【課題】ボンベ内の液化塩化水素を気化するときに２段階で減圧しなくても、またボンベ内の液化塩化水素の供給量が変動しても、更にボンベに貯留された液化塩化水素の残量が少なくなっても、液化塩化水素の気化した塩化水素ガスの純度を良好に保ち、これにより安定して高いライフタイムを実現し、これによりエピタキシャルウェーハ等の製品の品質の低下を防止する。
【解決手段】ボンベ１１に貯留された液化塩化水素１２を気化して半導体製造工程に供給する。ボンベの外面にこのボンベに貯留された液化塩化水素に対向して取付けられた外付け温調器１６又はボンベの設置室内に設けられた温調装置２８のいずれか一方又は双方により構成された加温手段がボンベを加温し、ボンベの外面温度を検出する温度センサ１７の検出出力に基づいてコントローラ１９が加温手段を制御してボンベを加温する。 （もっと読む）

【課題】燃料ガスタンクが上限温度を超えないように、燃料電池車両に対して燃料ガスの補給を行う。
【解決手段】燃料ガスを消費して移動する車両２に対し燃料ガスを補給するための燃料ガス補給ステーション１において、所定の停止部１０に停止した車両２に接続して車両２の燃料ガスタンク３２に燃料ガスを供給する燃料ガス供給装置１１と、停止部１０において燃料ガスの補給後に車両２が入れ替わったか否かを検出するセンサ２３と、センサ２３の検出結果に基づいて、車両２が入れ替わっていない場合には、次の燃料ガスの補給を行わないように、燃料ガス供給装置１１を制御する制御部２４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】水素タンク内における樹脂ライナの内方への変形を防止することができるガス放出量制御装置を提供する。
【解決手段】水素タンク２の歪を検出し、その歪に基づき水素タンク２に圧縮応力が作用しているか否かを判断する。そして、水素タンク２に圧縮応力が作用していると判断した場合には、水素タンク２の開閉弁１５を閉状態に制御して、水素タンク２から水素ガスが放出されるのを防ぎ、水素タンク２のタンク内圧力が低下するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】移送の際の負圧対策が施された固液二相流体の移送装置を提供する。
【解決手段】送り側容器Ｔ₁、受け側容器Ｔ₂及び移送配管１を真空に対応したものから構成し、送り側容器Ｔ₁の真空度を制御する真空ポンプ６と、受け側容器Ｔ₂の真空度を制御する真空ポンプ７とを設け、固液二相流体Ｓ₁を移送する際には、真空ポンプ６、７により、送り側容器Ｔ₁及び受け側容器Ｔ₂を共に負圧とすると共に、一定の差圧で送り側容器Ｔ₁の圧力を受け側容器Ｔ₂の圧力より大きくして、受け側容器Ｔ₂に固液二相流体を圧送する。 （もっと読む）

【課題】バルブアセンブリを備える所定のシステムにおいて、リークチェックポートを新たに設けることなく、リークチェックを行うこと。
【解決手段】ガスタンクに取り付けられ、ガスタンクにガスを充填若しくはガスタンクからガスを放出するためのバルブアセンブリであって、ガスタンクにガスを充填するための充填流路と、ガスタンクからガスを放出するための放出流路と、充填流路に設けられ、充填流路におけるガスの流通を遮断可能な充填流路遮断弁と、放出流路に設けられ、放出流路におけるガスの流通を遮断可能な第１放出流路遮断弁と、充填流路において、充填流路遮断弁よりもガスの充填方向の上流側の流路と、放出流路において、第１放出流路遮断弁よりもガスの放出方向の下流側の流路と、を接続する連通流路と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガス自体に付臭剤を均一に添加することができない場合においてもガスの漏洩を検知できるガス輸送・貯蔵用タンクを提供する。
【解決手段】ガスを貯留する圧力容器３と、圧力容器３の外周面との間に空間５を介して圧力容器３を覆うように設けられたカバー体７と、カバー体７と圧力容器３との間の空間５内のガス圧力が所定の圧力になったことを検知する圧力検知装置９とを備え、空間５内に加圧ガスを封入すると共に、圧力容器３内のガス圧力Ｐ_１と空間５内のガス圧力Ｐ_２と圧力検知装置９の設定圧力Ｐ_３の関係をＰ_１＞Ｐ_３＞Ｐ_２になるように設定してなるガス輸送・貯蔵用タンク。 （もっと読む）

【課題】ガス供給の要求に対して柔軟に対応することが可能で、ガスハイドレート又は固化ガスを有効に使用することが可能なガス供給装置を提供する。
【解決手段】ガスハイドレート２又は固化ガスを貯蔵可能な複数のタンク３と、前記各タンク３に設けられ、タンク３に貯蔵するガスハイドレート２又は固化ガスを加熱しガス化させる加熱手段５と、前記各タンク３に装着され、タンク３内の圧力を検出する圧力検出器２５と、前記各圧力検出器２５からの圧力データに基づき所定の手順に従い前記加熱手段５の加熱制御を行う制御装置４０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 コンロに収容装着したガスボンベ内のガスの残量を比較的正確に認識できる構造を備えたカセットコンロの提供。
【解決手段】 カセットボンベの重量を検出するための秤量機構を組み込み、その検出状況に基づきボンベの重量を示す表示手段を備えるカセットコンロ。 （もっと読む）

【課題】有機ハイドライドの供給と回収を迅速かつ効率良く実現するためのシステムを提供する。
【解決手段】供給燃料タンクと回収燃料タンク各々の燃料残量を検出する供給燃料残量検出センサと回収燃料残量検出センサ、表示装置を有する運搬車、供給燃料タンクと回収燃料タンク各々の燃料残量を検出する供給燃料残量検出センサと回収燃料残量検出センサ、を有する燃料スタンド、情報処理装置を有する集中情報処理センタで構成される有機ハイドライド供給・回収システムとし、運搬車において検出された各燃料残量データ，各燃料スタンドで検出された各燃料残量データを用いて、情報処理装置において、運搬車の供給・回収燃料残量予測データと各燃料スタンドの供給・回収優先順を基に運搬車の走行ルートを決定し、決定した走行ルートを運搬車の表示装置に表示する。 （もっと読む）

自動車の高圧ガス貯蔵タンクからのガス流に伴う構成要素の温度を制御するためのシステムであって、このシステムは、タンク組立体に関連したガス出口流制御システムにおける伝熱要素の近くに配置されたヒータに機能的に相互結合される車載熱源と、サーモスタットがガス出口システムの温度を調整して、少なくともタンク及びタンク組立体におけるタンクからのガス流に関連した構成要素の温度許容範囲によって許容される最低低温制限温度に対応する温度にすべくヒータへの熱流を調整するサーモスタットと、タンクからのガス流に関連したタンク組立体の構成要素を取り囲んでいるタンクの内部の体積中に熱が維持されるように配置された断熱シュラウドとを有する。
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