガスを発生して供給するフッ素ガスの供給方法であって、金属フッ化物固体を入れた容器をフッ素ガス供給配管部に接続した後に容器接続部の気密を確認する工程［１］と、フッ素ガスの発生圧力を測定し、得られた圧力値に基づいて、前記容器の加熱温度を制御し、一定の圧力でフッ素ガスを発生させる工程［４］と、発生したフッ素ガスを、前記フッ素ガス供給配管部に設けられたフッ素ガス供給弁を開放して供給する工程［５］と、発生したフッ素ガスの供給を、前記フッ素ガス供給弁を閉じて停止させる工程［６］などとを順次に自動運転操作により進行することを特徴とする。 （もっと読む）