【課題】 被検出体の表面の歪みを容易に発見できる歪み検出装置および歪み検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 車両４を前方に搬送するベルトコンベア３の側方近傍には、検出用蛍光灯１５を有した光源１が固定され、光源１から照射された光が車両ボデー４１上で反射し、その反射光を検出用作業者Ｐが目視することにより、車両ボデー４１上の歪みを検出する。検出用蛍光灯１５は、車両４の移動方向に対して垂直となる上下方向に延びているとともに、車両４の前側ドアＦＤｒおよび後側ドアＲＤｒの表面形状に合わせて曲げられており、その上下方向の各部位の、車両ボデー４１の表面に対する最短距離が互いに均等になるような形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク等の板状の被検体を所定の保持状態で保持した際に、その保持状態に起因して被検体に生じる保持歪みを被検面の形状とは別に測定し得るようにする。
【解決手段】所定の保持状態で保持された被検体４０の表面４１の形状を測定する第１測定と、同状態で保持された被検体４０の裏面４２の形状を測定する第２測定と、逆歪みが生じるように保持された被検体４０の裏面４２の形状を測定する第３測定とを行なう。第１測定により得られた表面形状データと、第２測定により得られた裏面形状データとに基づき第１のデータを得るとともに、第１測定により得られた表面形状データと、第３測定により得られた裏面形状データとに基づき第２のデータを得、これら第１、第２のデータに基づき保持歪みを求める。 （もっと読む）

１つの側面においては、強度における決定される変化に基づき、格子の異なる領域において強度データと共に使用される解像度を変化させることにより、Parousiameterのような散乱計100から得られる画像強度データを格納するのに必要なデータの量が削減される。別の側面においては、散乱計が、テストサンプルに対する鏡のオフセンタ変位によりもたらされる歪みを訂正するため、テストサンプル180を画像化する非球面鏡170,900,1000を具備する。別の側面においては、光学表面検査装置が、テスト表面上にパターン化格子1610を投影するため、テスト表面1420と照らし出されるパターン化格子1410との間の補助レンズ1440を用いる。カメラ1450は、実画像としてテスト表面上の格子に焦点が合わされる。
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【課題】ＦＢＧをセンサとする超音波計測装置を用いて超音波を検出する際に、ＦＢＧを超音波センサとして用いた場合、センサ部であるグレーティングの被検体への貼り付け方法を工夫することにより、超音波検出感度を向上させ、健全性評価の精度を高める。
【解決手段】従来はＦＢＧセンサ５のセンサ部であるグレーティング８は、その全体が被検体９へ完全に接着する（これを「完全接着」という。）方法が取られている（図１（ａ）参照）のに対して、この本発明では、ＦＢＧセンサ５のグレーティング８両端から両側方に離れた箇所のみを被検体９に接着する方法（これを「ブリッジ接着」と名づけた。）を採用し（図１（ｂ）参照）、ＦＢＧセンサ５の超音波検出感度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 回転体の大きさおよび回転数にかかわらず、必要な時に物理量を精度よく計測できる回転体物理量計測方法および回転体物理量計測装置を提供する。
【解決手段】 光源６０から出力された計測光は、光カプラ４４を介してレンズ２２から放射され、回転体１２に向けて空間を伝搬する。空間を伝搬した計測光は、レンズ２４で集光され、光ファイバ２６を伝搬して計測用光ファイバに入射する。計測光は、計測用光ファイバを伝搬する過程で、ひずみ量に応じて反射され、戻り光を生じる。戻り光は、光ファイバ２６を計測光と逆方向に伝搬して、レンズ２４から放射され、固定側に向けて空間を伝搬する。空間を伝搬した戻り光は、レンズ２２で集光され、光カプラ４４を介して計測部７０に入射する。計測部７０は、戻り光の時間的な強度変化を計測して、ひずみ量を算出する。 （もっと読む）

光ファイバコア２ａとクラッド２ｂと被覆層２ｃとを有する光ファイバー芯線２と、この光ファイバー芯線２を保持する基材３と、この基材３を構造物１に取り付けるための取り合い部材４とを備えた。
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【課題】複数本の光ファイバケーブルを敷設するという現在の敷設形態に対応しながら、簡易な構成で構造物との接着性を高め、構造物に適正に支持された光ファイバケーブルにて構造物の歪みなどを正確に測定できるようにする。
【解決手段】光ファイバ芯線２を長さ方向に直交する方向に複数並設し、光ファイバ芯線２それぞれの周囲に配された外皮被覆４を隣り合う同士で連続させ、その隣り合う外皮被覆４同士の連続部５に、長さ方向に沿って溝６を設けた。 （もっと読む）

【課題】 スキャナフィールド内歪みを効果的で効率的に判断する。
【解決手段】 リソグラフィスキャナで起る動的走査歪みを判断する方法と装置において、識別するフィールド全体に特殊なレクチルパターンを露光する。次に、ウェーハを90度回転し、同じフィールドで1回またはそれ以上の露光を行う。現像したウェーハ上で連結したアライメント構造を測定し、並進、回転、走査スキュー内で動的走査歪みを再構築する。 （もっと読む）

組織の１つ以上の構造的変化に関連するデータを決定するためのシステム、プロセスおよびソフトウェア構成。より詳細には、第１の応力レベルでの組織に関する第１の情報を含む第１の光コヒーレンス断層撮影法（「ＯＣＴ」）信号と、第２の応力レベルでの組織に関する第２の情報を含む第２のＯＣＴ信号とが受信される。第１の情報と第２の情報とが、比較情報を生成するために比較される。１つ以上の構造的変化に関連するデータが、比較情報と、（ｉ）組織の少なくとも１つの既知の特性及び／又は（ｉｉ）ＯＣＴシステムの特性に関連する更に別の情報との関数として決定される。更に、組織に関する情報を含む１つ以上の光コヒーレンス断層撮影法（「ＯＣＴ」）信号が受信され、組織の弾性率が、受信された１つ以上のＯＣＴ信号の関数として決定される。 （もっと読む）

本発明は、構造物の歪みや温度を高空間分解能に過渡現象を考慮して測定し得る分布型光ファイバセンサシステムに関する。本発明の分布型光ファイバセンサシステムは、被測定物に設置される光ファイバと、音響フォノンの過渡応答時間以上のパルス幅である第１パルス光を発光し、音響フォノンの振動が維持される時間間隔で続けて第２パルス光を発光して、光ファイバに供給する光源部と、第２パルス光の光ファイバ中で生じたブリルアン散乱光の散乱利得スペクトルを、第２パルスのパルス幅を等分割して得られる時間の２倍に相当する時間間隔で検出する検出部と、各時間間隔の各散乱利得スペクトルに対応する光ファイバの各微小区間について、各散乱利得スペクトルに基づいて歪み及び／又は温度を演算する制御演算部とを備える。
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