【課題】液浸露光中のレジスト膜の変質および使用液浸露光用液体の変質を同時に防止し、かつ処理工程数の増加なしに、形状良好なレジストパターンを形成可能な保護膜形成用材料を提供する。
【解決手段】下記一般式（Ｉ）で表される構成単位を有するアルカリ可溶性ポリマーと、アルコール系溶剤とを含有して保護膜形成用材料を構成する。
（もっと読む）

【課題】マイクロ電子デバイス製造のための液浸リソグラフィに有用なポリマー、ポリマーの製造方法及びポリマーから成る組成物を提供すること。
【解決手段】液浸リソグラフィプロセスに有用な非自己現像型及び現像型のノルボルネン系ポリマー、ノルボルネン系ポリマーの製造方法、ノルボルネン系ポリマーを使用する組成物を提供する。また、ノルボルネン系ポリマー組成物を使用する液浸リソグラフィプロセスに関する。液浸リソグラフィプロセスにおける現像層及びこのような現像層を被覆するためのトップコート層を形成するのに有用なノルボルネン系ポリマー及びそのプロセスに関する。 （もっと読む）

【課題】
重合系に酸素や水が存在しても、重合活性への影響がほとんどなく、極性基または官能基を有する環状オレフィン系化合物を単量体として用いても、少ない触媒量で重合することができる多成分系のパラジウム触媒を用いた環状オレフィン系付加重合体の製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明に係る環状オレフィン系付加重合体の製造方法は、特定のホスフィン化合物を配位子とするパラジウムの有機酸塩錯体からなる触媒成分（ａ）と、イオン性ホウ素化合物またはイオン性アルミニウム化合物からなる触媒成分（ｂ）とを含むパラジウム系触媒を用いて、環状オレフィン系化合物を含む単量体を付加重合することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
押出機中で溶融混練した場合に低いトルクで溶融混練することができ、成形性に優れる環状オレフィン系重合体を提供する。
【解決手段】
ゲル成分を含まない環状オレフィン系重合体であって、該環状オレフィン系重合体のガラス転移温度より５０℃高い温度において、伸長ひずみ速度０．１Ｓ^-1で測定される任意の２点の伸長ひずみ量Ａ、Ｂにおけるそれぞれの一軸伸長粘度η_A、η_Bの比で表されるひずみ硬化パラメータの最大値（λn）が、次式で表される関係を有する環状オレフィン系重合体。
Ｂ／Ａ＝１０におけるλn＝η_B／η_A＝５．０〜８０．０
（Ａ、Ｂは測定時における試料の伸長ひずみ量を示し、Ａの伸長ひずみ量は０．１〜０．３の範囲内である。） （もっと読む）

【課題】
押出機中で溶融混練した場合に低いトルクで溶融混練することができ、成形性に優れる環状オレフィン系重合体を提供する。
【解決手段】
極限粘度（η）とＧＰＣ法により求められる重量平均分子量（Ｍｗ）との関係式（式（１））より求められる比例定数Ａが０．５２以上であって、かつ、１３５℃のテトラリンに可溶である環状オレフィン系重合体。
ｌｏｇ［η］＝ Ａ×ｌｏｇ［Ｍｗ］＋ Ｂ ・・・ 式（１） （もっと読む）

【課題】２００ｎｍより短波長の光による露光に好適で高解像度のレジストパターンを形成することができるネガ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）酸の作用によりアルカリ可溶性が増大する樹脂成分と、（Ｂ）芳香環又は脂肪族環に直接結合した炭素原子上に２級又は３級アルコール構造を有する多価アルコール化合物、および（Ｃ）露光により酸を発生する酸発生剤成分を少なくとも含有してなるネガ型レジスト組成物であり、樹脂成分（Ａ）が２００ｎｍより短波長の光に対して高度な透明性を有する。 （もっと読む）

本発明はネガティブＣ−プレートの役割と偏光膜の透明保護層の役割を同時に果たすことができ、厚さ方向にネガティブ複屈折率を有する透明フィルムを偏光膜の保護層として使用し、ネガティブＣ−プレートとして光学補償機能と偏光板との機能を同時に有する一体型偏光板およびその製造方法に関し、前記一体型偏光板はＴＡＣを保護層として使用する偏光板より高温、高湿での耐久性が優れており、液晶がＯＮまたはＯＦＦ状態であるときに、厚さ方向にポジティブ複屈折率を有する液晶表示装置で向上した広視野角を有する。 （もっと読む）

【課題】触媒組成物およびその調製に関する方法。ならびに非極性オレフィンモノマー、極性オレフィンモノマーおよびのその組み合わせを含むエチレン性不飽和モノマーを、触媒組成物の存在下で重合、ポリマーを調製する方法。
【解決手段】少なくとも一つのカチオン性金属対錯体を含む触媒組成物で、対の金属原子は少なくとも１．５オングストロームで２０オングストローム以下のスルースペース核間距離を有する特定構造の錯体を含有する触媒組成物、および触媒組成物を用いて重合したポリマーを提供する。 （もっと読む）

【課題】触媒組成物およびその調製方法ならびにエチレン性不飽和モノマーからポリマーを調製するための該触媒組成物の使用を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの金属対を含有するカチオン性金属対錯体であって、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｃｒ、Ｍｎから選択される第１の金属とＮｉ、Ｐｄ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｒｈ、Ｃｒ、Ｍｎから選択される第２の金属とが１．５〜２０オングストロームの核間距離を有する特定構造の錯体を含む触媒組成物。該触媒組成物を用いた極性および／または非極性エチレン性不飽和モノマーの重合法、およびこれにより製造される付加ポリマー。 （もっと読む）

要約
本発明は、導波路構造、並びにコア領域およびその横に隣接するクラッド領域からなる当該構造を形成するための方法を提供する。本発明の実施例の導波路構造は、コア領域がその横に隣接するクラッド領域およびクラッド層によって共同的に取り囲まれている。そのような構造を形成するための方法も提供する。

（もっと読む）