【課題】傾斜シールを有するシュラウド構成の提供。
【解決手段】本構成に設けられるシュラウドセグメントは前縁部溝及び後縁部溝２２２を有する外側シュラウド２１２と、前縁部フック及び後縁部フック２１８を有する複数の内側シュラウド２１４とを含み、内側シュラウドの前縁部及び後縁部フックは各々外側シュラウドの前縁部及び後縁部溝に係合して、外側シュラウドに対して内側シュラウドを軸方向及び半径方向に固定する。内側シュラウドの後縁部フック及び外側シュラウドの後縁部溝の少なくとも一方が、ロータの軸方向に対してまたロータの半径方向に対してある角度で配置され内側及び外側シュラウドの他方に面した傾斜面２４０、２４２を含み、それにより内側シュラウド上への半径方向内向きの力が軸方向及び半径方向の力に変換され、内側及び外側シュラウド間の半径方向ギャップを緊密にシールするように内側シュラウドを強制的に押圧する。 （もっと読む）

【課題】潤滑剤がシールを通って漏出するのを防止するターボ機械を提供する。
【解決手段】ターボファンエンジン１０のハウジング１２は、コンプレッサの抽気を受けるバッファ室３３を画定する壁２３およびドーム２５を備える。潤滑側および空気側３０を含むシール２６，２８は、タービンシャフト１６とハウジング２１との間に配設され、かつベアリング室２０およびバッファ室３３を分離する。バッファチューブ３８は、入口３６を介してバッファ室３３の本体２２に接続されるとともに、チューブ３８の出口に配設されたベンチュリ管５０などの流速制御装置４６を含む。チューブ３８は、コンプレッサ抽気源４０から本体２２に空気を供給し、かつ内部表面２４に対して接線方向に流れを導入してバッファ室３３内に旋回流を生じさる。これにより、均一な半径方向の圧力勾配が生じて、アイドル状態におけるシールを通る潤滑剤の漏出が防止される。 （もっと読む）

【課題】圧力容器と密封環との接触範囲における摩耗を大幅に回避し、高圧装置の密封装置の寿命を高める。
【解決手段】金属の高圧容器１の開口２に、可動部分４及びその周りの同軸的なスリーブ５が、高圧側Ｈの方へ入り込み、入り込むスリーブの端面の外側範囲５１の所にある金属の密封手段９が、高圧容器の開口の内面２２及び押圧環６に当接し、この押圧環がその端面の内側範囲６１又は可動部分に隣接する端面の内側範囲５２で、スリーブと接触しているものにおいて、少なくとも密封手段の外面９１及び／又は少なくとも密封手段に当接する高圧容器の開口の内面が、ＰＶＤ（物理蒸着）法及び／又はＣＶＤ（化学蒸着）法及び／又は特にＰＡＣＶＤ（プラズマＣＶＤ）法により設けられる少なくとも１つの被覆を持っている。 （もっと読む）

【課題】回転軸の回転速度に拘わらず確実なシール性能を発揮することができる回転軸のシール機構を提供する。
【解決手段】回転軸２が低速回転を行う場合、第２エア供給路７を介してエアを供給し、Ｖリング１１のリップ部１２をハウジング１前面へと押し付けることにより、ハウジング１と回転軸２との間をシールする。一方、回転軸２が高速回転を行う場合には、第１エア供給路６を介してエアを供給して吐出させ、リップ部１２を押し上げてハウジング１前面と非接触として、シール機構の長寿命化を図るとともに、吐出したエアによりハウジング１前面と回転軸２との間をシールする。 （もっと読む）

【課題】
コーティングなどに頼ることなく、移動時の気体放出量を低減できるガイド装置を提供する。
【解決手段】
プロセス室Ｐ内の圧力を１０^-4Ｐａ以下としており、さらに３段排気の差動排気シール１５０，１６０を用いているので、差動排気シールからのリークを抑え、プロセス室Ｐ内の圧力上昇を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトでありながら、チャンバ内の雰囲気を維持することができる直線案内を提供する。
【解決手段】
チャンバ１外の大気圧が１０⁵Ｐａであり、チャンバ１内の圧力が１０^-5Ｐａであるとすると、凹部２ｂ内の圧力が１００Ｐａ以下であれば、チャンバ１内の圧力と、凹部２ｂ内の圧力との差によるスライダ４の変形量は無視することができるので、凹部２ｂ内の圧力を更に低くするための高性能ポンプ等は不要である。 （もっと読む）

【課題】コストを大幅に増大させることなく、チャンバ内の雰囲気を維持することができる直線案内を提供する。
【解決手段】気体の圧力分布を変更することで、左方の静圧パッド３ａと、右方の静圧パッド３ａにより生じるスライダ４の浮上力ＦＬ、ＦＲが異なる（ＦＬ＜ＦＲ）ようになり、スライダ４とテーブル４の重心Ｇから左方の静圧パッド３ａの中心までの距離ＬＬと、重心Ｇから右方の静圧パッド３ａの中心までの距離ＬＲとをそれぞれ掛け合わせたモーメントの関係は、ＦＬ×ＬＬ＜ＦＲ×ＬＲが成立するので、このモーメント差を利用して、スライダ４を水平に位置させることができ、固定ベース２に対する隙間の最小限の管理ができる。従って、スライダ４との間を介して凹部２ｂ内からあふれ出た気体を捕捉し、チャンバ１内の高真空雰囲気を維持することができる。 （もっと読む）

【課題】 水又は気体を圧力伝達媒体とする圧力シリンダー機器において、シールパッキンの摺接面に潤滑被膜を供給して、十分な厚みの潤滑被膜を持続的に形成し、シールパッキンの磨耗を確実に防止する。
【解決手段】 シリンダーと、該シリンダーの内部に摺動可能に設けられて外周面にシールパッキンを備えるピストンと、を有してなり、前記シリンダーと前記ピストンで規定される圧力室に水又は気体を供給し、あるいは前記圧力室から水又は気体を排出して、前記圧力室の内部圧力を変化させることにより、前記ピストンを摺動させる圧力シリンダー機器において、前記内部圧力の変化を利用して、前記ピストン側に保持される潤滑油脂を、前記シールパッキンの摺接面に供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 減衰発生機能に影響を与えずに有効ストローク長を長く設定することができるモノチューブ式ショックアブソーバのフリーピストンシール構造を提供する。
【解決手段】 フリーピストン１０の外周面に環状の装着凹部１８を形成し、この装着凹部１８に環状のシール部材１６を装着する。そして、フリーピストン１０内に、ガス室Ｓ３と装着凹部１８内を連通し、ガス室Ｓ３のガスをシール部材１８の内周面２６ｂに向けて導入する連通孔２４を設けた。 （もっと読む）

【課題】 水を作動媒体とし、例えば１４ＭＰａといった高圧下で円滑に、かつ十分な耐久性を備えて、摺動する水圧シリンダの密封に好適に使用できるピストン形シリンダの密封装置を提供する。
【解決手段】 シリンダ３に収容されるピストン４ａ及びピストンロッド４ｂを有し、水を作動媒体とするピストン形シリンダ５の密封装置１である。超高分子量ポリエチレンからなるシール部材１１及び支持部材１２からなり、ピストン４ａの外面に装着される第一の密封部材６と、超高分子量ポリエチレンからなるシール部材１１及び支持部材１２からなり、シリンダ３の内面３ａに装着される第二の密封部材７と、ピストンロッド４ｂの外面に接触する凸部８ｂを形成されたリップ８ａを有するゴム製のパッキンであって、シリンダ３の内面３ａに装着される第三の密封部材８と、ピストンロッド４ｂの外面に接触するようにシリンダ３の内面３ａに装着されてダストの侵入を防止する樹脂製の第四の密封部材９とを組み合わせて備える。 （もっと読む）