【課題】Ｌｏｗ−ｋ膜等の絶縁膜に対するダメージが少なく、ディッシング、エロージョンが低減できる基板を電解研磨する方法を提供する。
【解決手段】バリア膜３と配線金属層４とを被加工面に有する基板１Ａ，１Ｂを陰極とし、当該被加工面と陽極との間に電圧を印加して、当該被加工面と当該被加工面に対向して接触する研磨パッドとを相対運動させることによってバリア膜３を除去する、基板を電解研磨する方法を採用する。 （もっと読む）

【課題】ＥＬＩＤ研削法を用いてウェハを研削するに際し、ウェハのうち研削すべき面とは反対側の面に不純物膜が形成されてしまうことを防止する。
【解決手段】ウェハ３０を設置するポーラスチャック２０の周囲に接地用部材４０を配置し、この接地用部材４０にグランド端子５０を接触させる。これにより、導電性の研削液を介してウェハ３０と接地用部材４０とを電気的に接続することができる。したがって、研削液が帯電すると共にウェハ３０が帯電したとしても、ウェハ３０をグランド電位とすることができ、ウェハ３０の裏面３２に不純物膜が形成されてしまうことを防止することができる。 （もっと読む）

本発明は、電解液（８）および金属部材（５）の電気化学的加工方法に関し、前記電解液（８）はプロトン性溶媒（１５）を含む。
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本発明は、少なくとも１つの構成要素（３）の電気化学処理用の方法およびデバイス（１）であって、処理チャンバ（２）と、処理チャンバ（２）への電解質（２５）用の少なくとも１つの供給ユニットとを有し、電解質（８）のｐＨ値を設定するための少なくとも１つの設定手段が、処理チャンバ（２）の前に提供される方法およびデバイス（１）に関する。
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【課題】ウェハ表面の導電性膜の通電不良による加工残りを無くし、ウェハ全面に安定して電流を供給して導電性膜を除去し、既に加工された導電性膜の腐食を防止する。
【解決手段】ウェハＷの外周部に複数のウェハチャック４１〜４６を着脱可能に取り付け、各ウェハチャック４１〜４６に電解加工時にウェハＷと接触する給電電極を設ける。加工ヘッド３はアーム６によりウェハＷの半径方向に移動可能に保持し、加工ヘッド３をウェハＷの中心から外周部に向かって移動させながら、常に均等な電気を供給してウェハＷ表面の導電性膜Ｍを除去する。又、既に電解加工が終了した部分から、導電性膜を保護する表面保護用の酸化防止剤５３を塗布する。 （もっと読む）

【課題】電解加工において安定した電気供給を確保し、且つ、電極の腐食劣化を防止し、ウエハに形成されたメタル膜を平坦化する際に好適に用いられる電解加工装置及び電解加工方法を提供する。
【解決手段】電解加工装置１はウェハＷと対向する加工電極５を備え、ウェハＷと加工電極５の間に電解液を供給しつつ電解加工を行う。ウェハＷの外周部にはウェハチャック４１〜４６を着脱可能に取り付ける。又、各ウェハチャック４１〜４６内にはウェハＷと接触する給電電極Ａ〜Ｆを設け、給電電極Ａ〜Ｆの周囲をゴム等の弾性体にて被覆保護する。給電電極Ａ〜Ｆの先端部には可撓性の導電部材を設け、導電部材をウェハＷに弾接させる。更に、非電解加工時に保護カバー又はシャッター等により給電電極Ａ〜Ｆの外気との暴露を遮断する。 （もっと読む）

【課題】機械的ダメージおよび熱的ダメージを与えることなく所望の形状に容易に加工を行うことができる、被加工物の加工方法を提供する。
【解決手段】シリコン、炭化ケイ素、およびIII〜Ｖ族の元素を含む半導体からなる群より選ばれる少なくとも一種の材料からなる試料１を被加工物とし、該試料１を、フッ化水素またはフッ化物イオンを含む水溶液からなる処理液８中に浸漬し、該処理液８中で、上記材料の酸化反応における触媒からなる層を少なくとも表面に備えたワイヤ２と接触させ、かつ、該ワイヤ２を陽極として上記試料１との接触部で電気化学反応を起こさせることにより、上記試料１における上記ワイヤ２との接触部分を酸化して上記処理液８に溶解させるとともに、該試料１の溶解に伴って上記ワイヤ２を重力により移動させることで、上記試料１を切断または上記試料１に切れ込みを形成する。 （もっと読む）

【課題】対象物内に孔を形成する方法を提供する。
【解決手段】本方法は、対象物内にスタート孔を形成する段階と、それを実質的に囲む少なくとも１つの絶縁セクションと少なくとも１つの非絶縁セクションとを有する電解加工電極を準備する段階と、第１の断面積を有する少なくとも１つの第１のセクションと第２の断面積を有する少なくとも１つの第２のセクションとによって形成された孔を形成するのを可能にするようにスタート孔内に電極を挿入する段階とを含む。 （もっと読む）

【課題】 針径が１６０μｍ未満の細い縫合針であっても、縫合針の径の１／２を越える穴径を持ったアイレス針の製造方法を提案する。
【解決手段】 ステンレス鋼製アイレス縫合針の端面に穴を穿設し、該穴に縫合糸の一端を挿入してかしめ固定して形成するアイレス縫合針の製造方法において、アイレス縫合針の太さより太い針材２０の端面２０ａに縫合糸を挿入するための穴を穿設してから１回目の電解研磨を行い、針材の太さを細くする。次に、細くした針材を縫合針の形状に整形した中間品２２とし、これに第２回目の電解研磨を行い、縫合針２３とする。電解研磨を２回に分けることで、研磨量を大きくできるので、縫合針の穴径を針径の１／２以上に大きくすることができる。 （もっと読む）

【課題】金型等に対しても、より微細な加工を行える技術を提供すること。
【解決手段】容器体内に電解液及び被加工物２を入れる。光ファイバー２２と、光ファイバー２２の先端部に設けられた光触媒物質を含有する光触媒部材２４とを有する加工針部材２０を用い、光ファイバー２２を通じて光触媒部材２４に光を照射してその光触媒部材２４を活性化した状態で、加工針部材２０を光触媒部材２４の表面に接触させることで、被加工物２の表面のうち加工針部材２０の接触部分の構成原子である鉄（Ｆｅ）原子を電解液中に解離させて微細加工する。 （もっと読む）