【課題】 触針を簡易に支持することができ表面形状の計測を高精度化することができる変位量検出器等を提供すること。
【解決手段】 エア供給源Ｐから推力ポート２８を介して圧力作用室２７に供給される制御エアによって、ロッド部材３に対して鉛直方向上方すなわち＋Ｚ方向に任意の浮上力（推力）が付与される。この際、ロッド部材３は、コイルバネ６に吊るされた状態で、その自重を一部相殺する付勢力で持ち上げられる。結果的に、ロッド部材３は、シリンダブロック２内でほとんど浮いた状態で−Ｚ方向にわずかに付勢された状態となる。この状態で、ワークＷの表面にロッド部材３の下端に設けた接触部３５ａを接触させ、プローブ装置１０ＡをワークＷに対してＸＹ面内で相対的に走査させることにより、ロッド部材３は、ワークＷの表面形状に沿って±Ｚ方向に変位する。 （もっと読む）

【課題】ウエブに対する反射部の相対的な位置を確実に検出できる見当検出装置の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】一対のローラ１５の間を走行するウエブＷに対して光を照射する投光部２１、及び、投光部２１に対してウエブＷを挟んで設置され、光を反射する反射部２２を備える見当検出装置２０の検査を、一対のローラ１５の外周面であって印刷時にウエブＷに当接する領域にそれぞれ接触する一対の接触部、及び、一対の接触部の間に反射部２２に対向して設けられ、実質的な剛体によって接触部に接続された基部を備える本体部３１と、基部に固定され、基部に対する反射部２２の相対的な位置を検出する位置検出部３２とを備える見当検出装置の検査装置によって行う。 （もっと読む）

【課題】 プローブを昇降させるＺ軸駆動部のブレを低減して、表面形状の計測を高精度化することができる形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 この形状測定装置では、触針１１，２１の尖端を測定用治具ＨＤに載置した光学素子ＯＥの光学面に沿って２次元的に移動させることができる。つまり、レーザ干渉計８３ｄ，８３ｅを利用して得た載置台８２ａのＸＹ座標と、レーザ干渉計９１ｂを利用して得た触針１１のＺ座標とを、制御装置９９で対応付けつつ必要な演算処理を行うことにより、光学素子ＯＥの光学面の３次元的な表面形状を測定することができる。
この際、上記形状測定装置１００では、昇降機構８６に設けた昇降駆動装置８６ｃがリニアモータを備え、昇降部材８６ｂの推力発生位置ＰＰや重心位置ＧＣを基準軸線ＡＸ１に対して比較的近くに配置するので、プローブ装置１０のＺ軸方向に関する昇降運動が滑らかでヒステリシスのない高精度なものとなる。 （もっと読む）

【課題】投光部を支持する支持部のウエブに対する相対的な位置を確実に検出できる見当検出装置の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】一対のガイドローラ１５に案内されて走行するウエブＷに対して光を照射するとともに、印刷機に備えられた支持部２１に支持される投光部２３を有する見当検出装置２０の検査を、一対のガイドローラ１５の外周面であって印刷時にウエブＷに当接する領域にそれぞれ接触する一対の接触部、及び、この一対の接触部の間に設けられ接触部に対して実質的な剛体によって接続された測定対象部を有する測定基準部４０と、測定対象部に対向して支持部２１に支持され、測定対象部に対する支持部２１の相対的な位置を検出する位置検出部５０とを備える見当検出装置の検査装置２０によって行う。 （もっと読む）

【課題】接触子の形状が理想的な球ではない場合であっても、測定点を正確に算出可能な形状測定装置、その形状測定方法並びに形状測定プログラムを提供する。
【解決手段】前記接触子の前記被測定物への複数箇所での接触時における前記接触子の基準点の位置座標を擬似測定点として取得する擬似測定点取得部２１２と、前記擬似測定点から前記擬似測定点に沿った面又は線を推定し、該面又は線に対する各擬似測定点からの法線ベクトルを算出する法線ベクトル生成部２１３と、前記接触子の表面形状を特定する接触子モデルの基準点を前記擬似測定点に一致させると共に測定時の前記接触子と前記接触子モデルとの姿勢を一致させて前記接触子モデルを配置する接触子モデル配置部と２１４、前記各法線ベクトルが前記各配置された接触子モデルの表面と交わる点を測定点として算出する測定点算出部２１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来、接触式位置センサを用い、プランジャ軸をリトラクトする必要のある場合外部にエアシリンダを設けたがスペースを取るのでリトラクト機能を内蔵し、エア圧を利用し自動化した。また、エア圧による接触力の付勢、動作信号を利用してリトラクト以外にロック、割り出し、はね出し機能も具備するようにした。
【解決手段】センサ本体内にエアシリンダ機能を内蔵させることによって測定プランジャ軸の押出し、リトラクトさせることが自動化でき、スペースをとらず、コストも低く、精度も向上させられる。また接触力が圧縮エアによって与えられるので変更が容易で一定にできる。
更に位置検知信号を用いて圧縮エア圧を制御し、検出体の割り出し、ロック、はね出しなどのアクチュエータ機能を具備することが可能になる。また、同時に保護構造の強化をはかった。 （もっと読む）

【課題】以前は対角の芯を出すには、メジャーで対角に当てて測って正確差に欠けていたものを、正確で簡単にするため対角芯出し測定ホルダーにメジャーを装着し、対角を測定するもである。
【解決手段】対角芯出し測定ホルダー１に市販のメジャー３を装着し、予め決めている位置となる測点にメジャー３の先端を当てがい、両方のメジャー３をホルダー１の先端より同じ寸法にして、測りたい対角側の測点まで延ばし、ホルダー１の中心点２より決まっている寸法を振り分けて、対角の測定を正確にすることが出来る事を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接触子の摺動動作による摩耗が抑制された接触式変位計を提供することである。
【解決手段】ヘッドケース１１０の下面部ＣＢの貫通孔１１０ｂから下方に延びるように外筒２２０が取り付けられている。シャフトキャップ３２０の回転止ピン挿入部３２２に挿入された回転止ピン３４０は、背面部ＣＣに上下方向に延びる回転止溝１１１に嵌合されている。外筒２２０内には、シャフト３１０が挿入されている。外筒２２０とシャフト３１０との間には、ボールケージ２３０が配置されている。ボールケージ２３０は、筒状部材に複数のボール２３１が規則的な間隔で設けられたものである。ボール２３１は、外筒２２０の内周面およびシャフト３１０の外周面に当接するとともに、上下方向に回転移動可能である。 （もっと読む）

【課題】使用者が使い易く、安価で小型化された変位計などの検出装置を提供する。
【解決手段】７セグメントＬＥＤ４２は、対象物の測定値等を表示する。バー表示部４３は、測定値が許容範囲のどの位置に入っているかという入り度合いを表示する発光ダイオード（ＬＥＤ）等からなる複数のバー（セグメント）４３ａ、上限値表示部４３ｂ、および下限値表示部４３ｃを含む。使用者により設定された許容範囲の上限値および下限値から、使用者が暗に望むある程度の分解能を予測することができる。そこで、本発明では、各バー４３ａの分解能を、（上限値−下限値）／個数により定義する。なお、上記個数とは、上限値表示部４３ｂと下限値表示部４３ｃとの間にあるバー４３ａの個数を示す。 （もっと読む）

【課題】触針式形状測定装置において、触針と被測定面の接触位置を算出することによって被測定面の形状を高精度に測定する。
【解決手段】最初にクランプ１３で触針１４をアーム１５に固定した状態で被測定面を走査し、走査によって変位検出機構１６で得られたＺ方向の変位データを測定する。次に、触針１４がアーム１５に対してクランプ１３による接続部分を中心にＸＹ平面に可動となるようにクランプ１３を切り替え、触針１４が走査した線上において、先端球１０を被測定面に接触させ、その位置からＺ方向に微小な変位を加えた場合のＸ、Ｙ及びＺ方向の変位を測定し、先端球１０と被測定面との接触位置を測定する。これらＺ方向の変位データ及び先端球１０と被測定面との接触位置データに基づいて走査線上における被測定面の形状を計算する。 （もっと読む）