【課題】高精度の位置決めと小型化が可能な位置決め装置を提供する。
【解決手段】テーブル２の下面に固定されてテーブル２を基台１に対して浮上支持する軸受３と、テーブル２のＸ方向に延在する一方の側面２ａ側に配置されてテーブル２をＸ方向に移動可能に案内する第１の直線案内軸受５と、該軸受５をＹ方向に進退駆動させる第１のアクチュエータ６と、反対側の側面２ｂ側に配置されてテーブル２のＸ方向への移動を許容すると共に、テーブル２を前記軸受５側に付勢する第１の付勢手段１０と、テーブル２のＹ方向に延在する一方の側面２ｃ側に配置されてテーブル２をＹ方向に移動可能に案内する第２の直線案内軸受７と、該軸受７をＸ方向に進退駆動させる第２のアクチュエータ８と、反対側の側面２ｄ側に配置されてテーブル２のＹ方向への移動を許容すると共に、テーブル２を前記軸受７側に付勢する第２の付勢手段２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】
簡素な構成でありながら、被搬送物を精度良く２次元方向に搬送できる搬送装置を提供する。
【解決手段】
図１（ａ）に示すように、駆動部によりスライダＳ１、Ｓ２を近接する方向に駆動することによって、ツイーザＴをガイドレールＲから遠ざかる方向に移動させることができる。これとは逆に、駆動部によりスライダＳ１、Ｓ２を離隔する方向に駆動することによって、ツイーザＴをガイドレールＲに近接する方向に移動させることができる。更に、図１（ｂ）に示すように、駆動部によりスライダＳ１、Ｓ２を等速で同方向に駆動することによって、ツイーザＴをガイドレールＲに沿った方向に移動させることができる。即ち、スライダＳ１，Ｓ２の移動のみで、ツイーザＴが保持するウエハを２次元方向に任意の位置に搬送できることとなる。 （もっと読む）

【課題】基準面に対する高さ寸法を微細に調整する。
【解決手段】移動対象物を所定方向に案内する移動装置をサブベース6a,6b上に搭載可能で、且つ当該サブベースが固定ベース８上に配置される構成において、基準面Ｈｓに対する移動装置の高さ寸法H1〜H4を調整する高さ調整機構であって、当該高さ調整機構において、少なくともサブベース及び固定ベースの一方には、サブベース及び固定ベースが相互に入り込む少なくとも１つの段差１２が設けられており、当該段差の高さＴは、サブベース及び固定ベースの高さよりも小さく設定されている。また、高さ調整機構は、段差内に入り込んで配置される所定肉厚のシム10a,10bを備えており、段差の高さは、シムの肉厚よりも小さく設定されている。 （もっと読む）

【課題】オリフィス絞り方式の静圧気体軸受において高剛性、それに、高減衰性を並立できる軸受パッド構造を提供する。
【解決手段】噴出口が物理的に非等価な位置に配置された軸受パット２０は、第一噴出口１が軸受パッド２０の中心に配置され、これに通ずる第一の通気溝３が直線状に形成されている。第二噴出口２Ａと第三噴出口２Ｂが両周縁の２カ所に配置され、これに通ずる第二及び第三通気溝４Ａ，４Ｂが「コ」の字状に形成されている。第二噴出口２Ａと第三噴出口２Ｂは物理的に等価な位置にあり、第一噴出口１に対して、第二の噴出口２Ａと第三の噴出口２Ｂが、物理的に非等価な位置にある。 （もっと読む）

質量％で、Ｃ：０．３〜０．６％、Ｓｉ：０．１〜２．０％、Ｍｎ：０．１〜０．５％、Ｃｒ：３．０〜８．０％を含有し、Ｍｏ：０．５％以下、Ｎ：０．０２％以下（０％含む）に制限し、且つ、下式（１）を満足するＳを含有することを特徴とする製造性と耐食性に優れた軸受鋼。 Ｃｒ−３００×Ｓ≧２．０ ・・・（１）
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【課題】車輪支持アッセンブリ上に支持された車両ボディに伝達される力をかなり減少させることを容易にするように粗い表面に亘って移動する車両車輪支持アッセンブリからのエネルギーを能動的に吸収し、又は、該アッセンブリにエネルギーを印加するための、経路に沿った、典型的には線形の制御可能な力源を得る。
【解決手段】ステーターとアーマチャーとを備える電磁変換器を有し、該アーマチャーは、第１の軸を画定すると共に、第１及び第２のカプラーの間に載るように第１の軸に沿ってステーターに対して前後に駆動される。第２のカプラーは、第１の軸に直交する第２の軸に沿ってアーマチャーの運動を可能とするように構成される。 （もっと読む）

【課題】潤滑式スライドレールの外付け潤滑装置を提供する。
【解決手段】主に油含有部品３、油貯蔵ボックスケース４、潤滑部品５，６、防塵蓋２，２１、スライドブロック本体９、スライドレール１０を含む。スライドブロック本体両側に各一組の潤滑ユニットを設置し、潤滑ユニットは外蓋内に潤滑部品を設置する。潤滑部品とスライドレールは接触し、一組の潤滑ユニット外側に油貯蔵ボックスを設置する。油貯蔵ボックスは両端が開口状の油貯蔵ボックスケース内に油含有部品を設置し、油含有部品はスライドレールと接触しない。潤滑部品と油含有部品は接触し、毛細管現象により潤滑油はスライドレールの滑動面及び滑動部品へと導入される。油含有部品はスライドレールと接触しないため潤滑油が流失することがなく、油貯蔵ボックスケース、油含有部品は使用空間の大きさ及び使用の必要に応じて、コストを上げることなくその長さを調整することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来は、シール具が板状平面であったため、埃や塵等の異物は可動物の動き対応してそのレール溝から排除されにくかった。そのため、排除されなかった異物がレール溝に蓄積し、時間経過と共に固化してシール性能を劣化させた。
【解決手段】 傾斜を有して摺動物に近接する異物除去用突起をシール具に設けることにより、スライダの動きに対応して、埃や塵等の異物をレール溝から排除できるようにした。 （もっと読む）