【課題】減圧環境下で使用されるセラミックス部品において、処理物への汚染の少ないセラミックス部品の装着方法および有機物の汚染の少ない半導体製造装置用セラミックス部品の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線光電子分光法で表面の深さ方向の測定をし、表面から５ｎｍ以深の深さで検出される炭素量が５ｍａｓｓ％以下である状態で半導体製造装置に装着することを特徴とする半導体製造装置用非汚染性セラミックス部品の装着方法である。 （もっと読む）

【課題】スラグや溶鉄に対する耐食性に優れた不定形耐火物用結合剤及び不定形耐火物を提供することを目的とする。
【解決手段】Ｃａ_ｘＳｒ_1-xＡｌ_２Ｏ_４、及びＣａ_yＳｒ_1-yＡｌ_４Ｏ_７の少なくともいずれか、又は、これらと１２(ＣａＯ)_z(ＳｒＯ)_1-z・７Ａｌ_２Ｏ_３の化学組成からなる成分を含有することを特徴とする不定形耐火物用結合剤（但し、０＜ｘ＜１、０＜ｙ＜１、０＜ｚ＜１）、及びこの結合剤と耐火骨材を配合してなる不定形耐火物。 （もっと読む）

【課題】１２Ｃａ_1-X Ｓｒ_X Ｏ・７Ａｌ₂ Ｏ₃ （ｘ＝０〜１）で示される組成の化合物に簡便な方法によって電気伝導性を付与することを目的とする。
【解決手段】１２Ｃａ_1-X Ｓｒ_X Ｏ・７Ａｌ₂ Ｏ₃ （ｘ＝０〜１）で示される組成の化合物を、炭素とともに、窒素を主成分とする雰囲気中で、７００℃以上１５００℃以下で、１０分以上２４時間以下で加熱して電子を包接させてなることを特徴とする電気伝導性複合化合物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ハロゲン系腐食性ガス、プラズマ等に対する耐食性に優れ、かつ、体積抵抗率を抑制制御することができ、しかも、高靭性であり、半導体・液晶製造装置等、特に、プラズマ処理装置用の部材として好適に使用することができるイットリウム・アルミニウム・ガーネット系複合材を提供する。
【解決手段】粒径３００μｍ以下のタングステン、モリブデン、ニオブおよびタンタルのうちの少なくともいずれか１種の金属を、イットリウム・アルミニウム・ガーネットに対して２体積％以上３００体積％以下の範囲内で混合分散させたセラミックスまたはサーメットにおいて、２０〜４００℃で１０²Ω・ｃｍ以上１０¹²Ω・ｃｍ以下の範囲内の所望の体積抵抗率に制御する。 （もっと読む）

【課題】この発明は、クロムの価数制御とレーザ光の散乱要因となる気孔の除去を同時に行なうことができて、しかも可視から赤外域にわたって特異吸収以外での直線透過率が厚さ１mmで８３％以上であり、特異吸収である波長１０６４nmにおける直線透過率が厚さ１mmで３０％以上７５％以下であるクロム含有酸化イットリウムアルミニウムガーネット焼結体を得ようとするものである。
【解決手段】主としてクロムを含有する透光性酸化イットリウムアルミニウムガーネット焼結体であって、可視から赤外域にわたって特異吸収以外での直線透過率が厚さ１mmで８３％以上、特異吸収である波長１０６４nmにおける直線透過率が、厚さ１mmで３０％以上７５％以下である透光性酸化イットリウムアルミニウムガーネット焼結体である。 （もっと読む）

【課題】高屈折率を有しながらも、放射線によるブラウニングを生じ難い光学材料からなる耐放射線性レンズと放射線遮蔽体、これらを用いたレンズモジュール及び高放射線環境用テレビカメラの提供。
【解決手段】主成分が一般式でＢａ｛（Ｓｎ_ｕＺｒ_１−ｕ）_ｘＭｇ_ｙＴａ_ｚ）｝_ｖＯ_ｗ で表される組成の材料を焼結した透光性セラミックスからなり、ｗが電気的中性を保つための正の数であり、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１，０．１００≦ｘ≦０．７００，１．８０≦ｚ／ｙ≦２．２０、１．００≦ｖ≦１．０５、ｕ×ｘ≦０．０５を満たすもの、又はＹＡＧ結晶、又はタンタル酸リチウム結晶、のうちのいずれか一種からなる耐放射線レンズまたは放射線遮蔽体、これらを用いたレンズモジュール及び高放射線環境用テレビカメラ。 （もっと読む）

【課題】ガラスセラミック、特に低周波数変換のための光変換材料に特に適したガラスセラミックの製造方法を目的とする。
【解決手段】酸化物を基準として、５重量％〜５０重量％のＳｉＯ_２と、５重量％〜５０重量％のＡｌ_２Ｏ_３と、１０重量％〜８０重量％の、Ｙ_２Ｏ_３、Ｌｕ_２Ｏ_３、Ｓｃ_２Ｏ_３、Ｇｄ_２Ｏ_３、およびＹｂ_２Ｏ_３からなるグループから選択される少なくとも１種の酸化物と、同様に０．１重量％〜３０重量％の、ランタノイドの酸化物およびＢ_２Ｏ_３からなるグループから選択される少なくとも１種の酸化物とからなる出発ガラスを製造する。その後、上記材料を、少なくとも１００Ｋ／分の加熱速度で、好ましくは赤外線加熱を用いて、１０００℃〜１４００℃の範囲の温度に、ガーネット相を含む微結晶が形成されるまで、セラミック化のために加熱する。その後、室温まで冷却する。 （もっと読む）

【課題】多結晶構造のガーネット型Ｅｕ含有無機化合物において、Ｅｕドープ量と発光特性との関係を明らかにして、Ｅｕドープ量を好適化する。
【解決手段】本発明のＥｕ含有無機化合物は、母体ガーネット型化合物に対してＥｕがドープされて固溶化された多結晶構造のＥｕ含有無機化合物において、ガーネット構造の８配位サイト中に占めるＥｕのドープ量が０．５モル％超５０．０モル％以下であることを特徴とするものである。ガーネット構造の８配位サイト中に占めるＥｕのドープ量は、５．０〜３０．０モル％であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】水質改善効果や脱臭効果の高いセラミック固形物を提供する。
【解決手段】ゼオライトを粉砕して得られたゼオライト粉末に適量の水、好ましくはマイナスイオン水を混合し、十分に練り合わせる。そして、人の手などを用いて所定形状の固形物、例えば直径５ｍｍ〜１５ｍｍの球状物に成形する。このゼオライト球状物は水分を含んでいるので、１週間位かけて日陰で自然乾燥させる。このとき、日干しなどにすると、ゼオライト球状物に割れが入るので注意を要する。その後、１１５０℃〜１２５０℃の炉内で、２日間程度かけて、ゼオライト球状物を焼結してセラミック球状物とする。このとき炉として、マイナスイオンが発生すると言われている登り釜を用い、燃料として赤松を用いることが好ましい。焼結されたセラミック球状物は室温まで自然冷却する。ゼオライト固形物の形状は球状に限らず、用途に適した形状を選択すればよい。 （もっと読む）

【課題】 氷点下から１００℃を超える広い温度領域で、プロトン伝導度が水分量（湿度）による影響を受けにくく、無加湿条件下で伝導率を発現する固体電解質材料を提供する。
【解決手段】プロトン伝導性固体電解質は、平均孔径が１００nm以下である細孔を有する多孔質無機固体からなり、前記細孔内面および前記多孔質無機固体表面に活性水素を有する官能基を備えている。前記多孔質無機固体が、多孔質アルミノケイ酸を主成分とすることが好ましい。 （もっと読む）