【課題】必要な場所にハンドリングで移動することが可能な小型軽量で、且つ電装部品、ポンプモジュール等からの発熱を効率よく放熱して冷却できるドライ真空ポンプユニットを提供すること。
【解決手段】真空側に配置されるブースターポンプモジュール４と、外気圧側に配置されるメインポンプモジュール５とを備えたドライ真空ポンプユニットにおいて、放熱フィン１１を具備する放熱板２を備え、該放熱板２上に電装部品３を実装するとともに、放熱板２上に熱伝導の良い材料で構成されたポンプモジュール取付台１４を介在させてブースターポンプモジュール４及びメインポンプモジュール５を取付けるか、又は放熱板２上に直接ポンプモジュールを取付ける。 （もっと読む）

【課題】スクリューロータの回転が高速化しても、それらのスラスト軸受の信頼性を十分確保することができるドライ真空ポンプユニットを提供すること。
【解決手段】外気圧側に配置されるメインポンプ１５と、真空側に配置されてメインポンプ１５に直列に接続されるブースターポンプ１６とを備える。メインポンプ１５は、一対の平行に配置されたスクリューロータ５２ａ，５２ｂと、ケーシング５０と、一対のスクリューロータ５２ａ，５２ｂと一体に回転する一対のマグネットロータ５４，５４とを有する。一対のスクリューロータ５２ａ，５２ｂの回転軸５１ａ，５１ｂを上下方向に向けて縦置きに設置すると共に、ケーシング５０に設けた吸気口１５ａを排気口１５ｂよりも上方に位置し、さらに回転軸５１ａ，５１ｂのスラスト及びラジアル軸受（スラスト軸受）５３−１，５３−１を回転軸５１ａ，５１ｂ上部の吸気側に設置する。 （もっと読む）

【課題】ハンドリングで容易に持ち運びが可能な小型軽量のドライ真空ポンプユニットを提供すること。
【解決手段】一対のポンプロータ３２ａ，３２ｂと吸気口２１ａ及び排気口２１ｂを有するポンプケーシング３０とを備えた構成のポンプ部２１と、モータ部２０を備えたドライ真空ポンプユニットであって、モータ部２０は一対のマグネットロータを備え、一対のポンプロータをタイミングギヤを使用せず一体に互いに同期反回転させるマグネットカップリング型ＤＣブラシレスモータであり、ポンプケーシング３０はアルミニウム又はアルミニウム合金で構成され、ポンプロータ３２ａ，３２ｂは鋼材からなる回転軸３１ａ，３１ｂの外周にアルミニウム又はアルミニウム合金からなるスクリューを嵌合固定するか又は樹脂材からなるスクリューを形成固定した。 （もっと読む）

【課題】副ポンプが排気通路に関して主ポンプの上流側にある真空ポンプ装置における最上流側の副ポンプにおける電力消費を抑制し、且つ効率的に排気も行えるようにする。
【解決手段】ロードロックチャンバ３６内は、ブースタポンプ２７（副ポンプ）及び主ポンプ１０の作動によって所望の低圧状態（真空状態）にされる。主ポンプ１０の電動モータＭ１にはインバータ３８が電気接続されており、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２にはインバータ３９が電磁遮断器４０を介して電気接続されている。制御装置４１には回転数検出器４３が信号接続されている。回転数検出器４３は、ブースタポンプ２７の電動モータＭ２の回転数を検出する。電動モータＭ２の回転数が基準回転数Ｎｏ以下になると、制御装置４１は、電磁遮断器４０を一時的に遮断する。 （もっと読む）

【課題】所望の真空度に到達させるのに必要な時間の一層の短縮化を図る。
【解決手段】主ポンプ１０には第３ブースターポンプ２７が排気管２８を介して接続されており、第３ブースターポンプ２７には第２ブースターポンプ３５が排気管３６を介して接続されている。第２ブースターポンプ３５には第１ブースターポンプ４３が排気管４４を介して接続されている。排気管３６，２８には分岐管５１，５２が分岐接続されており、分岐管５１，５２にはリリーフ弁５４，５５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】負圧が必要なときのみ駆動させ、無駄なエネルギー消費を低減させるバキュームポンプ構造を提供する
【解決手段】動力源によって回転駆動されるシャフト（２）と、シャフトの回転の伝達により負圧を生成する負圧生成ポンプ部（４）と、シャフトと負圧生成ポンプ部との間に設けられ、シャフトの回転を負圧生成ポンプ部に断続的に伝達するクラッチ（３）と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】全体を可及的に軽量化しながら、温度が上昇しても、所期のシール性を確保して、ポンプ効率の向上を図ることができ、かつ各部材の耐摩耗性の向上も図ことができるベーン式バキュームポンプを提供する。
【解決手段】ハウジング１およびロータ２を、共に同種の非鉄金属により形成し、かつこれら非鉄金属製のハウジング１とロータ２との互いの接触面の少なくともいずれか一方に、硬質の表面処理膜４２、４３を形成する。 （もっと読む）

【課題】簡単な手段で、ベーンを傷付けたり、摩耗させたりするのを極力抑えうるようにし、低コストで耐久性の高いベーン式バキュームポンプを提供する。
【解決手段】ロータ２におけるベーン支持部２１の軸部２２側の端面２１bと軸部２２の外周面とが連続するコーナー部に、ベーン支持部２１側に向かって求心方向に斜めに凹入する環状溝３１を設けることにより、ベーン溝３の溝底面３aの両端角部Ｅ、Ｅに、軸部２２の外周面側に向かって互いに拡開する傾斜面３２、３２を形成する。 （もっと読む）

【課題】ポンプが完全に冷却状態になってもポンプ内部に生成した堆積物量の掻き出し動作ができ、冷却状態からの再始動故障を大幅に回避でき、且つ掻き出し動作により半導体製造装置のチャンバ内を汚染することのない、真空ポンプ装置の異物掻き出し制御方法、及び真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】ポンプケーシング１１内にポンプロータを備えた２本の回転軸１３を備え、互いに同期反転するルーツ型真空ポンプ又はスクリュー型真空ポンプ１０の通電中であって真空ポンプ動作休止中に、ポンプロータを正・逆転方向に１回転以下で任意に設定した時間互いに寸動を繰り返すことで、ポンプケーシング１１とインペラ１２間、或いはインペラ間に発生する異物１００を掻き出し、ポンプ始動時に噛み込み状態の発生を回避する。 （もっと読む）

【課題】粉末処理能力が改善されているルーツ形ポンプを提供すること
【解決手段】ルーツ真空ポンプのステータは、一対の噛み合うロータを収容するように構成されており、そのステータは、圧送気体に同伴された固体物質をステータを通して出口に向けるように方向付けするように構成された方向付け部材または偏向部材を備える。すなわち、ステータは、圧送気体に同伴された固体物質すなわち粉末をポンプの外またはポンプの出口にまっすぐ向けるように方向付け手段、即ち偏向手段を有する。方向付け手段は、弧状面と出口との間に配置されたチャネルを備え、前述のチャネルは、下死点部の手前で弧状面とつながる部分を備え、ロータの回転軸線から離れるようにポンプの出口に向けて延びている。したがって、圧送気体に同伴された粉末は、ポンプ室から効率よく排出され、固体物質によりポンプが急停止する可能性が減少する。 （もっと読む）