【課題】真空ポンプのケーシング内に生成物が堆積している状況を真空ポンプの起動時に検出し、この状況に応じて、ユーザに真空ポンプのメンテナンスを喚起するメンテナンス信号を出力することによって、製造プロセス中に真空ポンプが停止することを防止する。
【解決手段】ケーシング内に回転自在に配置されたポンプロータを備えた真空ポンプの運転を制御する運転制御装置９は、ポンプロータの回転速度を制御する周波数変換器１１を備えている。周波数変換器１１は、真空ポンプの起動時にモータ出力トルクを積分して積分値を演算する演算部１４と、該積分値に対応する基準値と予め設定した閾値とをそれぞれ格納する記憶部１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】中間段における排気を行うための逆止弁が開弁した時に発生する動力損失を低減するとともに、逆止弁の開弁時及び閉弁時を含めた動力損失が最小となるように容易に調整を行うことを実現した流体ポンプ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空ポンプ１の中間段である第三ポンプ室１３には、内部通路３６を介して逆止弁収容室４１が接続されており、逆止弁収容室４１の内部にはバイパス用逆止弁４２が収容されている。また、第三ポンプ室１３と第四ポンプ室１４とを連通する移送通路の一部である連通孔３３には、連通孔３３に対して別体の部材である吸入量絞り部材５１が着脱可能に設けられている。吸入量絞り部材５１は、第三ポンプ室１３から第四ポンプ室１４に移送されるガスの量を、絞り孔５１ｂによって制限する。 （もっと読む）

【課題】掻き上げ体による潤滑油の掻き上げ方向を回転軸の回転数に応じて変化させて調整することができる真空ポンプの提供。
【解決手段】駆動軸２８と、ハウジング内のロータ室Ｒに収容され、駆動軸２８とともに回転する第１ロータ２６と、ハウジング内のギヤ室に収容され、駆動軸２８の駆動ギヤおよび従動ギヤからなるタイミングギヤと、従動ギヤを設けた従動軸２９と、従動軸２９とともに回転する第２ロータ２７と、ロータ室Ｒとギヤ室との間に設けた駆動側軸受３０と、従動軸２９を支持する従動側軸受３４と、潤滑油を掻き上げる掻き上げ体と、を備え、タイミングギヤが駆動側軸受３０および従動側軸受３４の少なくとも一方と掻き上げ体との間に配置される。掻き上げ体は、タイミングギヤ側に第１掻き上げ片５０と第２掻き上げ片５１とを備え、第１掻き上げ片５０および第２掻き上げ片５１の回転軸心方向Ｐと直角な基準面に対する傾斜角度を異ならせた。 （もっと読む）

【課題】二軸の軸心の相対的な芯出し精度を向上させ、クリアランスを適切に小さく抑えてポンプ性能を向上できる二軸回転ポンプ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】二つのロータ３０Ａ、３０Ｂがシリンダ２５内で非接触に回転されるように、各ロータ３０Ａ、３０Ｂの二つの回転軸３１、３２が、一方の軸受側壁部１１と他方の軸受側壁部２１に受られ、一方の回転軸３１から他方の回転軸３２へ一対の歯車３３、３３によって動力を伝達し、一方の軸受側壁部１１が、一方の回転軸３１の一端側を受けるベアリング１５ａが固定されたベアリングホルダー部分１８が軸受側壁部の基体部分１１ａに対して二つの回転軸３１、３２に直交する平面内で位置調整可能な取付構造によって固定されていると共に、一方のハウジング部１０が他方のハウジング部２０に対して位置調整可能な取付構造によって固定されている。 （もっと読む）

【課題】二軸の軸心の相対的な芯出し精度を向上させ、クリアランスを適切に小さく抑えてポンプ性能を向上できる二軸回転ポンプ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】二つのロータ３０Ａ、３０Ｂがシリンダ２５内で非接触に回転されるように、各ロータ３０Ａ、３０Ｂの二つの回転軸３１、３２が、一方の軸受側壁部１１と他方の軸受側壁部２１に受られ、一方の回転軸３１から他方の回転軸３２へ一対の歯車３３、３３によって動力を伝達し、動力が入力される側の軸受側壁部である一方の軸受側壁部１１が、各回転軸３１、３２を軸受する各ベアリング１５ａ、１５ｂが固定された二つのベアリングホルダー１８ａ、１８ｂと、軸受側壁部の基体部分１１ａとに分割されて構成され、二つのベアリングホルダー１８ａ、１８ｂが軸受側壁部の基体部分１１ａに対して二つの回転軸３１、３２に直交する平面内で位置調整可能な取付構造によって固定されている。 （もっと読む）

【課題】軸シールとしてオイルシールを採用し、ロータ室内から漏洩した水蒸気を外部に排出し、水蒸気が軸受側に漏れないようにして、軸受のグリースや潤滑油が水蒸気により汚染されることを防止した真空蒸発器用ルーツブロワの軸シール構造及び軸シール方法並びに真空蒸発装置を提供する。
【手段】一対の繭型ロータ２４Ａ，２４Ｂと、ロータ２４Ａ，２４Ｂの各回転軸２４Ａ，２５Ｂの両端をそれぞれ軸支する軸受２６ａ〜２６ｄをケーシング内に収容し、各軸受２６ａ〜２６ｄとロータ室３１との間における回転軸とケーシングと間に、オイルシール３２ａ〜３２ｄがそれぞれ装着される。各オイルシール３２ａ〜３２ｄと対応する軸受２６ａ〜２６ｄとの間のケーシングには、外気と連通し外気をケーシング内に導く空気注入孔３３及びケーシング内に導かれた空気を排出する排出孔３４が形成される。排出孔２４は真空ポンプ１２に真空ライン１１ｂを介して接続される。 （もっと読む）

【課題】多大な加工負担を必要とすることなく、低コストで短時間にて高精度な不等リード不等傾斜角を有するスクリューロータを大量に加工することが可能であり、スクリュー型真空ポンプを安価にかつ大量に供給することを可能にするスクリューロータ加工用工作機械とこれを用いたスクリューロータ加工方法を提供すること。
【解決手段】主軸２１１と、主軸台２１０と、工具台２２０と、工具２２１と、主軸２１１の回転軸であるＣ軸と、工具台２２０の移動方法であるＸ軸およびＺ軸およびＹ軸と、スクリューロータ１２０のリード角に応じて工具２２１を回転させて被加工物Ｗに対する工具２２１のすくい角を調節するＡ軸と、数値制御手段２３０とを備えているスクリューロータ加工用工作機械２００とこれを用いたスクリューロータ加工方法。 （もっと読む）

【課題】水素ガスの排気効率を向上させることができる水素ガスの排気方法及び真空ポンプ装置を提供する。
【解決手段】真空ポンプ装置Ｓは、主ポンプ１０、第２ブースターポンプ２７、及び第１ブースターポンプ５５が直列に接続されるとともに、排気通路での水素ガスの排気方向において第１ブースターポンプ５５及び第２ブースターポンプ２７が主ポンプ１０の上流側に配置されている。真空ポンプ装置Ｓの駆動中は、半導体製造装置からの水素ガスが最初に吸入される第１ブースターポンプ５５の排気口５６ｂに、導入口５６ｃ及び導入管７０を介して、水素ガスより粘性率の高い窒素ガスを供給し、この窒素ガスの粘性を利用して水素ガスの移送性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で連続的に対象物の負圧処理を行え、効率的な負圧作用装置を提供する。
【解決手段】対象物Ｆを負圧作用させる負圧作用装置であり、上方を開放し内部に作用液Ｌが溜められた貯液槽１２と、上端を閉鎖し下端を開口して縦長く形成された中空管からなり、下端開口２２を貯液槽１２内の作用液中に浸して配置され、管内に作用液を上昇させて管内作用液Ｌｂと貯液槽１２内の作用液Ｌｂに対する大気圧とのバランスにより上部に負圧空間２０を形成させた負圧形成管１４と、複数の対象物Ｆを順次連続的に搬送し負圧形成管１４の下端開口２２から負圧形成管１４内の上部に形成させた負圧空間２０まで上下往復移動させつつ負圧形成管１４外へ搬出する連続搬送機構１６と、を備えたことを特徴とする負圧作用装置１０から構成される。 （もっと読む）

【課題】圧縮効率を高く維持でき、且つ脈動や動力変動を抑制できる多段真空ポンプを提供する。
【解決手段】複数段連結されたポンプ室ごとに、軸に取り付けられた一対のロータが配置され、一対のロータが互いに噛み合いながら回転することにより吸気したガスを圧縮して排気する多段真空ポンプにおいて、ポンプ室の吸気から排気までの１サイクルのロータの回転角度Ｃとロータの段数Ｓとに対して、隣接するポンプ室のロータの位相角Δθが、Δθ≦Ｃ／Ｓを満たすとともに、基準位置から排気側凹部の開放開始点までのロータ角度ψを、ガス流れ方向上流側から順に１段目のロータ角度ψ１、ｍ段目のロータ角度ψｍ、ｎ番目のロータ角度ψｎとすると、ψ１≦ψｍ≦ψｎ且つψ１＜ψｎ（ただし、ｎ，ｍは自然数、ｎ＞ｍである）の関係を満たすように、軸に対するロータの角度を調整した。 （もっと読む）