国際特許分類[C23C14/06]の内容
化学;冶金 (1,075,549) | 金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般 (47,648) | 金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般 (43,865) | 被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆 (14,491) | 被覆材料に特徴のあるもの (5,176)
国際特許分類[C23C14/06]の下位に属する分類
酸化物 (1,369)
ガラスまたはシリカ (136)
有機質材料 (388)
金属質材料,ほう素またはけい素 (937)
国際特許分類[C23C14/06]に分類される特許
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圧延ロール
【目的】 本発明ロールは、急熱、急冷繰り返しの過酷な熱応力と高温度での過酷な機械的衝撃が掛かるとともに高温度における耐摩耗性が要求される熱間圧延用ロールの長寿命を計る。
【構成】 本発明は、超硬合金製ロールのカリバー部分に、物理蒸着法により、TiN、TiCNを多層被覆するとともに、その膜質を微細に保ち、また必要に応じて最表面を梨地状に加工して平滑な面として、圧延材の肌荒れ、凝着による損傷を防止する。
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セラミック被覆部材とその製造方法
【目的】 工具鋼、軸受鋼を基材として用いた耐摩耗性と耐食性に優れたセラミック被覆部材とその製造方法を提供するものである。
【構成】 工具鋼、軸受鋼を基材とし、窒化チタン、炭化チタンまたは炭窒化チタン膜であって当該膜をTiCxN1-xと表すとき、前記の基材の表面に0≦X≦0.1で膜厚0.5μm以上2.0μm以下の界面層、0.6≦X≦1.0で膜厚0.5μm以上5.0μm以下の中間層、さらに0≦X≦0.6で膜厚1.0μm以上5.0μm以下の最表層からなる皮膜を成膜する。皮膜の作成は、蒸発源を金属チタンとし、窒素ガス、アセチレンを含む反応ガスを使用し、アーク放電を利用したイオンプレーティング法によって組成を制御して成膜する。
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集積回路、その製造方法およびその薄膜形成装置
【目的】 バリア層の電気的コンタクトおよびバリア性が向上した集積回路を得ることを目的とする。
【構成】 シリコン基板62上にバリア層61を介して配線層60が形成された大規模集積回路において、バリア層61を、シリコン基板62から配線層60に向ってチタン層65、窒化二チタン層68および窒化チタン層67の順序で形成した。
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積層体
【目的】 可視光に対して高い透過率を示し、低価格で、容易に製造できる、導電、熱線反射、帯電防止、電磁波遮断、透明断熱等の用途に用いる積層体を提供する。
【構成】 光透過性基材の少なくとも片面に、プラズマ重合膜層、金属薄膜層およびプラズマ重合膜層が、この順序で積層されてなる選択光透過性積層体。
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シリコン系薄膜の形成方法
ハンドピース用コーティング
所定の粗さを有する硬質材料層(11)及び湿潤性を低減させ、硬質材料層(11)上に配置されたプラスチック層(12)からなる歯科医療又は外科手術用ハンドピース(1)用コーティング。これにより、汚れを寄付けない表面が得られる。同時に、ハンドピースの滑りを避けるため操作性が向上する。 (もっと読む)
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