【課題】携帯電話等への搭載を可能する小型の構造を有し、移動子の絶対的位置を求めることができ、計測信頼性を高めることできる静電エンコーダを提供する。
【解決手段】この静電エンコーダ１０は、４相の電位検出電極１１ｃを有する固定子１１と、第１電極と第２電極を有する移動子１２と、移動子の第１電極と第２電極の各々に反対極性の電荷を誘起させる誘導電極１１ａ，１１ｂと、４相の電位検出電極から出力される交流信号の差に基づきベクトル信号を生成する差動増幅器２２，２３と、ベクトル信号に基づき、固定子に対する移動子の絶対的位置に係る信号を生成するレゾルバ／デジタル変換器２１とから構成される。 （もっと読む）

【課題】静電容量式センサ装置において、一対のセンサキャパシタが経年変化して静電容量のオフセットが変化した場合であっても、そのオフセットを適切に補償する。
【解決方法】本発明の静電容量式センサ装置では、反転入力端子が第１センサキャパシタと第２センサキャパシタの接続部に接続されたオペアンプの非反転入力端子に補償信号を印加する。補償信号は、所定の基準電圧に、第１クロック信号または第２クロック信号に同期して補償電圧が重畳されたものである。この補償電圧に起因する出力電圧の変動は、静電容量のオフセットに起因する出力電圧の変動と同期しているので、補償電圧の大きさを適切に調整することによって、静電容量のオフセットを補償することができる。補償電圧の大きさを事後的に再調整することで、静電容量のオフセットが経年変化した場合であっても、そのオフセットを補償することができる。 （もっと読む）

【課題】センサ回路を低消費電力化する。
【解決手段】センサ回路２は、アノードが電源電位ＶＤＤに接続され、物理量に応じて静電容量が変化するセンサ素子１を構成する可変容量素子ＶＣ１にカソードが接続されたダイオードＤ１と、ゲートが可変容量素子ＶＣ１およびダイオードＤ１のカソードに接続され、ソースが電源電位ＶＤＤに接続され、ドレインが出力端子ＯＵＴに接続されたＰＭＯＳトランジスタＱ１と、第１の端子が可変容量素子ＶＣ１、ダイオードＤ１のカソードおよびＰＭＯＳトランジスタＱ１のゲートに接続され、第２の端子が接地電位に接続された電流制限部Ｉ１と、第１の端子がＰＭＯＳトランジスタＱ１のドレインおよび出力端子ＯＵＴに接続され、第２の端子が接地電位に接続された電流制限部Ｉ２とから構成される。 （もっと読む）

【課題】ノイズレベルの大きな環境においても位置検出が安定して行える、高精度かつ信頼性の高い位置検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の電極を並列に配置した第１の電極３及びこの第１の電極３と交差して設けられ、複数の電極を並列に配置した第２の電極４とが形成された支持体１１と、支持体１１の一の面に対向して設けられ、所定の位置指示部材が当接される保護層（表面部材）１２と、支持体１１の他方の面に対向して設けられた補強材（背面部材）１３とを積層して備え、支持体１１、保護層（表面部材）１２、補強材（背面部材）１３の少なくとも１つの、第１の電極３の間又は第２の電極４の間に対応する位置に気体層（空間部）１５を設け、静電容量Ｃを増加させる電気的な結合経路を遮断する。 （もっと読む）

【課題】移動体と電極との間の静電容量が、アクチュエータ組み立て後に異なる値を示すようになっても、適切な値に修正することができ、これにより移動体の絶対位置を確実かつ正確に算出することのできる慣性駆動アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】移動体電極と振動基板電極とが対向する部分の静電容量を、一方及び他方の移動限界位置において検出する静電容量検出ステップと、静電容量検出ステップにおいて検出された、一方及び他方の移動限界位置での静電容量を記憶する静電容量記憶ステップと、静電容量記憶ステップにおいて記憶された一方及び他方の移動限界位置での静電容量と、一方及び他方の移動限界位置間の移動限界距離と、の比率を算出する比率算出ステップと、算出した比率を用いて、一方及び他方の移動限界位置間における移動体の絶対位置を算出する絶対位置算出ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】微小な静電容量の変化を検出可能で、静電気力による共振周波数の調整機能を追加可能で、加振回路からの影響を低減できる高感度且つＳＮ比の高い容量式センサを提供する。
【解決手段】物理量の変化に応じて静電容量が変化する物理量検出素子と、前記物理量検出素子に交流信号を印加する交流信号発生手段と、前記物理量検出素子に前記交流信号発生手段により充放電される電荷に応じた交流電圧を発生させる容量検出器と、前記容量検出器の発生させる交流電圧の振幅に応じたΔΣ変調信号列を発生させるΔΣ変調器とを構成することで達成される。 （もっと読む）

【課題】電極のずれにより生じる誤差を修正可能な静電容量センサを提供すること。
【解決手段】可動電極１２と第１の固定電極１１Ａ及び第２の固定電極１１Ｂとの間に蓄積された静電容量を検出する静電容量センサ１００において、固定電極１４と第１の固定電極及び固定電極と第２の固定電極の間のそれぞれの静電容量の絶対値を検出する検出手段と、前記静電容量の絶対値の逆数に比例した値を感度にかけることにより、電極のずれにより変動した感度を補正する補正手段３０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 静電容量式センサ装置において、一対のセンサキャパシタが経年変化して静電容量のオフセットが変化した場合であっても、そのオフセットを適切に補償する。
【解決方法】 本発明の静電容量式センサ装置は、第１センサキャパシタと第２センサキャパシタの接続部に接続された補償キャパシタと、補償キャパシタの開放端に印加される補償信号を生成する補償信号生成手段を備える。補償信号は、第１センサキャパシタに印加される第１クロック信号または第２センサキャパシタに印加される第２クロック信号と同じ位相であり、振幅が調整可能である。補償キャパシタによって、第１センサキャパシタまたは第２センサキャパシタの静電容量が見かけ上増加し、静電容量のオフセットを補償することができる。補償信号の振幅を事後的に再調整することで、静電容量のオフセットが経年変化した場合であっても、そのオフセットを補償することができる。 （もっと読む）

【課題】物体の接近などを検出する微小な静電容量のオフセットを除いた変化を、最適な検出レンジに合わせながら高分解能かつ高速に検出する。
【解決手段】支持基板上に配置された複数の検出電極と、複数の検出電極の各々に接続される検出電極が有する静電容量に対応した電圧波形に変換するための抵抗とコンデンサの直列接続で構成されるＣＶ変換手段と、検出電極の各々に入出力ポートが接続される汎用的なマイクロコンピュータを有し、マイクロコンピュータのＣＰＵにより検出電極の各々の静電容量あるいはその変化に対応した値から接近物体の位置を演算する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、センサプローブと測定対象物との間隙を容易かつ正確に調整することができる静電容量センサを提供することにある。
【解決手段】本発明は、静電容量センサと、前記静電容量センサを固定する第１の固定治具と、前記静電容量センサの先端部に位置するセンサプローブと測定対象物との間隙を調整するアクチュエータと、前記アクチュエータと前記静電容量センサとを固定する第２の固定治具と、前記間隙の調整後に前記静電容量センサを固定する第３の固定治具と、前記間隙に生じる静電容量の値を測定する計測器と、を具備し、前記第２の固定治具が、第３の固定治具よりも剛性の低い構成になっていることを特徴とする、静電容量センサ式測定装置を提供する。 （もっと読む）