腐食性の流体をポンピングするための複数段の真空ポンプであって、第１の流路の材料は、この第１の流路の下流の第２の流路の材料よりも耐腐食性に劣る材料である。 （もっと読む）

【課題】侵入した水などが容易に排出することができる負圧ポンプを提供することを課題とする。
【解決手段】第１排気室９７と前記第２排気室９８とを連通する複数個の通孔８５〜８７が設けられ、複数個の通孔８５〜８７は、一方の通孔８７の上端より他方の通孔８５が高くなるように、相互に高低差Δｈ２が設けられていると共に、一方の通孔８７の上端より他方の通孔８６が高くなるように、相互に高低差Δｈ１が設けられている。
【効果】第２排気室へ外から水が侵入し、この水がさらに通孔を介してポンプ部に近い方の第１排気室へ侵入したとしても、高い方の通孔（他方の通孔）は閉塞されないため、この他方の通孔で空気を流すことができ、排気ポンプの排気作用を維持させることができる。すなわち、本発明によれば、ポンプ部への水等の侵入を遅らせると共に抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】水分が侵入しにくい負圧ポンプを提供することを課題とする。
【解決手段】ポンプ部５０の入口側に吸入室１１０を備え、ポンプ部５０の出口側に第２排気室９８を備えている負圧ポンプであって、第２排気室９８の容積Ｖ５は、吸入室１１０の容積Ｖ１より大きく設定されている。
【効果】本発明では、第２排気室の容積が吸入室の容積より大きい。したがって、ポンプ停止時に万一、水分を含む空気が第２排気室に入っても、この空気は第２排気室内止まりとなり、ポンプ部や吸入室へ至る心配はない。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、ポンプハウジング(10)に配置された吸込室(12)を備えており、特には大気圧に抗して圧縮するためのスクリュー式真空ポンプに関する。互いに噛合する２つのスクリューロータ(14)が吸込室(12)に配置されている。スクリュー式真空ポンプは、圧力解放出口部(26)を更に備えており、圧力解放出口部(26)は、吸込室(12)の側壁(24)に配置された複数の圧力解放開口(28)を有している。
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【課題】水等の侵入を効果的に抑制することができる負圧ポンプを提供することを課題とする。
【解決手段】負圧ポンプの第２排気室９８に、最終排気口８１から侵入しようとする異物が衝突して向きを変える挿入片７７と障壁８９とを配置する。
【効果】第２排気室に、最終排気口から侵入しようとする異物が衝突して向きを変える挿入片と障壁とが配置されているため、このことによりラビリンス形状をなし、外からの水等の侵入を効果的に抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】侵入した水などが容易に排出することができる負圧ポンプを提供することを課題とする。
【解決手段】負圧ポンプ１０において、外へ空気を排出する最終排気口８１Ｌ、８１Ｒが、複数個設けられる。
【効果】負圧ポンプ１０が傾斜した場合に、上位の最終排気口８１Ｌ（又は８１Ｒ）から排気し、下位の最終排気口８１Ｒ（又は８１Ｌ）から水等を排出させることができ、負圧ポンプの排気性能が維持される。 （もっと読む）

【課題】 窒素ガスを使用することなく連動機構とポンプ室との隔離性を維持でき、イニシャルコストやランニングコストを低減することができるドライ真空ポンプおよびそれを用いた処理室減圧方法を提供する。
【解決手段】 駆動シャフト４の外周における連動機構５側とポンプ室６側とに設けられたシール材７２と、これらのシール材７２の間において大気圧よりも高い気圧に保持される高圧空間７３と、この高圧空間７３に高圧空気を導入する空気導入路７４とを有する軸封部７を設け、この軸封部７の前記空気導入路７４を介して前記高圧空間７３に大気圧よりも高圧の空気を供給するコンプレッサ８を備えている。 （もっと読む）

回転真空ポンプは、ロータ（２）と駆動モータとの間において、ポンプの動作が必要とされるまたは所望される時間帯にのみポンプとモータとを動作可能に接続させる制御ユニット（１；１０１）を有する。制御ユニット（１；１０１）は、モータ出力に接続され、ポンプの動作が必要とされるまたは所望されるときに回転のためのポンプロータ（２、１０）に一体化されるように構成される回転部材（１２；１１２）と、ポンプロータ（２）に属するまたは回転のためにポンプロータ（２）と一体化される要素（１０）と前記回転部材（１２；１１２）との間に配置され、それぞれ、回転のために回転部材（１２；１１２）とロータ（２）とを一体化させるようなまたは回転部材（１２；１１２）とロータ（２）とを互いから独立させるような、結合位置または切断位置をとるように構成される複数の結合要素（１７）と、ポンプが動作される時間帯およびポンプが動作されない時間帯のそれぞれにおいて第１の位置および第２の位置をとるために上記回転部材（１２；１１２）によって駆動される、上記結合要素（１７）を作動させるための作動部材（４０、１４、１９、２０、２６；１４０、１１４、１１９、１２６）とを含む。
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【課題】ルーツロータ間での液体の閉じ込み現象による異常音の発生や軸封部への水分の浸入による軸受け寿命の低下を防止するルーツ式真空ポンプを提供すること。
【解決手段】ルーツロータ１５の各ローブ１６の中心線から回転方向側に所定寸法だけ離れた位置の周面に、ケーシング１の内周面１ａとの隙間が回転方向に向かって広がるような断面形状の逃し溝１７を各ローブの全長にわたって形成し、軸封部８は、ハウジング７の内径部に１又は複数のハウジングオイルシール２５とカラー２６とをケーシング１への取付け面７ｂに近い箇所から順に装着し、そのカラー２６と軸受け９との間に配置した水分振り切り用リング３０をルーツロータ１５の回転軸１８に固定すると共にカラー２６と該リング３０との対向面に生ずる隙間をラビリンスシールが形成されるように設けられ、軸封部８に溜まる液を真空室に戻す通路７ｃをハウジング７の吐出口側に設けた。 （もっと読む）

【課題】ハウジング空洞を形成する内面を有する環状ハウジングを含む液封式ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプ作動時，環状ハウジングには作動液が充填される。作動液は，ポンプ作動時に環状ハウジング内で偏心液封を形成する。ロータはハウジング空洞内に配置され，複数のロータブレードを含む。シャフトが環状ハウジング内のハウジング空洞内に延びている。複数のロータブレードは，シャフトから環状ハウジングの内面に向かって径方向外側に延びている。耐食性材料から形成されるライナーが，複数のロータブレード端部と対向する環状ハウジング内面の少なくとも一部と略同一面に配置される。 （もっと読む）