【課題】高真空の用途に適する環状シール体を有する真空バルブにおいて、閉塞力を軽減する弁皿の構成を提供する。
【解決手段】円錐状シール面（５）を備えるバルブ本体（４）と、円錐状シール面（１８）を備える弁皿（６）第１、第２のシール面（２０，２１）を備える環状シール体（１９）からなる真空バルブにおいて、弁皿（６）、バルブ本体（４）及び環状シール体（１９）のシール面の領域を金属で構成し、弁皿（６）は、屈曲形、又は湾曲形に形成され、シール面（５）に隣接する径方向外周部が閉塞方向（１５）となす角度（２８）が９０度以下であり、閉塞位置において、開放位置に対して、外周縁端部（３３）が弾性変形により弁皿の直径の少なくとも０．１％中心軸（２７）方向に変位する。 （もっと読む）

【課題】膠着防止媒体１００が施された機械的装置の提供。
【解決手段】膠着防止媒体１００は、ＥＧＲ制御弁１３０の面及び（又は）弁座１５０の面のような、任意の接触面に施すことができる。膠着防止媒体１００は、弁１３０の面及び弁座１５０の面が互いに、特に、冷却されたすなわち低温側ＥＧＲ装置に膠着し又は互いに接着するのを防止することを目的とする。何らかの物質が膠着防止媒体１００に膠着したならば、膠着防止媒体１００の一部分は、面から分離し、面及び（又は）構成要素が正常に機能することを許容する。膠着防止媒体１００は、窒化ホウ素系被覆、窒化ホウ素系エアロゾル、窒化ホウ素系グリース、薄い高濃度クロムめっき、パーフルオロアルコキシ、それらの組み合わせを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法で構成でき、弁プレートの直線的移動のみで完全にバルブを閉塞できるスライドバルブを提供する。
【解決手段】 バルブを閉塞するとき、スライドスペース部材３２は移動経路の最終段階に沿って弁プレート４が閉塞位置に達するまでバルブハウジング１に対して弁プレート４の滑動ベアリングとして作用し、これらスライドスペース部材３２は前壁面１０の内面を滑動する。弁プレート４の閉塞位置において、スライドスペース部材３２は弁プレート４を前壁面１０に接触する間バルブハウジング１から距離を隔てて維持する。このことにより弁プレート４の閉塞状態におけるシールリング８の圧縮が規制される。スライドスペース部材３２は弁プレート４の面に対して垂直方向には実質的に剛性であり、弁プレート４の閉塞時の変形は変形しない状態と比較して略距離ｄより小さい。そのためシールリング８は距離ｄに相当する変形経路により圧縮される。。 （もっと読む）

【課題】シール部材の耐久性能が高い開閉弁を提供する。
【解決手段】プランジャ４１の先端面に埋設されたシール部材４５の押接面４６に、弁座６２５を当接させた閉位置と、弁座６２５から押接面４６を離した開位置との間で切換可能に構成された弁であって、弁座６２５の内側に位置する開口６２４内に、シール部材４５の変形（隆起）を抑える押圧部材としてのフィルター６２６を充填した。フィルター６２６は、気体の透過は可能であり、シール部材４５よりも硬い材料で構成されている。フィルター６２６は、閉位置におけるシール部材４５の開口６２４内での隆起を押し戻す。 （もっと読む）

【課題】本発明は、開口が狭い場所に形成されている弁座にも耐蝕耐磨耗性合金製の環状弁座を適用できる弁機構及びその製造法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、環状弁座６の１箇所を切断し、切断された環状弁座６を変形させて弁箱２内に挿入し、その後、変形させた環状弁座６を復元させて弁箱２への固着と切断部位の接合を行うようにしたのである。
このように、環状弁座１を変形させることで、開口が狭くても耐蝕耐磨耗性合金製の環状弁座６を内部に装着できるので、この種弁機構１においても弁座５の耐蝕耐磨耗性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 基体と硬質炭素膜との密着度が高く、硬質炭素膜を厚膜化することができるバルブ用部品を提供する。
【解決手段】 摺動面を有するバルブ用部品である弁体１６は、基体１と、基体１の表面に形成された被覆層３とを備えて構成され、被覆層３の表面が摺動面１６ａとして形成される。被覆層３は、硬質炭素膜４とシリコン膜５とを積層した積層膜６を、シリコン膜５が基体１の側に配置されるように２層以上積層して形成される。硬質炭素膜４それぞれの膜厚は０．０１μｍ以上０．５μｍ以下であり、シリコン膜５それぞれの膜厚は０．００５μｍ以上０．５μｍ以下である。硬質炭素膜４の膜厚はシリコン膜５の膜厚と等しいか、より大きく、被覆層全体の層厚は０．５μｍ以上５０μｍ以下となっている。 （もっと読む）

【課題】 チャンバ本体と排気装置組立体との間の、より緻密な設計と熱伝導の改善を提供することにより設備メンテナンスを容易にする代替を提供する。
【解決手段】 バルブ組立体２００は、内部弁座と複数のアダプタポートを有するバルブ本体２０２を備える。非金属封止材料が、隣接の真空部品の合わせ面間の真空封止を提供し、合わせ面間の物理的直接接触が、バルブ組立体２００内での良好な熱伝導を確保する。 （もっと読む）