ナノエレクトロニクスおよびマイクロエレクトロニクスの基板を超臨界流体状態条件下で洗浄するためのナノエレクトロニクスおよびマイクロエレクトロニクスの洗浄組成物、特に、二酸化ケイ素、繊細な低κまたは高κ誘電体および銅、タングステン、タンタル、ニッケル、金、コバルト、パラジウム、白金、クロム、ルテニウム、ロジウム、イリジウム、ハフニウム、チタン、モリブデン、スズおよび他のメタライゼーションを特徴とするナノエレクトロニクスおよびマイクロエレクトロニクスの基板、並びにＡｌまたはＡｌ（Ｃｕ）メタライゼーションおよび先端的な相互接続技術の基板に有用であり、これらとの適合性が改善された洗浄組成物は、本発明のナノエレクトロニクスおよびマイクロエレクトロニクスの洗浄組成物を含むナノエレクトロニクスおよびマイクロエレクトロニクスの洗浄組成物により提供される。これらは、以下を含む組成物により提供される：（１）２５０℃の温度またはそれ以下、および６００バール（５９２.２気圧、８７０２.３ｐｓｉ）の圧力またはそれ以下で超臨界流体状態に達する超臨界主要流体、および（２）第２の流体として、以下の製剤から選択される修飾製剤：ａ）以下を含む製剤：酸化剤；アミド類、スルホン類、スルホレン類、セレノン類および飽和アルコール類からなる群から選択される極性有機溶媒；および、場合による他の成分；ｂ）以下を含む珪酸塩不含製剤：アミド類、スルホン類、セレノン類および飽和アルコール類からなる群から選択される極性有機溶媒；強アルカリ塩基；および場合による他の成分；ｃ）以下を含む製剤：約０.０５重量％ないし３０重量％の、非求核性の正荷電対イオンを含有する１種またはそれ以上の非アンモニウム産生強塩基；約０.５ないし約９９.９５重量％の、１種またはそれ以上の、腐食阻害性溶媒化合物、該腐食阻害性溶媒化合物は、金属と錯体化し得る少なくとも２個の部位を有する；および、場合による他の成分；ｄ）以下を含む製剤：約０.０５ないし２０重量％の、１種またはそれ以上の非アンモニウム産生、非ＨＦ産生フッ化物塩；約５ないし約９９.９５重量％の水、有機溶媒または水と有機溶媒の両方；および、場合による他の成分；並びにｅ）以下を含む製剤：約０.０５％ないし３０重量％の、非求核性の正荷電対イオンを含有する１種またはそれ以上の非アンモニウム産生強塩基；約５ないし約９９.９５重量％の、１種またはそれ以上の立体障害のあるアミド溶媒；および、場合による他の成分。 （もっと読む）

本発明は、マイクロエレクトロニクス産業で有用な、フォトレジスト残渣および他の望まざる汚染を除去することにより半導体ウエハ基板を剥離または洗浄するためのアルカリ性組成物を提供する。その組成物は、（ａ）１種またはそれ以上の塩基、および、（ｂ）１種またはそれ以上の式：Ｗ_ｚＭＸ_ｙ（式中、Ｍは、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｐｔ、Ｐ、Ｂ、Ａｕ、Ｉｒ、Ｏｓ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｒｈ、ＲｕおよびＳｂからなる群から選択される金属であり；Ｘは、Ｆ、Ｃｌ、ＢｒおよびＩからなる群から選択されるハロゲン化物であり；Ｗは、Ｈ、アルカリまたはアルカリ土類金属および金属イオン不含水酸化物塩基部分から選択され；ｙは、ハロゲン化金属に応じて、４ないし６の数であり；そして、ｚは、１、２または３の数である）の金属腐食阻害性ハロゲン化金属化合物を含有する。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも一つのタイプのアルカリ化剤と少なくとも一つのキレート剤の凝集混合物を含んでなるアルカリ化剤、および本発明の固体アルカリ化組成物を含有する固体またはペースト状成分、溶解されるべき溶媒および／または過酸化水素含有成分を、アルカリ化剤の形態で溶解する間の過酸化水素の分解を低減するための該組成物の使用に関する。 （もっと読む）

プリオンで汚染された医療機器の表面を処理する方法は、この表面と過酸化物イオン源を含む組成物（例えば、少なくとも１．５Ｍ過酸化物のモル濃度の過酸化水素（約５％過酸化水素と等価である）および好ましくは、約２Ｍ過酸化物（約７％過酸化水素））とを接触する工程を含む。上記組成物は必要に応じてゲル状である。上記組成物は上記表面との接触において、全てのプリオン汚染または実質的に全てのプリオン汚染が除去されるまで、約２時間保持される。
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過酸化水素及び疎水化した二酸化ケイ素を含有する粉体状混合物は、過酸化水素及び／又は酸素の制御された放出のために使用される。制御された放出は、時間的に遅延して、又は圧力の作用によって行われる。過酸化水素は、水性又は粉体状媒体中へ、及びエマルション、ゲル、クリーム、又はペースト中へ放出されてよい。 （もっと読む）

【構成】 (a) 過炭酸ナトリウムを 0.1〜99重量％、特定の有機過酸生成率を有する漂白活性化剤を 0.1〜95重量％及び(c) 界面活性剤を10重量％未満の割合で含有する粉末又は粒状の漂白剤組成物、及び上記(a) 成分を 0.1〜60重量％、(b) 成分を0.1 〜50重量％及び(c) 成分を10〜60重量％（但し、(c) 成分中の非イオン界面活性剤の比率が全界面活性剤中50重量％以下である。）の割合で含有する粉末又は粒状の漂白洗浄剤組成物。
【効果】 漂白性能に優れ、且つ色・柄物の繊維製品に使用しても褪色を起こさない。 （もっと読む）