【課題】プラズマエッチングにおいて反応ガスのＨＦ濃度を高め、エッチングレートを向上させる。
【解決手段】フッ素含有原料とＨ_２Ｏ又はＯＨ基含有化合物とを含む原料ガスを大気圧近傍の生成部５のプラズマ空間５ｂに通し、ＨＦとＣＯＦ_２又はＦ_２とを含む反応ガスを生成する。反応ガスを輸送路１０で被処理物９の配置部２へ輸送し、エッチングを行なう。輸送工程中に反応ガスを凝縮部７で凝縮させて凝縮体を得、その後凝縮体を気化部８で気化させる。 （もっと読む）

本発明は、微粉の形態のフッ化カルシウムおよび硫酸からのＨＦおよび硬石膏の製造方法に関する。硫酸の含有率は、凝集が全く起こらない範囲に保たれる。本発明の方法では、天然蛍石に由来するダスト、ならびに、例えば含まれるＨＦを除去するために塩基性カルシウム化合物で廃ガスもしくは廃水を処理することによるフッ化カルシウムと任意選択的に炭酸カルシウム含有固形分とからの、合成フッ化カルシウムを反応させることができる。 （もっと読む）

【課題】任意の形態のアスベスト含有廃材を、ホウフッ化物イオンを含有する廃酸を含む無害化処理水溶液を用いて容易に無害化処理するとともに、同時に、ホウフッ化物イオンを含む廃酸を用いても、ホウフッ化物イオンを分解処理できる、アスベスト含有廃材無害化処理におけるフッ素含有廃酸の処理方法及び、前記無害化処理水溶液を提供する。
【解決手段】アスベスト含有廃材の無害化処理においてフッ化物イオンとホウフッ化物イオンとを含有するフッ素含有廃酸を処理するにあたり、前記フッ素含有廃酸に、塩酸、硫酸及び硝酸よりなる群より選ばれた少なくとも１種の鉱酸と、酸性下でアルミニウムイオンが得られるアルミニウム化合物と、水とを添加してホウフッ化物イオンを分解し、該ホウフッ化物イオンが分解された処理水溶液に、アスベスト含有廃材を接触させて、静置または撹拌することによりアスベスト含有廃材中のアスベストを無害化処理する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、新規な蛍石の精製方法、特に蛍石中のヒ素含量を効果的に低減することができる精製方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、CaF₂及びヒ素を含む鉱石を精製する方法であって、CaF₂及びヒ素を含む鉱石を還元剤と接触させることを含む前記精製方法を提供する。また、本発明は、前記精製方法により得られた鉱石を提供する。さらに、本発明は、前記鉱石を原料として用いる、フッ化水素の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】新規な蛍石の精製方法、特に蛍石中のヒ素含量を効果的に低減することができる精製方法を提供する。
【解決手段】ＣａＦ_２を含む原料蛍石を粉砕して平均粒径１０μｍ以下の蛍石超微粒子を得、該蛍石超微粒子を平均泡径１ｍｍ以下の泡による浮遊選鉱に付して、ＣａＦ_２の純度が原料蛍石より高い精製蛍石を得る。 （もっと読む）

【課題】少ない工程数で且つ高純度の酸を硝フッ酸廃液から回収する方法を提供する。
【解決手段】陽極及び陰極の間に、１対のアニオン交換膜Ａを配置し、一対のアニオン交換膜Ａの間に陽極側から順にカチオン交換膜Ｃと一価選択性カチオン交換膜ＣＩＭＳを配置し、アニオン交換膜Ａとカチオン交換膜Ｃとの間に形成されている脱塩脱酸室５に、硝フッ酸廃液を供給するとともに、脱塩脱酸室５に隣接し且つカチオン交換膜Ｃと一価選択性カチオン交換膜ＳＣとの間に形成されている排液室７に酸水溶液を供給しながら電気透析を行ない、脱塩脱酸室５に隣接し且つ一価選択性カチオン交換膜ＳＣとアニオン交換膜Ａとの間に形成されている酸室９から、硝酸及び／又はフッ酸を回収する。 （もっと読む）

望ましくない流出または漏洩に起因する危険物などを処理する方法であって、散乱物質の中和、散乱物質の固化、物質の不動化、および／または流出物からの有害または望ましくないガス状態の発生軽減の工程または効果の１つまたはそれ以上を含み、好ましくはポリアクリラート−ポリアクリルアミドの架橋共重合体を含む結合剤を使用する方法を開示する。 （もっと読む）

【解決手段】フッ化水素酸、塩酸、ケイフッ化水素酸およびホウフッ化水素酸を含む廃液を、常圧もしくは減圧下における蒸留操作により、酸をほとんど含まない水、ケイフッ化水素酸をほとんど含まないフッ化水素酸と塩酸の混合水溶液、および、塩酸を含まずフッ化水素酸とケイフッ化水素酸を含む水溶液の順に留出させる。ホウフッ化水素酸またはホウ素分は釜残に残す。
【効果】フッ化水素、塩酸、ケイフッ化水素酸を効率よく分離・回収できる。フッ化水素と塩酸を含む水溶液は、ガラスのケミカルエッチング処理液として再利用できる。ケイフッ化水素酸を含む水溶液は、市販用のケイフッ化水素酸、および、ケイフッ化物の合成原料として再利用できる。 （もっと読む）

【解決手段】フッ化水素酸およびケイフッ化水素酸を含む廃液中の固形分を分離した後、蒸留によりまず廃液を濃縮し、主としてフッ化水素酸を含む水溶液と主としてケイフッ化水素酸を含む水溶液をそれぞれ回収する。その他の物質は釜残に残す。
【効果】フッ化水素を含む水溶液は、フッ化水素酸を加えて濃度を調製した後、ガラスのケミカルエッチング処理液として再利用できる。ケイフッ化水素酸を含む水溶液は、２酸化ケイ素を加えてフッ化水素酸をケイフッ化水素酸に変換することにより、さらに水で希釈して所定の濃度に調製することにより、市販用のケイフッ化水素酸およびケイフッ化物の合成原料として再利用できる。 （もっと読む）

フッ化カルシウム微粉またはフッ化カルシウム微粉を含む残留物（例えば、ＨＦまたは肥料生産から生じる廃液または廃ガスを、ＨＦまたはフッ化物を除去するために酸化カルシウムまたは炭酸カルシウムで処理することからの残留物）は、懸濁液の形態で硫酸との反応によってＨＦおよび硫酸カルシウムに変換され得る。外部熱が必要とされないように、未反応酸化カルシウムまたは炭酸カルシウムは、フッ化カルシウムと硫酸との間の吸熱反応に対して十分な熱を発生させる。 （もっと読む）