【課題】容器に収容した粉体を真空処理する際に、該粉体が沸騰して容器外部に飛散するようなことが防止され、真空チャンバ内や真空ポンプを清浄に保つことができるとともに、高品質の粉体を安定して得ることができる粉体の真空処理装置及び粉体の真空処理方法を提供する。
【解決手段】粉体Ｐを収容する容器１と、前記容器１を収容して密閉可能とされた真空チャンバ２と、前記真空チャンバ２に連結されて該真空チャンバ２内を減圧する真空ポンプ３と、を備えた粉体の真空処理装置１０であって、前記容器１は、網状部材４を用いて構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】多段ルーツ型ドライ真空ポンプのポンプから電動機ケーシングに伝達する熱を遮断し、電動機を冷却する冷却機構を簡略化して電動機を小型化すると共に、ポンプ部のロータケーシングの分割体の結合構成に工夫を凝らし、ポンプ部を小型化し、全体の小型化が可能な多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたドライ真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたポンプ部Ｐと該ポンプＰを駆動するモータ部Ｍを備えたドライ真空ポンプ装置において、モータ部Ｍはフランジ３１を介し多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたポンプＰと一体的に連結されており、フランジ３１内に冷却液を通す冷却液流路を構成する冷却液パイプ３２を設けた。 （もっと読む）

【課題】適正な位置にポンプ内の過圧縮を防止する過圧縮防止機構を設け、過負荷による回転数低下を抑制させることにより、排気時間を短縮できる多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたドライ真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】多段ルーツ型ドライ真空ポンプを備えたドライ真空ポンプ装置であって、多段ルーツ型ドライ真空ポンプの最終段に気体を吐出す最終段吐出口（吐出口１８）、圧縮比の高い位置に中抜吐出口（圧力逃し孔１９）を備え、最終段吐出口（吐出口１８）に逆止弁（排気部逆止弁５１）を接続して大気領域に開放し、中抜吐出口（圧力逃し孔１９）に過圧縮防止逆止弁（中間部逆止弁５２）を接続して大気領域に開放した。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、低周波数領域から高周波数領域までの広い週数帯域での騒音を効果的に低減できる複合型サイレンサ、及び該サイレンサを備えたドライ真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】ガス流路６１のガス流れの上流側に共鳴型サイレンサ５３−１を、下流側に膨張型サイレンサ５３−２を配置し、該共鳴型サイレンサ５３−１と膨張型サイレンサ５３−２を一体に構成した。また、ドライ真空ポンプを備え、該ドライ真空ポンプの排気流路に上記複合型サイレンサを、排気ガス流れの上流側に共鳴型サイレンサを、下流側に膨張型サイレンサを配置して設けたドライ真空ポンプ装置。 （もっと読む）

【課題】不品点数が少なく安価で、小型化が可能で、且つ騒音を消音できる排気ユニット、及び該排気ユニットを装備したドライ真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】最終段に気体を吐出す吐出口１８、中間部に圧力逃し孔１９を備えた多段真空ポンプに装備する排気ユニット５０であって、多段真空ポンプ１０の吐出口１８に接続する排気部逆止弁５１と、中間部の圧力逃し孔１９に接続する中間部逆止弁５２と、該排気部逆止弁５１及び中間部逆止弁５２の後流側に設けるサイレンサ５３を一体構成とした。 （もっと読む）

【課題】大型化することなく、騒音や振動の低減を図った圧縮装置を提供すること。
【解決手段】ロータ２７やベーン２８が摺動するシリンダ室Ｓが形成されるケーシング本体２２と、シリンダ室Ｓと排気口２４Ａとを繋ぐ排気経路３７と、この排気経路３７に形成される膨張室３３とを備え、この膨張室３３をケーシング本体２２内におけるシリンダ室Ｓの周縁部に設けた。 （もっと読む）

【課題】部品点数を増やさずに、ベーンを飛び出し易くできる圧縮装置を提供する。
【解決手段】ケーシング３１内に、駆動軸（１２）が挿通される軸穴２７Ａを有するロータ２７を回転自在に備え、このロータ２７に複数のベーン２８を出没自在に収容する複数のベーンスリット（２７Ｃ）を設けたベーン式の圧縮装置（１）において、ロータ２７に、ベーンスリット（２７Ｃ）と他のベーンスリット（２７Ｃ）とを結ぶ溝１０１を設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】放熱性を確保しつつ、ケーシングの小型化を図った真空ポンプを提供すること。
【解決手段】ケーシング３１内にロータ２７やベーン２８を備えた真空ポンプ１において、ケーシング３１は、ロータ２７やベーン２８よりも熱伝導性の高い材料で形成されたケーシング本体２２と、このケーシング本体２２内に圧入されてロータ２７やベーン２８が摺動するシリンダ部２３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】中間段における排気を行うための逆止弁が開弁した時に発生する動力損失を低減するとともに、逆止弁の開弁時及び閉弁時を含めた動力損失が最小となるように容易に調整を行うことを実現した流体ポンプ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】真空ポンプ１の中間段である第三ポンプ室１３には、内部通路３６を介して逆止弁収容室４１が接続されており、逆止弁収容室４１の内部にはバイパス用逆止弁４２が収容されている。また、第三ポンプ室１３と第四ポンプ室１４とを連通する移送通路の一部である連通孔３３には、連通孔３３に対して別体の部材である吸入量絞り部材５１が着脱可能に設けられている。吸入量絞り部材５１は、第三ポンプ室１３から第四ポンプ室１４に移送されるガスの量を、絞り孔５１ｂによって制限する。 （もっと読む）