【課題】有効な冷却を実施することができ、ポンプを簡単かつコンパクトにしかも安価に製造することができる、冷却媒体回路を備えたねじ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】軸７，８の吸込み側端部が、ロータ３，４の圧力側端部と接続され、ロータ３，４の中空室３１内において、ロータと共に回転する軸７，８に設けられたガイド部材６２が、冷却媒体によって貫流されるリング間隙区分を冷却間隙３２として形成し、各冷却間隙３２がガイド部材６２とロータ中空室３１の各内壁との間、及びロータ３，４の吸込み側と圧力側との間において延び、冷却間隙への冷却媒体の供給が、軸及びガイド部材を貫通していて互いに隔てられた供給管路と排出管路とを介して行われ、気泡もしくはキャビテーションのない冷却間隙における貫流を保証する手段が設けられ、冷却媒体を排出するために働く管路が、伝動装置室１６に開口している。 （もっと読む）

【解決手段】 ベーンポンプ１のハウジング２には、ポンプ室２Ａ内の気体と残油を排出するための排出通路７が形成されるとともに、ロータ３の逆転時にポンプ室２Ａ内の圧力をポンプ室２Ａの外部へ逃す大気導入通路１０７が形成されている。上記排出通路７はハウジング２の外部のリード弁８によって開閉されるようになっており、大気導入通路１０７もハウジング２の外部のリード弁１０８によって開閉されるようになっている。そして、上記大気導入通路１０７の上端と下端の差である高低差Ｈ２は、排出通路７の上端と下端の差である高低差Ｈ１よりも大きく設定されている。
【効果】 ポンプ室２Ａ内の残油が排出通路７を介して効率的にハウジング２の外部へ排出される。
【選択図】 図４
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【課題】減圧ポンプを提供すること。
【解決手段】機械アセンブリに負圧を供給する減圧ポンプであって、ａ）送達チャンバを囲むハウジングおよびハウジングカバーであって、ｂ）送達チャンバは、アセンブリに接続され得る作業吸気口を含む低圧領域と、空気に対する作業排気口を含む高圧領域とを含む、ハウジングおよびハウジングカバーと、ｃ）送達チャンバ内で動かされ得、動かされたとき、空気を作業吸気口を通して送達チャンバに吸引し得、空気を増加した圧力で排気口を通して排出し得る送達部材と、ｄ）作業排気口または作業排気口の下流に配列され、少なくとも空気が送達チャンバに流れ戻ることを困難にする排気口バルブと、ｅ）流体フィードであって、該流体フィードを通して潤滑または密閉流体が送達チャンバにフィードされ得る、流体フィードとを含む、減圧ポンプ。 （もっと読む）

【課題】 従来考慮されていなかった排気側の構成を変更することによって、温度上昇を抑えることができ、これにより、冷却装置の構成が大幅に簡素化された真空ポンプ装置を提供する。
【解決手段】 排気側配管3は、真空ポンプ1の排気口に接続されて上方にのびる立上り部31と、立上り部31から水平方向にのびる水平部32と、水平部32端部から下方にのび下端に排気エア吐出口を有している排気エア吐出部33としての垂下部とからなり、真空ポンプ1の排気エアを真空ポンプ1に吹き付けることで真空ポンプ1を冷却している。 （もっと読む）

【課題】軸方向隙間からの気体の漏れを低減できるルーツ式流体機械を提供すること。
【解決手段】一対のロータ３６のロータ軸方向端面３６ＡＢ、３６ＢＢとロータ軸方向端面３６ＡＢ、３６ＢＢに対向するケース２の内壁の間に若干の軸方向隙間を有したルーツ式ポンプにおいて、ケース２の内壁には、ロータ３６Ａ、３６Ｂと対向する位置に弧状溝部５０Ａと径方向溝部５０Ｂとからなり、移送室４０に連通する案内溝５０を設け、軸方向隙間を流れる気体を移送室４０に導くようにした。また、一対のロータ３６には、ロータ軸方向端面３６ＡＢ、３６ＢＢに回転軸８Ａ、８Ｂの軸中心から放射状に連絡溝５５を設け、より広い範囲で移送室４０に連通できるようにして軸方向隙間を流れる気体を移送室４０に導くようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、半導体製造装置からの指示に応じて真空ポンプ内に堆積した生成物を排除して、真空ポンプのメンテナンス期間を延長し、真空ポンプの寿命を延長する真空ポンプ、その運転制御装置及び運転制御方法を提供する。
【解決手段】半導体製造装置のチャンバ内を排気する真空ポンプにおいて、前記半導体制御装置から前記チャンバの排気を伴わないプロセスであることを示す信号を受信した場合、生成物対策運転を制御する運転制御部を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】潤滑された支持軸受とポンピング段の間に装着された潤滑剤封止装置を備え、その寿命が増大されるドライ型真空ポンプを提供すること。
【解決手段】本発明は、
ポンピング段（２）と、
潤滑された支持軸受（７ａ、７ｂ）によって支持された回転シャフト（３）と、
回転シャフト上に装着された、潤滑された支持軸受とリングシールの間に装着された潤滑剤偏向板（１２）、および潤滑剤偏向板（１２）とポンピング段の間に装着されたリングシール（１３）と、
液状潤滑剤の第１の貯留物（１６ａ）を含有する第１のリザーバ（２８）であって、第１の容積（Ｖ１）内の潤滑された支持軸受と連通する第１のリザーバと、
第１のリザーバ内の回転シャフト上に装着された潤滑剤分散ユニットであって、潤滑剤分散ユニットの一方の端部が、液状潤滑剤の第１の貯留物中に入れられている、潤滑剤分散ユニットとを備える。 （もっと読む）

【課題】回収物や回収方法に応じて適正な真空圧（適正なエンジン回転数）に自動的に制御することができ、無駄なエネルギー消費を低減して燃費を向上させること。
【解決手段】吸引装置の駆動によりタンク内を減圧し、吸引ホースから回収物をタンク内に吸引回収する吸引作業車であって、吸引装置を駆動するエンジンと、吸引装置により生じる真空圧が、第一設定圧力に達した時に第一信号を出力し、第一設定圧力より高い第二設定圧力に達した時に第二信号を出力し、第二設定圧力より高い第三設定圧力に達した時に第三信号を出力する圧力スイッチと、圧力スイッチからの出力信号に基づいてエンジンの回転数を制御する回転数制御手段を備えており、回転数制御手段は、第一信号を受信した時には回転数を第一設定回転数とし、第二信号を受信した時は第一設定回転数より高い第二設定回転数とし、第三信号を受信した時は第二設定回転数より高い第三設定回転数とする。 （もっと読む）

【課題】寒冷地等での使用でもバキュームポンプの排気口の凍結による作動不良を確実に回避し得るバキュームポンプ支持構造を提供する。
【解決手段】車両のフレーム１にブラケット２を介してバキュームポンプ４を支持する構造に関し、前記ブラケット２により棚状に支持した設置床３に対し該設置床３上に前記バキュームポンプ４のチェックバルブ５（排気口）が配置されるように前記バキュームポンプ４を固定すると共に、前記チェックバルブ５の直下に座面を残して平面視で前記チェックバルブ５を取り囲むように前記設置床３に積雪防止用の開口部６を形成し、前記バキュームポンプ４側にチェックバルブ５の周囲を覆う下部開口の保護カバー７を設け且つ該保護カバー７の平面視での被覆範囲を前記設置床３の残余の座面３ａより大きく設定する。 （もっと読む）

【課題】適正な位置にポンプ内の過圧縮を防止する過圧縮防止機構を設け、過負荷による回転数低下を抑制させることにより、排気時間を短縮できる多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたドライ真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたドライ真空ポンプ装置であって、多段ルーツ型ドライ真空ポンプの最終段に気体を吐出す最終段吐出口（吐出口１８）、圧縮比の高い位置に中抜吐出口（圧力逃し孔１９）を備え、最終段吐出口（吐出口１８）に逆止弁（排気部逆止弁５１）を接続して大気領域に開放し、中抜吐出口（圧力逃し孔１９）に過圧縮防止逆止弁（中間部逆止弁５２）を接続して大気領域に開放した。 （もっと読む）