【課題】磁性流体を用いた非接触の変位ゲージを提供する。
【解決手段】
本発明は磁性流体を用いた非接触の変位ゲージである。磁性流体を用いて薄いテープ状のフィルム内に充填し、磁性流体フィルムゲージを歪ゲージのように被測定体の表面に接着することで、被測定体の材質によらず、被測定体と一定距離の位置に磁性流体フィルムゲージと対抗する位置に置かれた磁性流体検出手段によって、被測定体の変位、回転角、ひずみ、応力、トルクなど測定することができる。 （もっと読む）

【課題】静電容量型センサの容量変化を検出するオペアンプの反転入力端子のＤＣバイアス電圧を設定する帰還抵抗で発生する熱雑音により、出力音声信号のＳＮ比が劣化する。
【解決手段】オペアンプ２４の帰還キャパシタＣ_Ｆに並列にＤＣバイアス設定回路２６を設ける。ＤＣバイアス設定回路２６は、スイッチトキャパシタ回路２８を含み、そのＭＯＳトランジスタＱ_１，Ｑ_２をオン／オフ制御して等価的な抵抗ｒ_ＳＣとして機能させる。Ｑ_１，Ｑ_２のオン抵抗は小さいため、発生する熱雑音が小さい。また、オフ抵抗は極めて大きく、ｒ_ＳＣとＣ_ＦとからなるＬＰＦのカットオフ周波数ｆ_０Ｓが音声帯域の上限より低下する。その結果、ＬＰＦを通過して端子ＯＵＴへ出力される熱雑音のうち音声帯域の成分が低下する。 （もっと読む）

【課題】検出精度を向上し得る容量式物理量検出装置を提供する。
【解決手段】加速度センサでは、接続部３４により、センサ基板１０ａのセンサ基板電位パッドＰｗと回路基板２０ａの回路基板電位パッドＰｂとを電気的に接続し、これら両基板の電位を、Ｃ／Ｖ変換回路２１のオペアンプ２１ａに供給される所定の基準電圧Ｖref に等しく設定する。これにより、Ｃ／Ｖ変換回路２１に供給される電源電圧Ｖddにノイズが重畳したとしても、センサ基板１０ａ、回路基板２０ａおよびＣ／Ｖ変換回路２１のオペアンプ２１ａ、のいずれにも当該ノイズがほぼ同じタイミングかつほぼ同じレベルで侵入するため、例えば、オペアンプ２１ａの特性により当該ノイズを打ち消すことができる。したがって、電源電圧Ｖddに重畳したノイズの影響をＣ／Ｖ変換回路２１が受け難いため、物理量の検出精度を向上することができる。また、誤検出も防止することができる。 （もっと読む）

【課題】静電容量型センサが形成された半導体チップとその容量変化を検出する検出回路が形成された半導体チップとからなるハイブリッドＩＣにおいて、両チップ間に必要なボンディングワイヤーの数を減らす。
【解決手段】センサチップ５０の裏面を、それが載置された支持基板の表面の電極に接続し、センサのキャパシタＣmの一方端子Ｎcbを基準電位に設定する。センサチップ５０の表面には他方端子Ｎcdのパッドを形成する。検出回路チップ５２には、Ｃmとの接続端子Ｎdとなるパッドと、Ｎdに接続され、Ｃmを充電するバイアス電圧を出力するバイアス回路５４と、ＮdにキャパシタＣcを介して接続され、Ｃmの端子Ｎcdの電位変化を電気信号として検出する検出回路５６とが形成される。両チップ５０，５２は端子Ｎdのパッドと端子Ｎcdのパッドとの間のボンディングワイヤーで接続される。 （もっと読む）

【課題】消費電流を低減しつつ、微小な容量変化をより高速かつ高精度で検出することが可能な容量差検出回路を提供する。
【解決手段】容量差検出回路１００のタイミングジェネレータ１４は、電流切換スイッチ回路６の切換動作を制御する電流切換パルス信号を出力し、第１、第２の可変容量キャパシタ２、３に第１、第２の充電電圧が充電されている期間中にこの第１、２の充電電圧を検出するように、チョッパ型アンプ７を制御するゲートパルス信号を出力し、第１の充電電圧を検出する期間中にチョッパ型アンプ７の出力信号をサンプルホールドするように、第１のサンプルホールド回路８を制御する第１のサンプルパルス信号を出力し、第２の充電電圧を検出する期間中にチョッパ型アンプ７の出力信号をサンプルホールドするように、第２のサンプルホールド回路９を制御する第２のサンプルパルス信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】角度検出の際の角度分解能を高分解能にすることができる角度検出装置を提供する。
【解決手段】ステアリングホイール等に連結固定された主動ギアに連動回転する各従動ギア４，５をライトガイドとすべくこれらを透明樹脂で形成し、その外周肉厚部６ｂ，７ｂを肉厚が直線的に変化するような形状とする。各従動ギア４，５の中心位置下部にＬＥＤ９，１０を各々配置し、これらの入射光を従動ギア４，５を介してリニアイメージセンサ１１に導く。リニアイメージセンサ１１は、光の照射幅を検知してこの照射幅に応じて変化する、即ちギア回転に伴って直線的に変化する撮像データＤpiを演算装置１２に出力する。演算装置１２は、リニアイメージセンサ１１から得た撮像データＤpiを用いて各従動ギア４，５の回転角度を算出し、これらギア４，５の回転角度の組み合わせを見て主動ギアの回転角度を算出する。 （もっと読む）

【課題】適度なダンピング効果が得られるようにして、圧力を所定の範囲に長期に亘って安定化させることができ、安価に製造可能な物理量検出器、及びその物理量検出器の製造方法を提供する。
【解決手段】物理量検出器は、静電容量センサ１００と、演算器２００とから構成される。静電容量センサ１００は、ヒンジ部１１ａにより変位可能に支持された可動部（可動電極）１２と、その可動部１２と対向する位置に配置された第１及び第２固定電極２２，２３とを有する。さらに、静電容量センサ１００が、活性ガスを吸着する吸着部（ゲッタ）１４と、可動電極１２、第１及び第２固定電極２２，３２、吸着部１４を所定圧力のＣｘＨｙ或いは希ガスと共に封止した封止部４を備える。 （もっと読む）

【課題】小型化が容易で、取付位置の制約が少ない静電検出容量型回転センサの提供。
【解決手段】静電容量検出型センサは、導電体部２ａおよび誘電体部２ｂが設けられたセンサロータ２と、センサロータ２の誘電体部２ｂが設けられた面に対向するように、１対の固定電極３，４を動径方向（ｒ方向）に沿って配設する。そして、固定電極３および導電体部２ａ間の静電容量と、固定電極４および導電体部２ａ間の静電容量との合成静電容量をＣＶ変換回路５により検出する。誘電体部２ｂの厚さは、回転時における静電容量が周期的に変化するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】高温度下で広い歪範囲に亘って歪測定をすることができる歪測定装置を提供すること。
【解決手段】測定対象物表面の歪に応じて第二電極が第一電極の内側へ進退移動することにより、これらの電極が構成するコンデンサの静電容量が変化するように構成した歪測定装置であって、第一電極、及び第二電極は、温度５００℃以上で酸化されない金属材料からなり、かつ、この金属材料は、温度５００℃以上において５ＭΩ以上の絶縁抵抗を有する絶縁支持体により支持されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構成において簡易であると共に、検出応答性を改善し、さらに温度などの外乱に対するタフネスも向上させるようにした位置検出装置を提供する。
【解決手段】固定側１０ａに固定される２個の導電板１２，１４と、変位側１０ｂに固定されると共に、複数個の導電体と対向した位置に配置される変位側導電板１６と、固定側導電板に互いに異なる位相で電力を供給する電源１８，２０と、２個の固定側導電板と変位側導電板の間でそれぞれ生じる静電容量比を電位変化の位相として検出する位相検出回路３０と、検出された位相から変位量または絶対角を演算する演算回路３２とを備える。 （もっと読む）