【課題】液浸露光用として好適で、かつリソグラフィー特性も良好な液浸露光用レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】酸の作用によりアルカリ溶解性が変化する樹脂成分（Ａ）および露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）を含む液浸露光用レジスト組成物であって、前記樹脂成分（Ａ）が、フッ素原子を含有し、かつ酸解離性基を有さない樹脂（Ａ１）と、アクリル酸から誘導される構成単位（ａ’）を有し、かつフッ素原子を含有しない樹脂（Ａ２）とを含有することを特徴とする液浸露光用レジスト組成物。 （もっと読む）

本発明は、硬化または架橋ポリシロキサンおよびフッ素化ポリマーまたはオリゴマーを含む汚れ剥離組成物に関する。本発明は、また、海水に沈められる物品への適用のための汚れ剥離塗料における該汚れ剥離組成物の使用に関する。 （もっと読む）

【課題】特定の含フッ素重合体を溶融混練した後紡糸することにより、少量の含フッ素重合体の添加においても効果的に撥液性を発現する複合繊維を提供する。
【解決手段】 （A）熱可塑性樹脂を含んでなる芯、および（B）融点２２５℃以下の熱可塑性樹脂と含フッ素化合物を含んでなる鞘であって、含フッ素化合物は、炭素数１〜２１の直鎖状または分岐状のフルオロアルキル基またはフルオロアルケニル基を含有する含フッ素重合性化合物から誘導された繰り返し単位を有する含フッ素重合体、あるいは炭素数１〜２１の直鎖状または分岐状のフルオロアルキル基またはフルオロアルケニル基を含有する含フッ素ウレタン化合物であり、含フッ素化合物の量が鞘に対して０．１〜１０．０重量％である鞘からなる芯鞘構造を有する複合繊維。 （もっと読む）

【解決手段】式（１）で示されるフッ素化合物に式（２）及び（３）で示される還元剤又は有機金属試薬を反応させる式（４）で示されるフッ素アルコール化合物の製造方法。


（式中、Ｒ¹はＨ、又はＣ１〜２０の１価炭化水素基で、１価炭化水素基の場合、構成する−ＣＨ₂−が−Ｏ−又は−Ｃ（＝Ｏ）−に置換されていてもよい。Ｒ²はＨ、又はＣ１〜６の１価炭化水素基。Ｒ³、Ｒ⁴はＨ、又はＣ１〜８の１価炭化水素基。Ｍ¹は置換されていてもよいＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ａｌ、Ｂ、Ｓｉ。）
【効果】本発明の含フッ素単量体は、機能性材料、医薬・農薬等の原料として、中でも感放射線レジスト材料のベース樹脂を製造するための単量体として有用である。本発明の方法によれば、単量体を極めて容易にかつ安価に製造可能である。 （もっと読む）

【課題】液浸露光中のレジスト膜の変質および使用液浸露光用液体の変質を同時に防止し、かつ処理工程数の増加なしに、形状良好なレジストパターンを形成可能な保護膜形成用材料を提供する。
【解決手段】下記一般式（Ｉ）で表される構成単位を有するアルカリ可溶性ポリマーと、アルコール系溶剤とを含有して保護膜形成用材料を構成する。
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【課題】 反射防止膜として有用な耐擦傷性、耐薬品性、透明性、反射防止性能等に優れた低屈折率膜形成用組成物を提供する。
【解決手段】 この低屈折率膜形成用組成物は、パーフルオロ基含有 (メタ)アクリル酸エステル樹脂と、一般式R_nSiX_(4-n)で表されるシランカップリング剤で処理された中空シリカ系微粒子とからなる。式中、R: 炭素数1〜4のアルコキシ基、メタアクリロイルオキシ基、アクリロイルオキシ基、パーフルオロ(メタ)アクリロイル基であり、X：炭素数1〜4のアルコキシ基、シラノール基、ハロゲンまたは水素である。 （もっと読む）

【課題】 低屈折性材料として使用されているシリカ系ガラスやフッ素系樹脂ではどちらも簡便な製造方法や成形加工を適用することが難しく、その使用用途が限られていた。低屈折率性と良好な成形加工性を併せ持つ樹脂が望まれていた。
【解決手段】 本発明者らは、上記課題に鑑み鋭意検討した結果、特定の構造の、屈折率が１．４８以下であることを特徴とする含フッ素（メタ）アクリル酸エステル系重合体、またはその製造方法を提供した。 （もっと読む）

【課題】 優れた撥水撥油性、防汚性および離型性を与える含フッ素重合体を提供する。
【解決手段】 炭素数１〜６のフルオロアルキル基を有し、α位の水素原子が置換されている含フッ素アクリレートを含んでなる単量体を高圧流体中で重合することからなる含フッ素重合体の製造方法。 （もっと読む）

約１３×１０^８パスカル未満の弾性率を有する透明ポリマー本体部分と、約１４×１０^８パスカルを超える弾性率を有し、共有結合したフッ素またはケイ素を有するポリマーを含む、内部反射性で開放空気に露出したキューブコーナー光学素子の層とを含む、プリズム再帰反射物品。従来使用されていた裏面カバーフィルムを除去することができ（それによって、費用、重量、剛性、およびシール脚形成による再帰反射性の低下が減少する）、湿潤条件、汚れた条件、または湿潤条件および汚れた条件の両方における再帰反射性を少なくとも部分的に維持することができる。
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１つの態様において、本発明は、式（Ｉ）


（式中、
ＲＦは、式Ｒ_f−Ｗ−（ここで、Ｒ_fはパーフルオロアルキル基またはパーフルオロポリエーテル基であり、Ｗは二価結合基である）を有する弗素化基であり、ＰＩは、ベンゾフェノン基、置換ベンゾフェノン基、アセトフェノン基または置換アセトフェノン基を含む一価のペンダントの有機部分であり、Ｒは、Ｈ、ＣＨ₃またはＦであり、Ｒｈは、１〜約８個の炭素原子を有する直鎖または分岐のアルキル基、４〜約８個の炭素原子を有するシクロアルキル含有アルキル基および３〜約８個の炭素原子を有するシクロアルキル基からなる群から選択された低級アルキルであり、すべては任意に鎖状につながったＯ原子またはＮ原子を含み、ｍは少なくとも２であり、ｎは少なくとも１であり、ｑは０以上である）
から選択されたフルオロケミカルと、ヒドロフルオロエーテルの混合物を含むフルオロケミカル組成物を提供する。
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