【課題】 部品の仮想の支持面として機能する３点を精度良く抽出して、検査精度を高める。
【解決手段】検査対象の部品の各端子につき、それぞれ代表点の３次元座標を求めた後、各代表点を３個ずつ順に組み合わせながら、組み合わせにかかる３点が第１、第２の各条件を満たしているかどうかを判別する。第１の条件は、３点による三角形平面に部品中心部を投影できるという条件であり、第２の条件は、三角形平面が３点以外のすべての代表点よりも下方に位置するという条件である。双方の条件を満たす３点の組み合わせが見つかると、これら３点を含む仮想平面と各代表点との距離Ｄを求め、その距離Ｄを用いて各端子の浮き上がりの有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】 可動部が障害物との衝突を回避しつつ、速やかに可動部が移動するＸ線診断装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線透視装置において、Ｘ線を検出する検出器３と、被検体Ｍ、術者、その他の障害物との離隔距離Ｌｍを静電容量型センサー７とセンサー回路８とによって計測する。ここで、検出器３の移動速度ｖに基づきセンサー回路８の有効測定範囲（レンジ）を変更する。よって、計測される離隔距離Ｌｍは精度がよい。この離隔距離Ｌｍと検出器３の移動速度ｖとに基づいて、検出器３を制動するように駆動制御部１１が駆動部５を操作する。よって、計測される離隔距離Ｌｍの精度がよいので、確実に的確に検出器３と障害物との衝突を回避できる。よって、検出器３が低速で移動しているときに不必要に制動されることや、計測誤差等により誤って制動されることはない。 （もっと読む）

【課題】 プローブカードとテストヘッドとの距離の経時変化を検出する。
【解決手段】 ウエハプローバ１のプローブカード３と半導体集積回路試験装置のテストヘッド２との距離を検出する距離センサ６と、該距離センサ６の距離検出値を時系列的な距離データとして順次記憶するメモリ７ａと、該メモリ７ａに記憶された距離データを時系列順に一覧表示するディスプレイ７ｃとを具備する。 （もっと読む）

【課題】 複数種のスペーサの溝ピッチと反転角度の測定を可能にすること。
【解決手段】 測定装置は、周回する螺旋溝が設けられたスペーサ１２，反転する螺旋溝が設けられたスペーサ１３の溝ピッチおよび溝反転角度を測定する。スペーサの進行量に対応した信号を発生させる速度パルス発生器１６と、螺旋溝に嵌合された回転体１８と、回転角度に対応したパルス状の回転角度信号と、回転角度信号から遅延，進行した回転方向判定信号と、螺旋溝の１回転に伴う１回転パルス信号を送出する第１，２パルス発生器１９，２０とを備えている。演算装置２２は、スペーサの種別を選別し、螺旋溝の溝ピッチを演算するとともに、回転角度および回転方向判別信号を受けて、螺旋溝の反転位置を判別し、隣接する反転位置間での前記速度パルス発生器のパルスおよび回転角度信号を計数して、螺旋溝の溝ピッチと溝角度とを演算する。 （もっと読む）