【課題】 カールフィッシャー法による水分含有量測定ができないプレカーサを含有し、高度な水分管理がなされた気化プロセス用薄膜原料を提供すること。
【解決手段】 分子構造中にＳｉ−Ｈを有するシラン化合物、亜燐酸エステル、銅(II)錯体、銅（I）錯体、金属アミド化合物、金属アルコキシド化合物、アルキル金属化合物及び金属ハイドライド化合物からなる群から選択される少なくとも１種のプレカーサを含有してなり、水分含有量が１ｐｐｍ以下である気化プロセス用薄膜原料。 （もっと読む）

【課題】無色透明で、加熱しても優れたガスバリア性を保持できる内面被覆プラスチック容器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】内面側に被覆層２と被覆層３とからなるガスバリア被覆層４を備える。被覆層２は、有機珪素化合物を含む出発原料からプラズマＣＶＤにより容器１の内表面上に形成された有機珪素化合物のプラズマ重合体を含む珪素含有被膜であり、５０〜７００オングストロームの厚さを備え珪素と酸素との原子比が１／１．５〜１／２．３である。被覆層３は、炭素化合物を含む出発原料からプラズマＣＶＤにより被覆層２上に形成されたアモルファスカーボン被膜であって１０〜３００オングストロームの厚さと５５×１０^−３Ｎ／ｍ以下の表面張力とを備える。容器１の胴部におけるガスバリア被覆層４形成前後の着色透明度の変化が、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系により算出されるΔＥ^＊値で２．５以下である。バリア性指標値が５．０以上である。 （もっと読む）