【課題】ハロゲン系腐食性ガス及びそのプラズマ中で用いられ、十分な吸着力を有する静電チャック、低電圧駆動が可能で試料載置面を構成する絶縁性誘導体材料の厚さを厚くし得る静電チャック装置を提供する。
【解決手段】特定の複合酸化物焼結体を有する静電チャックであって、焼結体が、ＪＩＳ Ｚ ８７２９−１９９４に規定されるＣＩＥＬ^*ａ^*ｂ^*表色系において、Ｃ光源及び２°視野条件で測定される反射色調のＬ^*値が１０以上５０以下である静電チャック、及び（Ａ）試料を静電吸着するための試料載置面を有する板状体と、その背面に設けられた静電吸着用内部電極層と、絶縁性材料層とを有する静電チャック部材を備えてなる静電チャック装置であって、（Ａ）静電チャック部材における板状体の少なくとも試料載置面が、上記静電チャックを構成する複合酸化物焼結体からなる静電チャック装置である。 （もっと読む）

【課題】フッ素系腐食性ガス、塩素系腐食性ガス等のハロゲン系腐食性ガス及びこれらのプラズマ中で用いられ、静電チャックとして十分な誘電率と強度を有する耐食性部材を提供する。
【解決手段】アルミニウムと、イットリウムと、イットリウムを除く希土類元素とを含む複合酸化物焼結体を有し、該焼結体において、イットリウムの原子数（Ｎ_Y）とイットリウムを除く希土類元素の原子数（Ｎ_RE）の和（Ｎ_Y＋Ｎ_RE）に対するイットリウムを除く希土類元素の原子数（Ｎ_RE）の比［Ｎ_RE／（Ｎ_Y＋Ｎ_RE）］が０．０５以上０．５未満であって、焼結体中の平均粒子径が０．５μｍ以上１０μｍ以下であり、かつ最大粒子径が３０μｍ以下であることを特徴とする耐食性部材である。 （もっと読む）

【課題】酸化触媒として活性が高く、しかも資源豊富で安価な鉄系酸化触媒を用いた、高強度で粉落ちやクラックの少ない、実用性の高いハニカム成形体の提供を目的とする。
【解決手段】ＢＥＴ比表面積が３０〜２５０ｍ^２／ｇの紡錘状含水酸化第二鉄１０〜５０重量％、セメント系結合材２０〜６０重量％、無機増量材２０〜６０重量％からなる組成物に成形助剤を添加してハニカム状に成形し、乾燥、焼成してなることを特徴とするハニカム成形体。 （もっと読む）

【課題】容易に低コストで高品質のスピネルセラミックス構造体を形成する製造方法、および当該製造方法を用いて形成したスピネルセラミックス構造体を提供する。
【解決手段】透光性スピネルセラミックス２０の製造方法には、Ｍｇ、Ｚｎからなる群から選択される少なくとも１種を含むＡｌ合金の基板を準備する工程と、上記基板を陽極酸化処理により、上記基板の一方の主表面上に酸化物層が形成された積層体を形成する工程と、上記積層体から上記酸化物層を取り出すために上記基板を除去する工程と、上記基板が除去された上記酸化物層を熱処理する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】高い強度を有する透光性スピネルセラミックスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】カラー液晶プロジェクターに含まれる防塵窓は、スピネルからなる母相２１と、母相２１中に分散したアルミナ粒子２２とを備えた透光性スピネルセラミックス２０からなっている。これにより、透光性スピネルセラミックス２０は、母相２１中に強度の高いアルミナ粒子２２が分散した構造を有する粒子分散型複合材料となる。その結果、防塵窓をカラー液晶プロジェクターにセットする際における機械的な応力等による欠けや傷などの損傷の発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】原料混合物の成形体を焼成することによりチタン酸アルミニウム系焼成体を得る方法において、焼成時、バインダが焼失した後においても良好な機械的強度を保つことができ、もって、焼成中におけるひび割れ等の欠陥の発生が抑制され、所望の形状を有するチタン酸アルミニウム系焼成体を歩留まりよく製造することができる方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム源粉末、チタニウム源粉末およびマグネシウム源粉末を含む原料混合物の成形体を焼成する工程を備え、該マグネシウム源粉末のＢＥＴ比表面積が２．０ｍ²／ｇ以上３０．０ｍ²／ｇ以下であるチタン酸アルミニウム系焼成体の製造方法である。原料混合物は、ケイ素源粉末をさらに含んでいてもよい。 （もっと読む）

【課題】光学エンジンや液晶を用いた各種の表示装置用に、熱歪による偏光を原因とする鮮明度やコントラスト比の低下がなく、優れた映像を形成することが可能である透明基板を提供する。
【解決手段】光学的に偏光性を持たない透明板材と、その周辺部を保持する構造体とで形成されており、透明板材は、透明板材の熱膨張係数と異なる熱膨張係数を有する材料よりなる枠を用いて、透明板材の周囲から応力を加える圧縮手段による圧縮応力或いは引張手段による引張応力を有している透明基板。透明板材は、立方晶を有する透明セラミックスからなる板材であり、透明セラミックスは、スピネル、ＹＡＧまたはＭｇＯである。 （もっと読む）

【課題】 Ｙ_２Ｏ_３（イットリア）とＡｌ_２Ｏ_３（アルミナ）から合成されるガーネット構造の結晶からなる透光性セラミックスにおいて、原料となるＹ_２Ｏ_３およびＡｌ_２Ｏ_３の組成比を制御することで、Ｙ、Ａｌ以外のあらゆる形態の金属元素の添加を必要としないことを特徴とする透光性セラミックスを提供する。
【解決手段】 高純度Ｙ_２Ｏ_３及びＡｌ_２Ｏ_３粉末を出発原料とし、出発原料をＹ_２Ｏ_３が３５．５％〜３７．５％、Ａｌ_２Ｏ_３が６４．５％〜６２．５％の範囲内の比率となるよう秤量し、ボールミル混合により均一混合を図る。１００ＭＰａ〜４００ＭＰａの圧力範囲で冷間静水圧下で成形したのち、減圧真空中で、１７００℃以上の温度で２〜１６時間の焼結を行う。こうして得られた焼結体は相対密度約１００％のＹＡＧ結晶単相から成る多結晶体であり、波長４００ｎｍ〜２０００ｎｍの領域で透光性を有する。本材料は耐熱光学窓をはじめ、レーザホスト材料や光学レンズ材料、耐プラズマ光学窓として好適に利用することができる。 （もっと読む）

本発明は、クリンカー総質量に対して、下記：
・30〜85％のAl₂O₃；
・3〜45％のCaO；
・9〜45％のMgO；
を含み、且つ4%〜60％の範囲の、改定NF B40‐312規格に従う見掛け気孔率水中測定法によって測定したような見掛け気孔率を有することを特徴とするクリンカーに関する。 （もっと読む）

【課題】少ないドープ量であっても、安定して黄橙色に着色した透光性セラミックスを提供する。
【解決手段】Ｆｅ（鉄）とＣｒ（クロム）とを含有するアルミナを主成分とし、Ｆｅの含有量が０．７ｐｐｍ以上２．０ｐｐｍ以下であり、Ｃｒの含有量が０．７ｐｐｍ以上２０ｐｐｍ以下である透光性セラミックス又はＦｅ（鉄）及びＣｒ（クロム）を含有し、ＦｅとＣｒとの含有量がそれぞれ０．５ｐｐｍ以上２０ｐｐｍ以下であることを特徴とするＹ_３Ａｌ_５Ｏ_１２（ＹＡＧ）を主成分とする透光性セラミックス。 （もっと読む）