本発明は、容積移送式ドライポンプであって、複数個のポンプ輸送機構体を含む複数個の真空ポンプ輸送段を有し、ポンプ輸送機構体は、ポンプ輸送段を通して流体を高真空段のところのポンプ入口から低真空段のところのポンプ出口まで連続してポンプ輸送するために１本又は２本以上の駆動シャフトによって駆動され、ポンプは、駆動シャフトを回転運動可能に支持する軸受組立体を収容した潤滑チャンバを更に有し、駆動シャフトは、潤滑チャンバのヘッドプレートの開口部を通って高真空段から潤滑チャンバまで延び、ポンプは、段間パージポートを更に有し、ガスが段間パージポートを通って高真空段の下流側の段間場所のところでポンプに流入することができ、そしてガスは段間パージポートの下流側に位置した各真空ポンプ輸送段しか流通することができず、ポンプは、潤滑チャンバに設けられた潤滑チャンバパージポートを更に有し、パージガスがパージガス源から潤滑チャンバパージポートを通って流れることができ、段間パージポートは、潤滑チャンバ内のパージガスの圧力を制御し、それにより、使用中、ヘッドプレートの開口部を介する高真空段から潤滑チャンバへのポンプ輸送ガスの流通に抵抗するよう潤滑チャンバに連結されていることを特徴とするポンプを提供する。
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【課題】従来よりも腐食性ガスの侵入を抑制することのできる、表面保護膜を提供すること。
【解決手段】本発明の表面保護膜は、イットリア（Ｙ_２Ｏ_３）を主成分とし、セリウムを含有する膜である。セリウムを含有することにより、膜中の微小ポアなどの欠陥を減少させ、腐食性ガスの侵入を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】シンプルな構成でベーンとポンプ室内周面との摺動抵抗を低減するバキュームポンプを提供する。
【解決手段】バキュームポンプ１０において、ハウジング１２は、略円筒形の内周面を有し、吸気口２２と排気口２６とによって外部に連通するポンプ室を形成する。ロータ１４は、ポンプ室の中心軸に対して偏心して取り付けられ、径方向に形成されたベーン溝２４を有する。ベーン１６は、ベーン溝２４に摺動可能に嵌合され、ロータ１４の回転によってベーン１６の第１側面がポンプ室の内周面に沿って回転するように取り付けられる。ベーン１６の第２側面とベーン溝２４により形成されるベーン背面空間３６と吸気口２２とを連通する連通路が形成される。 （もっと読む）

【課題】プロセス状態に最適な状態で運転して、真空排気システムの効率を向上することができる真空排気システムを提供する。
【解決手段】真空チャンバ内を真空に排気する真空排気システムにおいて、真空チャンバに接続される前段真空ポンプ２０と、前段真空ポンプ２０の後段に設置される後段真空ポンプ３０と、真空排気システム中の真空領域に設置されて圧力を検出する圧力センサ５０と、通常ライン２７３と増量ライン２７４から構成され、前段真空ポンプ２０及び後段真空ポンプ３０に軸シールガスを供給するガス系統２７０と、圧力センサ５０により検出された圧力に基づいてガス系統２７０を流れる軸シールガスの流量を制御する制御部６０とを備えている。 （もっと読む）

本発明はプロセスチャンバからガスを送出するための真空ポンプを提供し、本ポンプは、ポンプチャンバで回転するための駆動軸により支持されるロータを含み、軸は、ポンプチャンバの、駆動軸に対して横方向に延びる壁内の軸ボアを貫通して延び、軸ボアを通るガスの通過に抵抗するための、軸と横方向壁との間に設けられるシール装置を含み、ロータが回転すると、ポンプチャンバの吸入口の低圧領域から、ポンプチャンバの出口の高圧領域にガスが送出され、また、ロータと横方向壁とは軸方向の間隙により離間されており、それに沿って、ガスの戻り漏れが高圧領域から低圧領域に流れることができ、さらにシール装置から離れて戻り漏れのための付加的な漏出経路が形成され、ガスは、それに沿って、シール装置に接触することなく流れることができ、その結果、ポンプの使用中にシール装置に接触するガスの量が低減される。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は一つのスクリューロータが等間隔、不等間隔、等間隔の３段階に連続的に変化するリードを有するスクリューロータ型真空ポンプに関し、大気圧から０．５Ｐａの領域まで安定した排気性能を維持できる技術に関する。
本発明によれば、互いに噛み合って回転する一対のスクリューロータ；前記一対のスクリューロータを収納し、一側には吸入口が備えられ他側には吐出口が備えられたハウジング；前記スクリューロータを回転させるためのモータ；及び前記スクリューロータの外周面に形成され、リード角が連続的に変化する部分を有するねじ山；を含むことを特徴とするスクリューロータ型真空ポンプが提供される。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は一対のスクリューロータのうちいずれか一つのスクリューロータの回転軸が、外付けモータの回転軸を兼ねる構造になっている真空ポンプに関し、前記一対のスクリューロータの回転時における回転バランスの変形を減少させて安定したポンピングが行われることができるようにする技術に関する。
本発明によれば、互いに噛み合って回転する一対のスクリューロータ；前記一対のスクリューロータを収納し、一側には吸入口が備えられ他側には吐出口が備えられたハウジング；前記スクリューロータを駆動するためのモータ；及び前記一対のスクリューロータのうちいずれか一つのスクリューロータの回転軸と前記モータの回転軸は一体型であることを特徴とするスクリューロータ型真空ポンプが提供される。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は一対のスクリューロータのうちいずれか一つのスクリューロータの内部に駆動のためのモータが内蔵されたスクリューロータ型真空ポンプに関し、前記一対のスクリューロータの回転時における回転バランスの変形を減少させることができる技術に関する。
本発明によれば、互いに噛み合って回転する一対のスクリューロータ；前記一対のスクリューロータを収納し、一側には吸入口が備えられ他側には吐出口が備えられたハウジング；及び前記一対のスクリューロータのうちいずれか一つのスクリューロータの内部に、回転軸の駆動のために内蔵されたモータ；を含むことを特徴とするスクリューロータ型真空ポンプが提供される。 （もっと読む）

【課題】噛み込み等によるドライ真空ポンプが過負荷となり、駆動する電動機に供給する電力容量が大きくなった場合でも、真空ポンプシステム全体として必要な電力容量を増加させることなく、過負荷を解消することができる真空ポンプシステム、及びその運転方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ドライ真空ポンプを複数台備え、各ポンプを駆動する電動機にはインバータ装置ＩＮＶ_MP、ＩＮＶ_BPから駆動電力を供給し、且つポンプロータに過負荷がかかった場合にインバータ装置から電動機に定格電流の数倍を上限とした最大電流を供給できるようになっている真空ポンプシステムにおいて、メインポンプＭＰ又はブースタポンプＢＰが過負荷となった場合、電力消費部へ供給する電力を遮断、及び／又は過負荷となっていない真空ポンプの電動機に供給する電力を制限し、該過負荷になった真空ポンプの電動機に優先して電力を供給する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造でコストも少なくて済む液封式真空ポンプ装置を提供する。
【解決手段】 液封式真空ポンプ３と、液封式真空ポンプ３へ補給管４を介して封水を補給する補給水槽５と、液封式真空ポンプ３から吐き出された排水・排気を補給水槽５に戻す排水・排気管６とを備え、補給水槽５は、その内部を仕切板５１によって二つの空間５２，５３に分離し、一方の空間５２の容積を他方の空間５３の容積より十分に大きくし、一方の空間５２と他方の空間５３とは上部で連通し、他方の空間５３を構成している仕切板５１の一定の高さｈ部分に開口部５５を設け、他方の空間５３内の水の一部を補給水槽５の外部に排出する排水口５６を設け、排水・排気管６の末端部６ａを他方の空間５３内に配置し、一方の空間５２に冷水を補給するボールタップを設けたものである。 （もっと読む）