【課題】２００ｎｍより短波長の光による露光に好適で高解像度のレジストパターンを形成することができるネガ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ可溶性が増大する樹脂成分と、（Ｂ）芳香環又は脂肪族環に直接結合した炭素原子上に２級又は３級アルコール構造を有する多価アルコール化合物、および（Ｃ）露光により酸を発生する酸発生剤成分を少なくとも含有してなるネガ型レジスト組成物であり、樹脂成分（Ａ）が２００ｎｍより短波長の光に対して高度な透明性を有する。 （もっと読む）

ハロゲン化化合物の反応ステップ、化合物の脱ハロゲンステップ、アルコールの反応ステップ、オレフィンと飽和化合物の反応ステップ、２以上の−ＣＦ_３基を有する反応物を環状基を有する反応物と反応させるステップを含んだ製造方法並びにシステムが提供される。Ｒ_Ｆ−中間生成物、Ｒ_Ｆ−界面活性剤、Ｒ_Ｆ−モノマー、Ｒ_Ｆ−モノマー単位、Ｒ_Ｆ−金属錯体、Ｒ_Ｆ−燐酸エステル、Ｒ_Ｆ−グリコール、Ｒ_Ｆ−ウレタン、及び／またはＲ_Ｆ−フォーム安定剤等のＲＦ組成物。Ｒ_Ｆ部分は、２以上の−ＣＦ_３基、３以上の−ＣＦ_３基、及び／または２以上の−ＣＦ_３基と２以上の−ＣＨ_２基を含むことができる。Ｒ_Ｆ−界面活性剤組成物を含んだ洗剤、乳化剤、塗料、接着剤、インク、湿潤剤、発泡剤、及び消泡剤が提供される。Ｒ_Ｆ−モノマー単位を含んだアクリル、樹脂、及びポリマーが提供される。以上のＲ_Ｆ−組成物を有する基質を含んだ組成物が提供される。Ｒ_Ｆ−界面活性剤及び／またはＲ_Ｆ−フォーム安定剤を含むことができる水性皮膜形成フォーム（“ＡＦＦＦ”）処方物が提供される。
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ハロゲン化化合物の反応ステップ、化合物の脱ハロゲンステップ、アルコールの反応ステップ、オレフィンと飽和化合物の反応ステップ、２以上の−ＣＦ_３基を有する反応物を環状基を有する反応物と反応させるステップを含んだ製造方法並びにシステムが提供される。Ｒ_Ｆ−中間生成物、Ｒ_Ｆ−界面活性剤、Ｒ_Ｆ−モノマー、Ｒ_Ｆ−モノマー単位、Ｒ_Ｆ−金属錯体、Ｒ_Ｆ−燐酸エステル、Ｒ_Ｆ−グリコール、Ｒ_Ｆ−ウレタン、及び／またはＲ_Ｆ−フォーム安定剤等のＲＦ組成物。Ｒ_Ｆ部分は、２以上の−ＣＦ_３基、３以上の−ＣＦ_３基、及び／または２以上の−ＣＦ_３基と２以上の−ＣＨ_２基を含むことができる。Ｒ_Ｆ−界面活性剤組成物を含んだ洗剤、乳化剤、塗料、接着剤、インク、湿潤剤、発泡剤、及び消泡剤が提供される。Ｒ_Ｆ−モノマー単位を含んだアクリル、樹脂、及びポリマーが提供される。以上のＲ_Ｆ−組成物を有する基質を含んだ組成物が提供される。Ｒ_Ｆ−界面活性剤及び／またはＲ_Ｆ−フォーム安定剤を含むことができる水性皮膜形成フォーム（“ＡＦＦＦ”）処方物が提供される。
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ハロゲン化化合物を反応させ、化合物を脱ハロゲン化させ、アルコールを反応させ、オフィンおよび飽和化合物を反応させ、少なくとも２つの−ＣＦ_３基を有する反応体を、環状基を有する反応化合物と反応させることを含む生産プロセスおよびシステムを提供する。
Ｒ_Ｆ中間体、Ｒ_Ｆ界面活性剤、Ｒ_Ｆモノマー、Ｒ_Ｆモノマー単位、Ｒ_Ｆ金属錯体、Ｒ_Ｆリン酸エステル、Ｒ_Ｆグリコール、Ｒ_Ｆウレタン、および／またはＲ_Ｆ発泡安定化剤のようなＲ_Ｆ組成物。Ｒ_Ｆ部分は、少なくとも２つの−ＣＦ_３基、少なくとも３つの−ＣＦ_３基、および／または少なくとも２つの−ＣＦ_３基および少なくとも２つの−ＣＦ_２−基を含みうる。Ｒ_Ｆ界面活性剤組成物を含む洗剤、エマルジョン化剤、塗料、接着剤、インク、湿潤剤、発泡剤、および消泡剤を提供する。Ｒ_Ｆモノマー単位を含むアクリル酸樹脂および重合体を提供する。その上にＲ_Ｆ組成物を有する支持体を含む組成物を提供する。Ｒ_Ｆ界面活性剤および／またはＲ_Ｆ発泡安定化剤を含みうる水性膜形成発泡体（「ＡＦＦＦ」）配合物を提供する。
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